• Journal of Adhesion and Interface
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• v.20 no.1
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• pp.1-8
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• 2019

Fabrication of monolayer is important method for enhancing physical and chemical characteristics such as light shielding and antireflection while maintaining thin film properties. In previous studies, monolayers were fabricated by various methods on small substrates, but processes were complicated and difficult to form monolayers with large area. We used rod coating equipment with a small amount of coating liquid to form a HCP (hexagonal closed packing) coating of PMMA beads on PET(poly(ethylene terephthalate)) substrate with $20cm{\times}20cm$ size. We observed that changes in morphologies of monolayers by using the solvents with different boiling points and vapor pressures, by adapting surfactants on particles and by applying plasma treatment on substrates. The coverage was increased by 20% by optimizing the coating conditions including meniscus of beads, control of the attraction - repulsion forces and surface energy. This result can potentially be applied to optical films and sensors because it is possible to make a uniform and large-scale monolayer in a simple and rapid manner when it is compared to the methods in previous studies.

• Journal of Surface Science and Engineering
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• v.34 no.6
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• pp.585-591
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• 2001

니오비움 첨가 지르코늄 합금(Zr-1%Nb)의 고온 수증기에서 산화속도에 관한 연구를 수행하였다. 산화온도는 $700-1200^{\circ}C$이다. 대기압수증기에서 산화될 때, Zr -1%Nb은 2차법칙을 따르는 것으로 나타났으며, 이는 $900^{\circ}C$이하에서 3차법칙을 따르는 지 르칼로이 -4와 상이한 형태를 보이고 있다. $900^{\circ}C$이상에선 산화속도가 지르칼로이 -4보다 약간 낮으며, 산화후 금속층의 경도가 증가하였다. 경도증가로 보아 인성의 감소가 예상되며, 따라서 니오비움 첨가 지르코늄 합금의 사고시 안전성에 대한 주의가 요구된다.

• Proceedings of the Korean Society of Soil and Groundwater Environment Conference
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• 2003.04a
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• pp.344-347
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• 2003

본 조사를 통해 토양오염유발시설 중 유류 유출사고가 잦은 주유소에서의 오염현황 조사방법과 오염토양에 대한 적정한 정화기법을 제시하고자 하였다. 오염현황 조사결과, 지층구조 는 전반적으로 Clay로 구성되어 있으나 오염토양 주변은 비교적 투수도와 통기성이 우수한 Silty Sand층을 나타내고 있었다. 본 주유소의 경우 주유기 주변(상층부)과 지하유류저장탱크 주변(수직분포)에 오염이 분포되어 있고, 오염원인은 주유기의 배관 파손 및 결함에 의해 발생한 것으로 예상된다. 본 조사지역에 대한 정화기법으로는 토양증기추출기술(SVE)과 불포화대를 생물학적으로 복원할 수 있는 바이오벤팅기술을 결합시킨 Bioslurping이 효과적일 것으로 평가된다. 또한 Bioslurry injection treatment를 병행하여 효과적으로 고농도의 오염토양을 처리하는 것이 바람직할 것으로 판단된다.

• Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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• 1997.05b
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• pp.98-103
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• 1997

원전 증기 발생기 재료로 사용되는 Alloy 600의 내부식성 향상을 위하여 레이저 범을 이용한 레이저 표면합금화(Laser Surface Alloying, LSA) 방법을 이용, 표면에 약 200$\mu\textrm{m}$ 두께의 합금층을 형성시켰다. 첨가한 원소는 크롬 또는 크롬과 니켈의 혼합체를 사용하였으며 첨가법으로는 도금과 용사를 이용하였다. 용사법으로 만든 LSA 시편의 특성과 문제점에 대해 고찰하고 이러한 문제점을 해결하는 방법으로 크롬 도금법을 택하였다. 이들 결과를 레이저 처리를 하지 않은 시편들과 비교하여 부식 거동을 분석하였다. 분석 결과 LSA 시편의 경우 As-received 시편, 레이저 표면 용융(LSM) 들과 비교해 아주 우수한 내부식성을 가졌으며 입계 내부식성도 크게 증가하였다. 이는 크롬 첨가로 인해 크롬의 농도가 많아져 부동태 피막의 형성이 쉬워졌기 때문으로 해석되었다.

• The Magazine of the Society of Air-Conditioning and Refrigerating Engineers of Korea
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• v.28 no.4
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• pp.300-314
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• 1999

가스구동 흡수식 시스템은 인류와 환경에 여러 가지 유익을 가져다준다. 첫째, 시스템의 고효율에 따른 매력적인 경제성을 제공하고, 둘째 천연가스의 사용으로 인하여 여름철 피크 전력소요(peak electric demand)를 완화하고, 셋째 이산화탄소 ($CO_2$)의 발생을 감소시킴으로써 지구 온난화 현상을 완화한다 실제로 가스구동 흡수식 시스템으로부터의 $CO_2$발생량은 증기보일러를 사용하는 전기구동 냉동기에 비하여 85% 수준인 것으로 보고되었다(Suzuki 등). 넷째로 암모니아 및 물과 같은 환경 친화적인 냉매들을 사용함으로서 오존층을 파괴하는 Chlorofluorocarbon(CFC) 및 Hydrochlorofluorocarbon(FCFC)계 냉매들을 대체할 수 있는 이점이 있다.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.7 no.3
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• pp.187-194
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• 1998

InGaAsP epitaxial layers lattice matched to InP were grown at 600 and $620^{\circ}C$ by low pressure metalorganic chemical vapor deposition. Solid phase composition of group III was controlled by the diffusion flux gas phase to the reachion surface. For the case of group V, the difference of As and P vapor pressure and pyrolysis efficiency of $PH_3$and $AsH_3$ mainly determined their in corporation into solid. An abnormal behavior of peak energy shift was observed below 75K in temperature variant photoluminescence study. This abnormal behavior was explained by the difference in order of ordering which makes spatial variation of energy gap in InGaAsP layer and this explanation was supported by the analyses of transmission electron microscopy and transmission spectroscopy.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.191-192
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• 2010

높은 유전상수를 가지는 터널 장벽물질 들은 플래쉬메모리 및 나노 부유게이트 메모리 소자에서 터널의 두께 및 밴드갭 구조의 변형을 통하여 단일층의 $SiO_2$ 터널장벽에 비하여 동작속도를 향상시키고 누설전류를 줄이며 전하보존 특성을 높여줄 수 있다.[1-3] 본 연구에서는 $Al_2O_3/HfO/Al_2O_3$구조의 고 유전체 터널장벽을 사용하여 $WSi_2$ 나노입자를 가지게 되는 metal-oxide-semiconductor(MOS)구조의 커패시터를 제작하여 전기적인 특성을 확인하였다. p형 (100) Si기판 위에 $Al_2O_3/HfO/Al_2O_3$ (AHA)의 터널장벽구조를 원자층 단일 증착법을 이용하여 $350^{\circ}C$에서 각각 2 nm/1 nm/3 nm 두께로 증착시킨 다음, $WSi_2$ 나노입자를 제작하기 위하여 얇은 $WSi_2$ 박막을 마그네트론 스퍼터링법으로 3 - 4 nm의 두께로 증착시켰다. 그 후 $N_2$분위기에서 급속열처리 장치로 $900^{\circ}C$에서 1분간의 열처리과정을 통하여 AHA로 이루어진 터널 장벽위에 $WSi_2$ 나노입자들이 형성할 수 있었다. 그리고 초 고진공 마그네트론 스퍼터링장치로 $SiO_2$ 컨트롤 절연막을 20 nm 증착하고, 마지막으로 열 증기로 200 nm의 알루미늄 게이트 전극을 증착하여 소자를 완성하였다. 그림 1은 AHA 터널장벽을 이용한 $WSi_2$ 나노 부유게이트 커패시터 구조의 1-MHz 전기용량-전압 특성을 보여준다. 여기서, ${\pm}3\;V$에서 ${\pm}9\;V$까지 게이트전압을 점차적으로 증가시켰을 때 메모리창은 최대 4.6 V로 나타났다. 따라서 AHA의 고 유전체 터널층을 가지는 $WSi_2$ 나노입자 커패시터 구조가 차세대 비 휘발성 메모리로서 충분히 사용가능함을 보였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.165.2-165.2
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• 2016

빗각 증착이란 입사 증기가 기판에 수직하게 입사하는 일반적인 공정과는 다르게 증기가 기판의 수직선과 $0^{\circ}$이상의 각을 갖는 증착 방법을 의미한다. 본 연구는 공정 압력이 비교적 높은 스퍼터링 공정에서 빗각 증착을 실시하여 코팅층의 구조제어가 가능한지를 확인하였다. 본 연구에서는 조직의 치밀도 향상을 통한 특성 향상을 위해 TiN 박막을 제조함에 있어서 빗각 증착 기술을 응용하여 단층 및 다층 피막을 제조하고 그 특성을 비교하였다. 스퍼터 소스에 장착된 타겟의 크기는 6"이며, 99.5% Ti 타겟을 사용하였고, Ar 가스 분위기에서 기판으로 사용된 Si(100) 위에 코팅하였다. 기판과 타겟 간의 거리는 10 cm이며, 기판은 알코올과 아세톤으로 초음파 세척을 실시한 후 진공챔버에 장착하고 < $2.0{\times}10-5Torr$ 까지 진공배기를 실시하였다. 진공챔버가 기본 압력까지 배기되면 Ar 가스를 주입한 후 RF 파워에 약 300V의 전압을 인가하여 글로우 방전을 발생시키고 약 30분간 청정을 실시하였다. 기판의 청정이 끝난 후 다시 < $2.0{\times}10-5Torr$까지 진공배기를 한 후 Ar 가스를 주입하여 TiN 코팅을 실시하였다. 빗각 증착을 위한 기판의 회전각은 $70^{\circ}$, $80^{\circ}$와 $-70^{\circ}$, $-80^{\circ}$이며, TiN 박막의 총 두께는 약 $3.5{\sim}4{\mu}m$로 유지하였다. 스퍼터링을 이용한 TiN 박막의 빗각 증착 코팅을 실시하였으며, 공정조건에 따라 주상정이 자라는 모습과 기울어진 각도가 다른 구조를 갖는 박막이 제조되는 것을 확인할 수 있었다. 빗각증착을 실시하는 중에 기판 홀더에 약 -100 V의 전압을 인가하면 인가하지 않은 막에 비해 치밀한 박막이 성장한다는 사실을 확인하였다. 박막의 성능향상을 위하여 스퍼터 시스템에서 빗각 증착을 이용한 TiN 박막 형성을 실시하였다. SEM 단면 이미지에서 확인해본 결과 주상정이 자라는 형상이 공정 압력이 5 mTorr에서 2 mTorr로 낮아짐에 따라 상대적으로 치밀하면서 일정한 형태로 성장하는 것을 확인하였다. 본 연구를 통해 스퍼터링을 이용한 빗각 증착의 Structure Engineering 이 가능함을 확인하였으며 박막의 성능을 향상시키는 기술로서 응용 가능할 것으로 보인다.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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• v.37 no.5
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• pp.459-465
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• 2013

In the manufacturing process of steel plates, materials at high temperatures above $800^{\circ}C$ are rapidly cooled by using a circular impinging water jet to determine their strength and toughness. In this study, the basic heat and fluid flow is solved by using the existing numerical model for boiling heat transfer. Actually, steel undergoes a phase change from austenite to ferrite or bainite during the cooling process. The phase change induces changes in its thermal properties. Instead of directly solving the phase change and the material cooling together, we solve the heat transfer only by applying the thermal properties that vary with temperature, which is already known from other studies. The effects of the changes in the thermal properties on the cooling of steel and the necessity of calculating the phase change are discussed.

• Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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• v.27 no.5
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• pp.383-392
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• 2007

In this paper, we study the prediction of depth and width of a defect in steam generator tube in nuclear power plant using neural network. To this end, we first generate eddy current testing (ECT) signals for 4 defect patterns of SG tube: I-In type, I-Out type, V-In type, and V-Out type. In particular, we generate 400 ECT signals for various widths and depths for each defect type by the numerical analysis program based on finite element modeling. From those generated ECT signals, we extract new feature vectors for the prediction of defect size, which include the angle between the two points where the maximum impedance and half the maximum impedance are achieved. Using the extracted feature vector, multi-layer perceptron with one hidden layer is used to predict the size of defects. Through the computer simulation study, it is shown that the proposed method achieves decent prediction performance in terms of maximum error and mean absolute percentage error (MAPE).