• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.213-213
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• 2016

현재 반도체 산업에서는 디바이스의 고 집적화, 고 수율을 목적으로 패턴의 미세화 및 웨이퍼의 대면적화와 같은 이슈가 크게 부각되고 있다. 다중 패터닝(multiple patterning) 기술을 통하여 고 집적 패턴을 구현이 가능해졌으며, 이와 같은 상황에서 각 패턴의 임계치수(critical dimension) 변화는 패턴의 위치 및 품질에 큰 영향을 끼치기 때문에 포토마스크의 임계치수 균일도(critical dimension uniformity, CDU)가 제작 공정에서 주요 파라미터로 인식되고 있다. 반도체 광 리소그래피 공정에서 크롬(Cr) 박막은 사용되는 포토 마스크의 재료로 널리 사용되고 있으며, 이러한 포토마스크는 fused silica, chrome, PR의 박막 층으로 이루어져 있다. 포토마스크의 패턴은 플라즈마 식각 장비를 이용하여 형성하게 되므로, 식각 공정의 플라즈마 균일도를 계측하고 관리 하는 것은 공정 결과물 관리에 필수적이며 전체 반도체 공정 수율에도 큰 영향을 미친다. 흔히, 포토마스크 임계치수는 플라즈마 공정에서의 라디칼 농도 및 식각 선택비에 의해 크게 영향을 받는 것으로 알려져 왔다. 본 연구에서는 Cr 포토마스크 에칭 공정에서의 Cl2/O2 공정 플라즈마에 대해 O2 가스 주입량에 따른 식각 선택비(etch selectivity) 변화를 계측하여 선택비 제어를 통한 Cr 포토마스크 임계치수 균일도 향상을 실험적으로 입증하였다. 연구에서 사용한 플라즈마 계측 방법인 발광분광법(OES)과 optical actinometry의 적합성을 확인하기 위해서 Cl2 가스 주입량에 따른 actinometer 기체(Ar)에 대한 atomic Cl 농도비를 계측하였고, actinometry 이론에 근거하여 linear regression error 1.9%을 보였다. 다음으로, O2 가스 주입비에 따른 Cr 및 PR의 식각률(etch rate)을 계측함으로써 식각 선택비(etch selectivity)의 변화율이 적은 O2 가스 농도 범위(8-14%)를 확인하였고, 이 구간에서 임계치수 균일도가 가장 좋을 것으로 예상할 수 있었다. (그림 1) 또한, spatially resolvable optical emission spectrometer(SROES)를 사용하여 플라즈마 챔버 내부의 O atom 및 Cl radical의 공간 농도 분포를 확인하였다. 포토마스크의 임계치수 균일도(CDU)는 챔버 내부의 식각 선택비의 변화율에 강하게 영향을 받을 것으로 예상하였고, 이를 입증하기 위해 각각 다른 O2 농도 환경에서 포토마스크 임계치수 값을 확인하였다. (표1) O2 11%에서 측정된 임계치수 균일도는 1.3nm, 그 외의 O2 가스 주입량에 대해서는 임계치수 균일도 ~1.7nm의 범위를 보이며, 이는 25% 임계치수 균일도 향상을 의미함을 보인다.

• Restorative Dentistry and Endodontics
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• v.27 no.5
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• pp.515-520
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• 2002

연구목적 : Cytokine은 유해 미생물에 대한 숙주의 방어기전으로서의 염증반응에서 숙주세포 상호간의 작용을 매개해 주는 역할을 하며, 치수조직에서도 그 존재가 확인된 바 있다. Interleukin-6와 Interleukin-10은 염증의 초기에 작용하는 cytokine으로 알려져 있으나, 치수 및 치근단 질환에서의 역할과 상호작용에 대해서는 잘 알려져 있지 않다. 본 연구에서는 성인의 치수염이 있는 치아에서 Interleukin-6와 Interleukin-10의 농도를 측정하고 이를 정상 치수와 비교함으로써 이들의 치수염에서의 작용을 연구하는 것을 목적으로 하였다. 방법 : 총 60개의 성인 치아들을 대상으로 하였다. 치수염으로 진단된 치아들을 실험군으로 하였고, 정상 치수를 가진 치아들을 대조군으로 하였다. 발치한 치아에서 치수조직을 적출하였다. ELISA를 사용하여 적출된 치수조직 내의 Interleukin-6와 Interleukin-10의 양을 측정하였으며, 그 결과를 Mann-Whitney rank sum test를 사용하여 통계학적 유의성을 검증하였다. 조직학적 검사를 위해서는 발치된 치아에서 치수조직을 적출하여 헤마톡실린-에오신 염색을 시행한 후 관찰하였다. 결과 : 1. Interleukin-6의 농도는 실험군에서 대조군보다 유의하게 높게 나타났다(p<0.05). 2. Interleukin-10의 농도는 실험군에서 대조군보다 유의하게 높게 나타났다(p<0.05). 3. 조직학적 관찰 결과 실험군에서 림프구의 침윤과 부분적인 조직의 괴사 등 염증반응의 양상을 관찰할 수 있었다.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2020.06a
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• pp.6-6
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• 2020

하천관리정책은 국가의 자연적, 사회적 환경에 크게 영향을 받으며 각 나라에 맞는 고유한 방향으로 정착하였다. 우리나라의 경우 치수와 개발이 중심이 있는 되는 일본식 하천관리체계를 오랫동안 유지하여 왔으며 개별 하천의 관리에 기본이 되는 하천기본계획체계는 일본의 신하천법의 형식을 유지하고 있다. 이에 반해 물관리체계는 2019년 6월에 시행된 물관리기본법에 의해 수량과 수질 통합관리 체계로 크게 개편되었다. 현행 물관리체계에서는 수질과 수량은 관리주체가 통합되었으나 하천관리는 하천시설물과 하천수의 관리주체가 분리되어 있다. 기후변화로 인해 주요 선진국은 하천관리에서 치수의 중요성이 높아지고 있으나 우리나라의 경우에는 하천의 치수관리에 대한 정책적 중요도는 떨어지고 있으며 환경관리에 대한 중요도가 높아지고 있다. 하천기본계획은 개별 하천에 대한 치수, 이수, 환경의 유일한 종합적 계획으로 광범위한 조사/분석/계획 등을 포함하고 있으나 타계획과의 연관성이나 활용성이 높지 않은 편이다. 본 연구에서는 국가 차원의 종합적인 하천관리정책 수립, 일관성 있는 치수, 이수, 환경 계획의 수립, 정부의 효율적인 하천관리 실행 등의 관점에서 현행 하천기본계획의 한계를 살펴보고 변화하는 기후 및 사회 환경에 탄력적으로 대응할 수 있는 개선방안을 검토하였다. 이를 위해서 우리나라와 일본, 미국, 유럽 등 선진국의 하천관리체계를 검토하고 도로, 상하수도 등 유사 분야의 계획 체계와 하천계획 체계를 비교하였다. 물관리 체계 개편을 고려한 현행 하천기본계획의 주요 논점을 정리하고 현행 법체계와 사회환경을 고려하여 하천기본계획이 실질적인 하천에 대한 종합적 계획의 의미를 살릴 수 있는 체계 개편 방안과 구체적인 실행방안에 대해서 고찰하였으며 장단기 개선방안을 제시하고자 한다.

• Proceedings of the Korean Institute of Intelligent Systems Conference
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• 1995.10b
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• pp.118-124
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• 1995

본 연구에서는 유전자 알고리즘과 Hooke & jeeves 방법을 적용한 퍼지모델링 기법 을 이용하여 저속비대선에서 선미형상의 주요치수를 결정하고, 이를 실적선과 비교하였다.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2011.05a
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• pp.445-449
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• 2011

치수대책이 취약한 중 소규모 하천 상류유역에 갑작스런 홍수가 발생될 경우 홍수파뿐만 아니라 토석류에 의한 2차적인 피해도 발생하고 있고 이러한 홍수피해를 방지하기 위한 구조적 대책으로 홍수저류지를 도입하였다. 치수대책이 취약한 중 소규모 하천 상류유역에서 홍수저류지의 효과를 극대화하기 위해서는 적용지역에 대한 홍수저류지의 적절한 배치가 매우 중요하다. 먼저, 대상유역의 주요보호대상 지점 즉, 목표지점(Taget Point)을 결정하고 지형 및 지질, 산사태 위험도, 수몰현황, 지역경제 등을 고려하여 홍수저류지 설치 후보지를 다수 선정하였다. 그리고 강우 및 홍수분석, 저수지 홍수추적 등을 실시하여 목표지점을 보호할 수 있도록 홍수저류지간의 조합을 통해 최적 위치 및 개소수를 결정하였고 대상하천의 계획홍수량 즉, 하도분담량 이상의 호우에 대하여 분담할 수 있도록 홍수저류지 설치 개소수를 제한하였다. 그리고 여기서 결정한 홍수 저류지가 목표지점뿐만 아니라 대상 유역의 홍수저감에 얼마나 기여를 할 수 있는지 유역전체를 대상으로 수문학적으로 검토하였다. 홍수저류지는 현재 국가의 치수대책의 일환인 면중심의 유역치수계획, 선택적 방어, 홍수량할당제, 예방위주의 치수대책 등과 함께 하고 있는 유역분담형 치수 방안으로서 유역상류의 중소하천에 1차적인 홍수방어의 훌륭한 대안이 될 수 있다.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2015.05a
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• pp.559-559
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• 2015

하천은 크게 이수와 치수 및 환경 등의 주요 기능을 가지고 있다. 이수는 하천과 물이 주는 가치를 말하며, 치수는 기능이라기 보다는 엄밀한 의미에서 하천관리를 통한 자연재해 방지를 의미한다. 이러한 이 치수 기능의 확보와 수변환경 조성을 위해 친환경적 수리구조물인 가동보의 설치가 증가 하고 있다. 가동보는 하천에 주로 설치되는 수리구조물 중의 하나로 국내에서는 2000년 대부터 고정보를 대신하여 설치가 시작 되었으며, 최근 친환경적 하천정비 및 다양한 목적 등으로 국내 하천에 약 1,200여개의 가동보가 설치 및 운영되고 있다. 이와 같이 다목적 활용을 위해 가동보의 수요가 급증하고 있으나, 안전한 이 치수를 위한 유량 계측 시스템은 국내 외 적으로 구축되어 있지 않은 실정이다. 하천 유량 자료는 하천관리에 있어 서 필수적인 요소이며, 하천 유량 측정을 위해 국토교통부 및 환경부에서는 매년 막대한 예산을 사용하고 있는 실정이다. 이에, 본 연구에서는 단면이 일정한 가동보 특징을 고려하여 높이 측정센서와 상류측 수위 측정 센서로부터 계측된 자료를 추출하여 가동보 월류량 산정식을 적용해 가동보와 연계한 실시간 유량 계측 시스템을 개발하였다. 개발 결과 각 센서의 계측값을 이용하여 실시간 하천유량 계측이 가능하며, 기 설치된 가동보에 적용이 가능해 개발된 기술을 국내 가동보에 적용한다면 정량적인 실시간 유량 측정이 가능하여 안전한 하천관리가 가능할 것으로 판단된다.

• Journal of Navigation and Port Research
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• v.42 no.3
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• pp.177-186
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• 2018

Designers need a lot of information to determine the principal dimensions in the initial stage of boat design, and most of the information they need can be obtained by investigating and analyzing similar existing boat data. In addition, the principal dimensions that are determined have an impact throughout the design process (basic/detailed design), which in turn leads directly to the stability and performance of the boat. Therefore, in this study, the initial design system for the boat (design support platform) was developed using a correlation analysis with existing data for more than 700 boats. It was confirmed that the designer could conveniently and reasonably derive and determine the principal dimensions for a boat in the initial design stage, for the 50ft-class of small and high-speed boats.

• The korean journal of orthodontics
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• v.39 no.6
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• pp.372-382
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• 2009

Objective: This study was to change of pulp blood flow among maxillary and mandibular anterior tooth with mild crowding and adjacent teeth using Ultrasound Doppler graphy. Methods: The change of pulp blood flow was measured three times using Ultrasound Doppler graphy; before the attachment of brackets, after 3 week, and after 6 week. The sample consists of 15 year old eighteen patients. Results: Before the attachment of brackets, after 3 weeks, and after 6 weeks, there were no significant differences in the change of pulp blood flow in each part (maxilla and mandible) and each tooth according to period. In addition, to compare internal dangerousness of loss of the pulp vitality, when pulp blood flow is compared in each tooth before orthodontic treatment, there were no statistically significant differences in maxillary lateral incisor and mandibular canine but it showed low values in all measurement items (p > 0.05). Conclusions: Results of this study can be not only methodological preliminary data in further study such as tooth movement type of Ultrasound Doppler graphy and particular study considered the patient age, but also reference materials for the loss of pulp vitality in orthodontic treatment.

• The Korean Journal of Rheology
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• v.9 no.2
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• pp.66-72
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• 1997

사출성형품의 품질특성으로 외관, 치수, 기계적 강도 등이 있으나 조립부품으로써 사 될경우에는 치수가 주요한 품질이 된다. 성형품은 용융수지의 특성상 사출공정 중 수축을 일으키므로 이를 고려해서 금형설계가 이루어지지만 실제 사출과정에서 공정변수를 최적화 하여 관리하지 않으면 허용오차 내의 치수를 얻기가 힘들다. 본 논문에서는 주요조립부의 치수가 허용오차 내에서 얻어지도록 설계시 적용된 수축률과 측정된 수축률의 차이를 목적 함수로 하여 최소화 시키며 반복이차계획 알고리즘을 채택한 IDESIGN 프로그램을 이용해 최적 사출성형조건을 구하였다. 제약조건은 성형품의 부위별 수축률 편차 및 싱크마크 깊이 가 공정변수의 부등호 제약식으로 도출되었고 성형이 이루어지는 공정변수의 상하한 값이 최대 및 최소 경계값으로 적용되었다.

• Korean Journal of Plant Resources
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• v.34 no.5
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• pp.491-501
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• 2021

This study was carried out to investigate the occurrence of seedlings of Korean fir (Abies koreana) in Korean fir forest located on the eastern slope of Mt. Halla National Park. Between June and August in 2016, the systematic sampling method was applied to 125 plots of 5 m × 5 m quadrats and field survey was came out to measure the characteristics of sites and understory vegetation. Correlation analysis was applied to the variables quantified from the data collected. Total number of flora found at the study site is 31 in families, 44 in genera, and 56 in species. The main lower layer vegetation was investigated such as Jeju dwarf bamboo, Toothed club moss (Lycopodium serratum), Pacific fir moss (Lycopodium chinense), Climbing hydrangea (Hydrangea petiolaris) etc. Among these plant species, the vegetation which had a high positive correlation with the frequency and the coverage of seedlings of Korean fir were Jeju dwarf bamboo, Toothed club moss and Pacific fir moss.