• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.290-290
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• 2012

터치패널은 키보드나 마우스와 같은 입력장치를 사용하지 않고, 스크린에 손가락, 펜 등을 접촉하여 입력하는 방식이다. 누구나 쉽게 입력할 수 있는 장점으로 인해 기존에는 현금인출기, 키오스크 등 공공분야에 주로 많이 사용되어 왔으나, 최근의 터치스크린은 휴대폰, 게임기, 네비게이션, 노트북 모니터 등 개인정보기기의 입력장치로 활용분야가 넓어져가고 있다. 기존 터치패널은 유리 기판 위에 ITO박막(투명전도막)을 진공코팅하여 사용하여 왔지만, 최근 터치패널은 경량화를 고려하여 PET 필름 기판 위에 ITO 박막을 진공코팅하여 사용하고 있다. PET 필름의 유연성 때문에 ITO 코팅된 필름을 PC 혹은 강화유리 위에 OCA 물질을 이용하여 다시 고정하여야 한다. 이때 터치패널 제작시 생산공정이 늘어나 생산성이 떨어지고, 터치패널의 광투과율도 떨어지는 2차적인 문제가 발생한다. 이를 해결코자하는 터치페널 업체의 Needs가 있고, 최근에 이를 해결하기 위하여 PC, 강화유리 그리고 COP 기판 위에 ITO 박막을 직접 진공코팅하는 공정개발이 진행되고 있다. ITO 박막은 진공코팅 중에 열을 가하여 결정화를 이루어야 하는데, PC, 강화유리 그리고 COP 기판의 열에 약한 특성을 고려하여, 열을 가하지 않고 ITO 박막을 진공 코팅하여야 한다. 이러한 ITO 박막의 진공코팅 공정에는 In-line magnetron sputtering system이 사용된다. 본 연구에서는 In-line magnetron sputtering system을 사용하여 강화유리 기판위에 정전용량방식 터치패널용 패턴 인비저블 ITO 투명전도막을 제작하고 그 특성을 조사하였다. ITO 박막의 면저항은 230O hm/cm2, 최고 광투과율은 90.96%(@541-543nm), 그리고 550 nm에서 광투과율은 90.45%로 ITO 박막 코팅 전후에 투과율 차이가 0.4임을 확인하였다. 정전용량 방식의 터치패널에서는 ITO 박막 코팅 전후에 투과율 차이가 1 이하의 특성, 즉 패턴 인비저블의 특성을 필요로 하는데, 이는 ITO 박막 패턴후에 패턴이 보이지 않게 하기 위해서이며, 이러한 시장의 Needs를 고려하면 본 연구에서 매우 중요한 연구 성과를 얻었다고 말할 수 있다. 그리고 면저항 기준 150에서 230Ohm/cm2 사이 여러 종류의 ITO 투명전도막을 제작하고 그 특성을 조사하여, 이를 논하고자한다. (본 연구는 지식경제부 사업화연게기술개발 연구지원금으로 일부 이루어졌음).

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.298-299
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• 2011

최근 입력소자로 활용되는 터치스크린은 키보드나 마우스와 같은 입력장치를 사용하지 않고, 스크린에 손가락, 펜 등을 접촉하여 입력하는 방식이다. 터치패널의 구현방식에 따라 저항막(Resistive) 방식, 정전용량(Capacitive) 방식, SAW (Surface Accoustic Wave; 초음파) 방식, IR (Infrared; 적외선) 방식등으로 구분된다. 특히 최근 관심을 받고 있는 IR 방식은 적외선이 사람의 눈에는 보이지 않으나, 직진성을 가지고 있어 장애물이 있으면 차단되는 특성을 이용한 방식이다. IR방식의 터치패널은 발광(Light emitting)소자와 수광(Light detecting)소자가 마주하도록 배치되어 터치에 의해 차단된 좌표를 인식하게 되며, ITO 필름 등이 필요 없어 Glass 1장으로도 구현이 가능하며 투과율이 우수하다. 이러한 IR 방식의 터치패널을 제작하기 위하여 사용된 IR 광검출기는 광학적 band-gap이 작은 박막물질을 필요로 한다. 본 연구에서는 IR 광검출을 위한 물질로 SiGe를 co-sputtering 기법을 이용하여 성장시켰다. 일반적으로 SiGe 박막을 성장시키기 위하여 저압화학기상증착법(low pressure chemical vapor deposition, LPCVD)이나 고진공 LPCVD를 사용하지만 본 연구에서는 CVD에 비하여 무독성이면서 환경친화적이고 초기투자비용이 낮은 증착장비인 sputtering을 이용하였다. 본 연구에서 성장된 SiGe 박막은 400$^{\circ}C$에서 rf plasma가 인가된 Ge과 dc plasma가 인가된 Si의 power를 조절하여 결정화도가 70% (Fig. 1)이고 결정성장방향이 (111)과 (220)방향으로 성장하는 SiGe 박막을 얻을 수 있었다. 본 논문에서는 co-sputtering 성장조건에 따라 성장된 SiGe의 박막 특성을 논의할 것이다.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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• v.39 no.2
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• pp.147-152
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• 2015

We designed, fabricated, and tested the capacitive microsensors for skin piloerection monitoring. The performance of the skin piloerection monitoring sensor was characterized using the artificial bump, representing human skin goosebump; thus, resulting in the sensitivity of $-0.00252%/{\mu}m$ and the nonlinearity of 25.9 % for the artificial goosebump deformation in the range of $0{\sim}326{\mu}m$. We also verified two successive human skin piloerection having 3.5 s duration on the subject's dorsal forearms, thus resulting in the capacitance change of -6.2 fF and -9.2 fF compared to the initial condition, corresponding to the piloerection intensity of $145{\mu}m$ and $194{\mu}m$, respectively. It was demonstrated experimentally that the proposed sensor is capable to measure the human skin piloerection objectively and quantitatively, thereby suggesting the quantitative evaluation method of the qualitative human emotional state for cognitive human-machine interfaces applications.

• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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• 2015.10a
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• pp.910-912
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• 2015

In this paper, we designed the novel capacitive sensor and system for measuring the position of the piston in hydraulic cylinder. The magnetic or LVDT sensors have been widely used to measure the position of the piston because of its high accuracy, but these types of sensor are very expensive and have difficulty in use because of its complexity. To overcome these disadvantages, we studied the optimized non-contact capacitive sensor and designed detecting system for accurate measuring the location of piston in hydraulic cylinder. The proposed capacitive sensor and detecting system have the possibility of practical use for hydraulic cylinder through experiments.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD
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• v.37 no.8
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• pp.1-8
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• 2000

We have achieved a high aspect ratio track-following microactuator (TFMA) which is capable of driving 0.3 ${\mu}m$ magnetic head for hard disk drive (HDD). it was fabricated on silicon on insulator (SOI) wafer with 20 ${\mu}m$ trick active silicon and 2 ${\mu}m$ thick thermally grown oxide and piggyback electrostatic principle was used for driving TFMA. The first vibration mode frequency of TFMA was 18.5 kHz which is enough for a recording density of higher than 10 Gb/in$^2$. Its displacement was 1.4 ${\mu}m$ when 15 V dc bias plus 15 V ac sinusoidal driving input was applied and its electrostatic force was 50 N. The fabricated actuator shows 7.51 dB of gain margin and 50.98$^{\circ}$ of phase margin for 2.21 kHz servo-bandwidth.

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.53 no.3
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• pp.269-275
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• 2015

The adsorption characteristics of ions were evaluated for the nitrate-selective carbon electrode (NSCE) in accordance with power supply methods. The NSCE was fabricated by coating the surface of a carbon electrode with anion-exchange resin powders with high selectivity for the nitrate ion. Capacitive deionization (CDI) experiments were performed on a mixed solution of nitrate and chloride ion in constant voltage (CV) and constant current (CC) modes. The number of total adsorbed ions in CV mode was 15% greater than that in CC mode. The mole fraction of adsorbed nitrate ion showed the maximum 58%, though the mole fraction was 26% in the mixed solution. This indicates that the fabricated NSCE is highly effective for the selective adsorption of nitrate ions. The mole fraction of adsorbed nitrate was nearly constant value of 55-58% during the adsorption period in CC mode. In the case of CV mode, however, the values increased from the initial 30% to 58% at the end of adsorption. We confirmed that the current supplied to cell is important factor to determine the selective removal of nitrate.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2009.07a
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• pp.155_156
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• 2009

대학교 및 교육시설의 전력시스템을 담당하는 변전소는 공급의 신뢰도 및 안정성이 중요하다. 그러므로 보호시스템의 확실한 동작 확보를 위한 각종계전기의 원할 한 보존 상태와 전력품질에 저해되는 각종요소에 대한 방지대책이 필요하다. 특히 중요 실험실은 무 정전 전력공급에 의한 집중관리를 필요로 하며 변전설비의 정상적인 동작확보를 위한 노력도 필요하다. 먼저 급전방식의 특성과 설비의 특징을 살펴보고 보호계전기의 확실한 동작을 위한 다중접지계통(22.9kv)방식과 비 접지계통(6.6kv)방식의 보호계전방식에 관하여 검토해 보았다. 그리고 각 요소별 고장률을 산정하고 전력품질의 저해요소와 신뢰도 향상방안에 관하여 살펴보았다. 이를 통해 전력시스템의 안전한 사용과 고품질의 전력을 공급할 수 있을 것으로 판단된다.

• The Transactions of the Korean Institute of Power Electronics
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• v.9 no.2
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• pp.105-111
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• 2004

In this paper, a new self-oscillated type high voltage power supply for the OPC(Organic Photo Conductor) charge is proposed, which has variable constant current source characteristics to improve the charge characteristic of the OPC roller. The proposed control method enables high quality printing characteristics regardless of the circumstance change such as ambient temperature or humidity by changing the current reference signal. To verify the proposed control method various experiments are performed.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.241-241
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• 2004

프린팅 기법은 크게 젯팅(Jetting) 기법과 코팅(Coating) 기법으로 나눌 수 있는데, 이중 젯팅 기법은 액체 상태의 재료를 노즐을 통하여 분사하는 기법을 말하며, 그 방식으로는 전하제어형, 확산형, 자성 잉크형 등의 연속 방식, 피에조형, 전기열 변환형, 방전형, 고체잉크형, 정전흡입형 등의 DOD 방식, 잉크 미스트형, 스프레이형 등의 기타 방식으로 나누어 볼 수 있다. 젯팅 공정을 이용하여 폴리머 계열을 2차원 흑은 3차원 형상으로 제작하는 것은, 기존의 잉크젯 분사시스템을 수정 보완하는 것으로도 기술적으로 가능하다.(중략)

• Proceedings of the KIPE Conference
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• 2012.07a
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• pp.13-14
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• 2012

본 논문에서는 정전압 제어를 위해 듀티 제어 방식을 적용한 직렬 공진형 DC/DC 컨버터 의 새로운 등가 부하 모델링을 제시함으로써 부하 변동에 따른 제어의 정밀도를 향상 시키고자 한다. PSIM 시뮬레이션 및 수식적 분석을 통해 기존 주파수 제어 방식에서의 등가 모델링과 듀티 제어 방식에서의 새로운 등가 모델링의 비교 분석을 통하여 제안한 방식의 타당성을 검증한다.