• Title/Summary/Keyword: 정밀 저항

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Effect of Annealing Conditions on Properties of Ni-Cr Thin Film Resistor (Ni-Cr 박막 저항의 특성에 미치는 열처리 조건의 영향)

  • 류승목;명성재;구본급;강병돈;류제천;김동진
    • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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    • v.11 no.1
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    • pp.37-42
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    • 2004
  • In the electronic components and devices fabrication, thin film resistors with low TCR (temperature coefficient of resistance) and high precision have been used over 3 ㎓ microwave in recent years. Ni-Cr alloys thin films resistors is one of the most commonly used resistive materials because they have low TCR and highly stable resistance. In this work, we fabricated thin film resistors using Evanohm alloys target(72Ni-20Cr-3Al-4Mn-Si) of S-type with excellent resistors properties by RF-sputtering. Also we reported the best annealing condition of thin film resistors for microwave to observe microstructure and electronic properties of thin film according to annealing conditions($200^{\circ}C$, $300^{\circ}C$, $400^{\circ}C$, $500^{\circ}C$)

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Safety Analysis of Reservoir Dikes in South Korea through the Interpretation of the Electrical Resistivity Data Considering Three-dimensional Structure (3차원 구조를 고려한 전기비저항 탐사자료 해석을 통한 국내 저수지 제체 안전성 분석)

  • Song, Sung-Ho;Yong, Hwan-Ho;Lee, Gyu-Sang;Cho, In-Ky
    • Geophysics and Geophysical Exploration
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    • v.22 no.3
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    • pp.160-167
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    • 2019
  • Resistivity inversion result may be distorted if the seepage line fluctuation within central core with the change of reservoir water level as well as the conductivity of the reservoir water is not taken into consideration because the reservoir dike is composed of three-dimensional (3D) resistivity structure. Consequently, to accurately analyze the resistivity changes inside the reservoir dike according to the change of reservoir water level, 3D electrical resistivity modeling for the 2D survey line considering topography and physical properties of dam components was carried out. In addition, 2D inversion was performed with the simulated 2D resistivity data for a given 3D model in order to compare it with the inversion result of real field data. For 283 reservoirs in Korea, 2D inversion results for the simulated 2D data and field 2D resistivity data were compared. Finally, the reservoirs with an inversion ratio of 50% or less were selected as reservoirs that require further precise investigation.

Estimation of bulk flow resistance in vegetated channels based on large-scale river experiments (실규모 하천 실험을 통한 식생하도의 구간 흐름저항 산정)

  • Ji, Un;Bae, Inhyeok;Ahn, Myeonghui;Jang, Eun-kyung
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2021.06a
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    • pp.3-3
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    • 2021
  • 하천의 식생은 생태서식처 제공, 강턱이나 하안 경사의 안정, 영양염류나 오염물 차단에 의한 수질 개선 등의 다양한 생태서비스를 제공하는 반면, 과도하고 편중된 식생 분포로 인해 흐름저항이 증가하고 이로 인한 홍수위 상승과 홍수피해 위험이 가중될 수 있다. 기후변화 영향과 토지이용 변화에 따른 수리수문 특성 변화와 유역으로부터 영양염류의 유입은 하천내 식생이 과도하게 퍼지는 직접적인 원인이 될 수 있다. 과도한 식생분포로 인한 흐름저항과 홍수위 상승을 평가하기 위해 식생하도의 흐름저항과 관련된 매개변수의 다양성과 복잡성에 따른 해석상의 한계에도 불구하고 이에 대한 이론적 해석과 수학모형의 개발, 실험실 수로와 하천현장조사, 수치모형을 이용한 예측 등의 다양한 연구가 수행되고 있다. 본 연구에서는 소규모 실험실 수로에서 단순화된 식생 구조와 배열이 적용되는 한계성과 상류에서 유입되는 유량과 유속 등의 수리조건을 통제할 수 없는 현장실험의 한계성을 보완하고자 목본류 형태의 식생패치를 실규모 하천실험 수로에 조성하여 통제된 수리조건에서의 식생하도의 구간 흐름저항을 추정하기 위한 계측 실험을 수행하였다. 실규모 실험에서는 피에조미터 형식의 정밀 압력식 센서를 이용하여 수위와 수면경사를 계측하였으며, 실험구간의 접근 수로에서 ADCP(Acoustic Doppler Current Profiler)를 이용하여 유입 유량에 대한 정보를 수집하였다. 전체 수로 길이 약 600 m, 하폭 11 m, 깊이 2 m 규모의 실규모 하도 일부 80 m 완경사 구간에 식생패치를 설치하고 구간 수면경사를 실측함으로써 식생하도의 흐름저항을 직접 산정하였다. 이러한 실규모 식생하도의 실험을 통해 식생패치의 밀도, 횡적 차단면적, 구간 차단부피, 목본 식생의 물리적 특성, 식생패치의 배열 등의 다양한 식생분포 조건에 따른 수리조건별 흐름저항 값의 변화를 분석할 수 있다. 식생하도에 대한 정확한 흐름저항 추정과 홍수위 변화에 대한 해석은 하천 식생의 생태서비스와 홍수방어의 하천 치수효과의 최적 솔루션을 제시하기 위한 하도관리의 다양한 방안을 제시하는데 필수적인 정보로 활용될 수 있다.

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Three-Dimensional Resistivity Modeling by Serendipity Element (Serendipity 요소법에 의한 전기비저항 3차원 모델링)

  • Lee, Keun-Soo;Cho, In-Ky;Kang, Hye-Jin
    • Geophysics and Geophysical Exploration
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    • v.15 no.1
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    • pp.33-38
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    • 2012
  • A resistivity method has been applied to wide range of engineering and environmental problems with the help of automatic and precise data acquisition. Thus, more accurate modeling and inversion of time-lapse monitoring data are required since resistivity monitoring has been introduced to quantitatively find out subsurface changes With respect to time. Here, we used the finite element method (FEM) for 3D resistivity modeling since the method is easy to realize complex topography and arbitrary shaped anomalous bodies. In the FEM, the linear elements, also referred to as first order elements, have certain advantages of simple formulation and narrow bandwidth of system equation. However, the linear elements show the poor accuracy and slow convergence of the solution with respect to the number of elements or nodes. To achieve the higher accuracy of finite element solution, high order elements are generally used. In this study, we developed a 3D resistivity modeling program using high order Serendipity elements. Comparing the Serendipity element solutions for a cube model with the linear element solutions, we assured that the Serendipity element solutions are more accurate than the linear element solutions in the 3D resistivity modeling.

Lightning Arrester On Power Diagnosis of Distribution System and Field Application (배전계통의 활선상태 피뢰기 진단 및 현상적용)

  • Lee, Man-Kyu;Ryu, Hyuk;Choi, Yun-Chong;Jung, Jae-Ki
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2004.05b
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    • pp.192-197
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    • 2004
  • 전국적인 분포를 갖고 있는 배전망에 유일한 과전압 보호 및 절연보호장치인 피뢰기는 배전계통에서의 사고율을 감소시키는 중요한 역할을 수행한다. 이러한 피뢰기의 수명은 동작횟수의 증가에 의해서 서서히 열화되게 된다. 이러한 열화의 과정은 피뢰기의 저항성 전류가 증가하는 현상과 일치한다. 그러나 배전계통에서 저항성 전류를 검출하기 위한 전압요소에 대한 정보를 얻기가 쉽지않다. 본 논문에서는 이러한 피뢰기의 열화현상을 파악하기 위하여 이론적으로 피뢰기의 열화정도가 고조파의 분석만으로 가능하다는 점을 증명하고 특히 3고조파의 증가와 저항성 전류의 증가가 비례함을 현장에서 수집한 피뢰기의 실증을 통해 입증하였다. 이러한 연구결과를 현장에 적용하여 현장의 가혹한 조건의 전자계영향에도 불구하고 정밀한 피뢰기 진단이 가능하다는 결론에 도달하였다. 결론적으로 본 연구의 결과로 현장의 피뢰기 진단이 간편해지고 효율적으로 이루어 질 수 있음을 실증하였고, 앞으로 배전계통에서의 안정적인 전력공급에 기여할 것으로 기대하고 있다.

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An active damping method based on virtual series resistances with inductors of LCL filter for three-phase grid-tied inverter (인덕터 내부저항을 고려한 LCL 필터의 능동댐핑 특성)

  • Kim, Yong-Jung;Kim, Hyosung
    • Proceedings of the KIPE Conference
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    • 2015.07a
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    • pp.363-364
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    • 2015
  • 최근 에너지 저장장치의 사용과 신재생에너지를 이용한 분산발전의 규모가 점차 확대됨에 따라 계통에 원활한 전류주입과 주입 전류의 스위칭 고조파 리플성분 저감을 위해 LCL 필터를 이용한 계통연계형 인버터가 널리 사용되고 있다. 이러한 계통연계형 인버터의 주입전류 특성은 LCL 필터에 종속적이기 때문에 정밀한 주입전류제어를 위해 LCL 필터의 정확한 해석이 요구된다. 본 논문에서는 명확한 LCL 필터 해석을 위해 LCL 필터의 인덕터 직렬 내부저항을 고려한 LCL 필터 특성을 해석하였으며, 이러한 해석을 기반으로 LCL필터 공진현상에 따른 주입전류의 THD를 저감하기 위한 인덕터 가상 직렬저항 능동댐핑 기법을 제안하고 HILS 실험을 통해 제안하는 능동댐핑 기법의 성능을 검증하였다.

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Effect of Annealing Conditions on Properties of Ni-Cr Thin Film Resistor (Ni-Cr 박막 저항의 특성에 미치는 열처리 조건의 영향)

  • Ryu Sung-Rok;Myung Sung-Jea;Koo Bon-Keup;Kang Beong-Don;Ryu Jei-Chun;Kim Dong-Jin
    • Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference
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    • 2003.11a
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    • pp.145-150
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    • 2003
  • In the electronic components and devices fabrication, thin film resistors with low TCR(temperature coefficient of resistance) and high precision have been used over 3 GHz microwave in recent years. Ni-Cr alloys thin films resistors is one of the most commonly used resistive materials because it has low TCR and highly stable resistance. In this work, we fabricated thin film resistors using Evanohm alloys target(72Ni-20Cr-3Al-4Mn-Si) of s-type with excellent resistors properties by RF-sputtering. Also we reported best annealing conditions of thin film resistors for microwave to observe microstructure and electronic properties of thin film according to annealing conditions$(200^{\circ}C,\;300^{\circ}C,\;400^{\circ}C,\;500^{\circ}C)$.

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Permeation behavior of kaolin solution in dead-end microfiltration (카올린 용액의 Dead-end형 정밀여과투과)

  • 장규만;정건용
    • Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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    • 1998.10a
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    • pp.133-136
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    • 1998
  • 0.1 내지 $4 \mum$의 입도분포를 가진 kaolin용액을 dead-end형 여과 장치(Amicon Cell, 8050)를 이용하여 공칭세공이 $0.2 \mum$인 PTFE막으로 농도 및 운전압력에 따른 투과실험을 하였다. Kaolin 용액의 투과유속은 케이크 저항이 지배적이었으며 초기에는 분리막 표면에 케이크가 형성되고 그 후에 분리막 세공의 오염이 발생하는 것으로 관찰되었다.

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[특별세션: 다기능성 나노박막 및 제조 공정] 원자/나노 복합구조 제어에 의한 다기능성 전자저항막기술

  • Sin, Yu-Ri;Gwak, Won-Seop;Gwon, Se-Hun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.504-504
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    • 2011
  • 최근 디지털 프린팅 기술의 핵심기술로 떠오르고 있는 잉크젯 프린팅 기술은 최근 기존의 문서인쇄 뿐 아니라, 직물 인쇄, 태양전지 등의 다양한 반도체 소자 제조에 널리 활용되고 있으며, 점차 그 응용 분야를 넓혀가고 있다. 특히 thermal 방식의 잉크젯 피린팅 기술은 etching, thin film process, lithography등의 반도체 공정 기술을 이용하여 제작할 수 있기 때문에, 현재 잉크젯 프린팅 기술은 대부분 thermal 방식을 체택하고 있다. 이러한 thermal 잉크젯 프린팅 방법에서는 잉크를 토출시키기 위하여, 전기적 에너지를 열에너지로 전환하는 전자저항막층이 필수적으로 필요하게 되는데, 이러한 전자저항막층은 수백도가 넘는 고온 및 잉크와 접촉으로 인한 부식 및 산화 문제가 발생할 수 있는 열악한 환경에서 사용되므로, Ta, SiN과 같은 보호층을 필수적으로 필요로 한다. 그러나 최근 잉크젯 프린터의 고해상도 고속화, 대면적 인쇄성 등과 같은 다양한 요구 증가에 따라, 잉크젯 프린터의 저전력 구동이 이슈로 떠올라 열효율에 방해가 되는 보호층을 제거할 필요성이 제기되고 있다. 지금까지는 Poly-Si, $HfB_2$, TiN, TaAl, TaN 0.8 등의 물질들이 잉크젯 프린터용 전자저항막 물질로 연구되거나 실제로 사용되어져 왔으나, 이러한 물질들을 보호층을 제거하는 경우 쉽게 산화되거나, 부식되는 문제점을 가지고 있다. 따라서, 기존 전자저항막의 기능을 만족시키면서, 산화나 부식에 대한 강한 내성을 가져 보호층을 제거하더라도 안정적으로 구동이 가능한 하이브리드 기능성(히터 + 보호층)을 가지는 잉크젯 프린터용 전자저항막 물질의 개발이 시급한 실정이다. 본 연구에서는 자기조립특성을 가져 정밀제어가 가능한 원자층증착법(Atomic Layer Deposition)을 이용하여 원자/나노 단위의 미세 구조 컨트롤을 통해 내열 내산화 내부식성 저온도저항계수를 동시에 가지는 다기능성 전자저항막을 설계 및 개발하고자 하였다. 전자저항막 개발을 위하여 우수한 내부식 내산화성을 가지고 결정립 크기에 따른 온도저항계수 조절이 가능한 platinum group metal들과 전기 저항 및 내열성 향상을 위한 물질의 복합구조막을 원자증증착법으로 증착하였다. 또한, 전자저항막 증착시 미세구조와 공정 변수가 내부식성, 내산화성, 그리고 온도저항계수에 미치는 영향을 체계적으로 연구하여, proto-type의 inkjet printhead를 구현하였다.

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