• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.24 no.6
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• pp.7-14
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• 2007

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2001.11c
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• pp.115-118
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• 2001

일반적으로 반도체 제조 공정은 매우 복잡하고 다양한 공정들로 구성된다. 이러한 공정 중 Stage 부분은 웨이퍼에 회로 패턴을 기입하기 위하여 웨이퍼를 미리 지정된 위치로 이송하는 공정으로 매우 높은 정밀도가 요구되고 있다. Stage에 대해서는 x, y, z축 뿐아니라 각 축에 대한 회전까지도 고려한 6축 제어가 수행되어야 한다. 본 논문에서는 stage에 대한 정밀제어의 기반기술로서 선형 BLDC 모터를 이용하여 1축 위치제어 시스템의 제어에 관하여 연구하였다. 선형 BLDC 모터의 이동 중 발생하는 추럭리플을 보상하여 제어기 설계시 선형 시스템으로 고려하여 제어기를 설계할 수 있도록 하는 방법을 제안하였으며 실험을 통하여 1[${\mu}m$]의 해상도를 갖는 위치검출 엔코더를 이용하여 5[${\mu}m$]의 정밀도를 얻을 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.137-137
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• 2004

최근, 나노 위치결정 시스템이 우주항공, 광통신, 의학 등 많은 분야에서 사용되고 있다. 이러한 나노위치결정 시스템에 있어서 가장 중요한 것은 안정성이다 열팽창과 가공에 의한 오차를 줄이기 위해 단일재료를 사용하고 대칭구조로 구성해야만 한다. 또한 나노 스케일의 분해능을 가지기 위해서는 스틱 슬립(stick-slip) 마찰이나 백래쉬(backlash) 기구가 없어야만 가능하다. 이러한 조건들을 만족하기 위해서 선행 연구자들은 유연힌지(flexure hinge)를 사용한 컴플라이언스 기구(compliance mechanism)를 제안하였고 이미 마이크로/나노 위치결정 시스템에 대한 연구와 개발이 이루어졌다.(중략)

• Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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• v.20 no.4
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• pp.19-25
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• 2016

Using a actuator to which the motor and the gear is applied to the I-PD control method and a dual-loop system to carry out precise position control. I-PD control algorithm performs an operation to reduce the overshoot in the transient response. Accordingly, the actuator obtains a precise position tracking result. Also it utilizes two sensors and dual loops. It reduces the adverse effect on the precise position control that may occur by the end play of the gear train. In this paper, we uses the actuator model applying the BLDC motor and gear in order to determine the position tracking result by the dynamic characteristic change. It was verified by the simulation results.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2013.05a
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• pp.363-364
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• 2013

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.17 no.12
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• pp.20-25
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• 2000

• The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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• v.37 no.8C
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• pp.731-740
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• 2012

To offer indoor location-aware services, the needs for efficient and accurate indoor localization system has been increased. In order to meet these requirement, we presented the BLIDx(Bidirectional Location ID exchange) protocol that is efficient localization system based on sensor network. The BLIDx protocol can cope with numerous mobile nodes simultaneously but the precision of the localization is too coarse because that uses cell based localization method. In this paper, in order to compensate for these disadvantage, we propose the fingerprint overlapping method by modifying a fingerprinting methods in WLAN, and localization system using proposed method was designed and implemented. Our experiments show that the proposed method is more accurate and robust to noise than fingerprinting method in WLAN. In this way, it was improved that low location precision of BLIDx protocol.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 1990.04a
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• pp.46-52
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• 1990

위치결정 정도의 향상과 robot arm의 경량화및 운동의 고속화의 요구에따라 비교적 가벼운 중량에 비해 상대적으로 큰 하중을 다룰수 있으며 고속 동작도 가능한 우연성있는 robot arm의 동장이 필요하게 되었다. 본 연구에서는 ballscrew system으로 구성되어 병진운동을 하는 탄성 arm 선단의 위치를 제어하는 이론적인 해석을 하고, 실제의 실험장치를 통하여 선단의 위치를 제어 하므로써 system의 제어특성을 찾고자 한다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.316-316
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• 2004

이동로봇이 자율항해를 하기 위해서는 위치추적 즉, 지금까지의 정보와 현재의 정보로부터 작업환경내의 어디에 로봇이 위치해 있는가를 알아내는 것이다 따라서 위치추적은 로봇이 어디로 가고 있는가 라는 물음과 어떻게 목표점에 도달할 것인가라는 물음에 대한 답의 기본이 된다는 의미에서 자율항해에서 가장 중요한 기능이라고 할 수 있다. 초음파 센서를 이용한 위치 추적은 그리드형태의 지도를 이용하는 방법과 물체의 형상을 기준으로 하는 방법이 있다.(중략)

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 1997.10a
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• pp.9-9
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• 1997