• Title/Summary/Keyword: 정밀측정장비

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업계기고 - Variable Optical Null(VON$^{TM}$)을 이용한 비구면 정밀광학측정 분야에서의 최근 동향

  • Sin, Ji-Sik
    • The Optical Journal
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    • s.143
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    • pp.46-53
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    • 2013
  • 비구면 광학요소는 광학계에 중요한 이점을 제공하는 반면 정밀한 측정에 제한이 많기에 정밀한 비구면의 생산이 어려운 광학 요소이다. 수년 전 부분 구경 스티칭 방법(Subaperture Stitching Interferometry, 이하 SSI$^{(R)}$)의 개발과 이 기술을 기반으로 하는 장비(SSI-A$^{(R)}$)의 도입으로 비구면 형상오차의 정밀한 측정이 가능하게 되었다. 많은 비구면들이 기존의 SSI-A의 영역에 포함되지만 이에 더 나아가 VONTM(Variable Optical Null)을 도입하면 기존의 측정 영역인 비구면도(best fit sphere에서) $100{\sim}200{\lambda}$대에서 약 $1000{\lambda}$까지 확장하여 측정할 수 있다. 본고에서는 지난 2012년 10월 23일 진행된 QED의 기술강연회에서 발표된 내용 중 VONTM의 원리와 이를 이용한 SSI$^{(R)}$ 기술이 도입된 장치인 ASI$^{(R)}$(Aspheric Stitching Interferometer)의 측정결과를 그 동안 각종 학회 등에서 발표된 자료들을 통하여 소개하도록 하겠다.

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A Study on the Design of Digital Frequency Discriminator with Temperature Compensation (온도보상을 고려한 디지털 주파수 측정기 설계에 관한 연구)

  • 임중수;채규수
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.5 no.1
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    • pp.55-59
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    • 2004
  • 전파의 특성을 측정하기 위해서 사용되는 디지털 주파수 측정기는 안테나를 통해서 수신기에 입력된 고주파 신호의 주파수를 측정하는 장치로써, 전파 정보 수집 장비의 중요한 구성품 중 하나이다. 이 분야는 고주파 기술이 발달된 미국이나 유럽에서 대부분의 장비를 개발해 왔으나 금번에 설계 제작된 주파수 측정기는 온도보상 등을 고려하여 정밀하게 설계제작 함으로써 수신 감도 -70㏈m에서 펄스폭이 l00㎱ 이상인 펄스 신호와 지속파(CW)신호의 주파수를 정확하게 측정하였다.

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Development of Real-time Automatic Discharge Acquisition & Remote-control System (실시간 자동유량관측 시스템 개발)

  • Kim, Chang-Wan;Lee, Min-Ho;Cheong, Sang-Hwa;Kim, Ki-Jung
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2007.05a
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    • pp.551-555
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    • 2007
  • 하구 감조부에서의 유량측정은 수문관측매뉴얼에 의하면 일반하천의 유량측정과 같은 원칙으로 실시하며, 일반 유량측정보다 신속하게 측정하고 유속과 유량을 연속적으로 측정해야 하고 조석을 잘 고려하여 관측계획을 수립하여야 하고 측정장비는 가급적 유향, 유속계의 기록부가 내장된 장비를 이용하도록 제안하고 있으며, 현실적으로 감조하천에서 유량측정은 많은 어려움이 따른다. 최근 우리나라에서 하천유량의 효율적인 측정을 위해 초음파유속계나 지표유속법과 같은 실시간 하천유량측정 방법이 도입되고 있다. 본 연구에서는 이러한 자동유량관측이 감조하천에 가능하도록 실시간 유량관측 시스템을 개발하여 운영하였다. 조석의 영향을 받는 한강대교지점에 도플러방식 초음파유량계를 회전체에 탑재한 자동유량측정장치를 남 북단 하천에 각각 1대씩 설치하였다. 본 시스템을 운영한 결과 무인 자동 연속 정밀관측이 가능하였으며, 1회 유속측정에 소요되는 $2{\sim}3$시간을 $5{\sim}6$분으로 단축시켰다. 이를 기반으로 감조하천에서의 자동유량관측이 가능하고 지표유속법을 도입하여 정확도를 높일 수 있는 유량산정기술을 개발하였다.

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AFM을 이용한 나노 입자의 조립에 관한 연구

  • 박준기;한창수
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 2004.05a
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    • pp.152-152
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    • 2004
  • 카본나노튜브(Carbon Nanotube)는 다른 물질과 구별되는 날카로움(Sharpness), 고세장비(High Aspect Ratio), 높은 기계적 강성(Stiffness), 고탄성(high Elasticity), 그리고 반도체(semi-conducting)와 도체(Metallic) 성질 때문에, 카본나노튜브는 많은 연구에 적용되고 있으며, 카본나노튜브가 부착된 AFM(Atomic Force Microscope) 팁을 이용한 AFM 측정은 CNT 응용에 있어서 매우 큰 효과를 내는 응용분야 중 하나이다. AEM 팁에 카본나노튜브를 붙이는 이전 연구는 대부분 화학증착법(Chemical Vapor Deposition)에 의해 이루어 졌으며, 매우 효과적인 방법이지만 고가의 장비와 고온의 챔버내에서 이루어진다는 문제점을 가지고 있다.(중략)

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Development of Profilometer for Profile Measurement and Severity Analysis of Unpaved Test Courses (비포장 시험로의 노면 굴곡 측정 및 가혹도 분석을 위한 노면굴곡측정장비 개발)

  • Yang, Jin-Saeng;Goo, Sang-Hwa;Bae, Cheol-Hoon;Lee, Sang-Ho
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.24 no.1 s.190
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    • pp.37-46
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    • 2007
  • The vibration environment essentially companied by vehicle operation on the ground is determined by the shape of road surface, which is called profile. This paper focuses on development of a profile and severity measurement system for unpaved test courses. In general, the profile and severity of unpaved road is an important issue in the reliability of endurance test. In order to measure unpaved road profile and severity, it is necessary to develop a profilometer system. The developed profilometer system is composed of data processing computer, power unit, air compressor and sensors(encoder, vertical gyro and laser displacement) This paper presents the measuring system configuration, measurement principle of road profile and analysis method of road characteristics used at CPG(Changwon Proving Ground) for this purpose.

Ellipsometry 에서의 calibration 및 입사면 고정형 ellipsometer

  • 경재선;방경윤;최은호;손영수;안일신;오혜근
    • Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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    • 2003.12a
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    • pp.18-22
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    • 2003
  • 일반사용자들은 ellipsometer를 사용이 어려운 장비로 인식하고 있다. 본 연구는 초보자들이 손쉽게 사용할 수 있는 ellipsometer를 제작하는데 목적이 있다. 시편을 측정하기 전에 반드시 해야 할 과정인 alignment와 calibration을 하지 않고 측정할 수 있도록 제작하였다. 기본 구조는 rotating compensator spectroscopic ellipsometry를 이용하였으며 , 입사각을 70도로 고정시키고 기존의 sample holder 구조를 바꾸어 어떠한 시편을 놓아도 입사면이 변하지 알게 하여 calibration 이 요구되지 않는 ellipsometer를 개발하였다. 장비의 성능과 정밀도를 검사하기 위하여 여러 가지 표준시료를 측정하여 일반 RCSE와 측정결과를 비교하였다. 또한 고정된 입사면의 calibration값의 신뢰도를 검사하기 위하여 반복적으로 측정할 때마다 시편을 재배치하여 실험하였다.

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Evaluation of the Accuracy and Precision Three-Dimensional Stereotactic Breast Biopsy (3차원 입체정위 유방생검술의 정확도 및 정밀도 평가)

  • Lee, Mi-Hwa
    • Journal of radiological science and technology
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    • v.38 no.3
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    • pp.213-220
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    • 2015
  • This research was study the accuracy of three-dimensional stereotactic breast biopsy, using a core Needle Biopsy and to assess the accuracy of Stereotactic biopsy and Sono guided biopsy. Using Stereotactic QC phantom to measure the accuracy of the 3D sterotactic machine. CT Scan and equipment obtained in the measured X, Y, Z and compares the accuracy of the length. Using Agar power phantom compare the accuracy of the 3D sterotactic machine and 2D ultrasound machine. Z axis measured by the equipment to compare the accuracy and reliability. Check the accuracy by using visual inspection and Specimen Medical application phantom. The accuracy of the 3D sterotactic machine measured by Stereotactic QC phantom was 100%. Accuracy as compared to CT, all of X, Y, Z axis is p > 0.05. The accuracy of the two devices was 100% as measured by Agar powder phantom. There was no difference between t he t wo d evices as C T and p > 0.05. 3D sterotactic machine of the ICC was 0.954, 2D ultrasound machine was 0.785. 2D ultrasound machine was different according to the inspector. Medical application phantom experiments in 3D sterotactic machine could not find the Sliced boneless ham. 2D ultrasound machine has not been able to find a small chalk powder group. The reproducibility of the three-dimensional stereotactic breast biopsy was better than effect of Sono guided biopsy.

A Study on the of influence to precision equipment by utility vibration of TFT-LCD fab (TFT-LCD 생산공장의 유틸리티 진동으로 인한 공장 구조물과 정밀장비로의 영향성)

  • Park, Hae-Dong;Im, Jung-Bin;Ryu, Kuk-Hyun;Baek, Jae-Ho
    • Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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    • 2006.05a
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    • pp.886-892
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    • 2006
  • 반도체 및 TFT-LCD등을 생산하는 공장 구조물에는 C/R이 있으며, 여기에는 외부 진동에 엄격한 특성을 갖고 있는 각종 수 많은 정밀장비가 설치되어 있다. 더구나, 이러한 정밀장비등의 정상운용을 위하여 각종 UT(유틸리티)등이 병행하여 C/R내 산재해 설치되어 있다. 이러한 UT는 정밀장비와 각종 배관들로 연결되어 설치되어 있다. 또한 C/R의 항온/항습등을 유지하기 위하여 공조등 부대 유틸리티도 또한 설치되어 있으며, 이러한 각종 유틸리티는 진동은 유발하는 진동원이 되며, 여기서 발생하는 진동은 C/R의 진동환경을 열악하게 만들 수 있다. 이에, 본 연구에서는 TFT-LCD 생산 공장에서 UT와 배관등에서 발생하는 진동이 공장 구조물(격자보)와 공진현상을 일으켜 인접하여 설치 된 정밀장비에 악영향을 끼치고 있음을 현장 진동 측정과 구조물 동적 해석을 통하여 확인하였고, 제안한 저감대책을 수행 후 진동 영향성의 감소됨을 확인하였다.

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Constructing a Dataset for Assessing Skin Condition in Koreans for AI-Personalized Customized Skin Diagnosis (AI 초개인화 맞춤형 피부진단을 위한 한국인 피부상태 측정 데이터 구축)

  • Jeongho Lee;Juyeol Yang;Minseo Choi;Sang-Il Choi
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • 2023.11a
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    • pp.698-700
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    • 2023
  • 최근 들어, 미용 상품을 선택하기 전에 자신의 피부 타입과 상태를 정확히 파악하고 맞춤형 상품을 선택하고자 하는 수요가 증가하고 있다. 이에 따라 피부 상태 측정을 위한 기술적 요소의 중요성이 더욱 두드러지고 있다. 그러나 현재까지 피부 상태 측정을 위한 데이터셋이 한국인을 대상으로 측정한 데이터셋이 없는 실정이다. 본 연구에서는 한국인의 피부 상태를 정밀하게 분석하기 위해 고해상도 디지털 카메라로 촬영된 이미지, 정밀 피부측정 장비를 활용하여 측정한 정밀 값, 그리고 피부과 전문의가 진단한 피부상태 진단 등급 데이트를 통합하여 제공을 한다. 추후 제작한 데이터셋을 활용하여 개인 맞춤형 미용상품 추천과 개발 등 다양한 분야에 활용하고자 한다.

Elli-Situ 2000 (in situ, 실시간 표면 및 박막 모니터 장비)

  • 방현용;주한용
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2000.02a
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    • pp.46-46
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    • 2000
  • 과학기술 및 산업의 발달로 인하여 실험 중 또는 공정 상에서 in situ, 실시간으로 측정하고 분석하며 이를 되먹임하는 품질제어의 중요성이 대두되고 있다. 반도체 공정 또는 박막제조 공정 중에서 박막의 두께, 굴절율, 물질의 조성비 등을 알아내는 것이 긴요한 과제로 대두되고 있으며, 이를 위하여 공정중인 제품의 품질을 실시간으로 평가하는 장비가 요구되고 있는 것이다. 나아가 공정중의 예상하지 못한 시료의 특성변화를 그대로 감지하여 적절히 보정해 주는 되먹임 기법은 높은 수율을 보장하는 첨단기법이라 할 수 있다. 이러한요구에 부응할 수 있는 본 제품(Elli-situ 2000)은 박막의 두께 표면변화를 sub 의 정밀도를 가지고 in situ, 실시간으로 정밀 측정할 수 있는 첨단 계측장비로서 빛의 편광상태 변화를 측정하기 때문에 공정 중의 시료에 영향을 주지 않는 비간섭 특성과 비접촉 특성의 장점 뿐만 아니라 공기중에서는 물론 진공이나 액체 등의 매질에서도 사용될 수 있어서 매질에 대한 제약이 거의 없다는 장점도 가지고 있다. 편광상태의 제어 및 측정을 필요한 광학장비의 경우, 제작이 까다롭기 때문에 대부분 가격이 높은 편이고 사용방법이나 측정 데이터에 대한 해석이 어렵다는 단점이 있으나, Elli-situ 2000의 경우 상용화된 외국제품(국내제품은 없슴)과 비교하여 성능 및 가격경쟁력에 있어서도 우위에 있으며 간단, 명료한 장비조작 및 컴퓨터를 사용한 구동의 전자동화를 이룸으로써 초보자도 쉽게 측정하고 데이터를 처리할 수 있도록 하였다. 또한 취부대의 경우, 진공포트 플랜지의 표준규격(2-3" Del-Seal 플랜지 규격)에 맞춤으로써 기존의 진공챔버에 부착하여 진공에 전혀 영향을 주지 않는 상태에서 시료의 변화를 in situ, 실시간으로 정밀 측정할 수 있도록 하였다. 하였다.O 박막은 산소 가스압력과 기판온도, 인가 전류를 변화시켜가며 증착하였으며 이에 따른 박막의 결정성 변화를 알아보았다. 기판온도를 실온에서 점차 증가시켜나가면 $\Delta$$\theta$50은 급격히 감소하며 30$0^{\circ}C$에서는 결정성이 우수한 막을 얻을 수 있었다. 또한 산소 가스 압력이 0.5~1mTorr에서 $\Delta$$\theta$50은 양호한 값을 나타내었지만 그 이상에서는 c-축 배향성이 나빠짐을 확인하였다. 따라서 대향타겟식스퍼터 장치를 이용하여 ZnO 박막을 증착시 가스압력 0.5~1mTorr, 기판온도 20$0^{\circ}C$이상의 막 제작조건에서 결정성이 우수하게 나타나는 것을 확인할 수 있었다. gluten이 단단해졌음을 알수 있었다. 유화제 stearly 칼슘, 혹은 hemicellulase를 amarans 10% 대체한 밀가루에 첨가하면 확연히 비용적을 증대시킬 수 있다는 사실을 알 수 있었다. quinoa는 명아주과 Chenopodium에 속하고 페루, 볼리비아 등의 고산지에서 재배 되어지는 것을 시료로 사용하였다. quinoa 분말은 중량의 5-20%을 quinoa를 대체하고 더욱이 분말중량에 대하여 0-200ppm의 lipase를 lipid(밀가루의 2-3배)에 대하여 품질개량제로서 이용했다. 그 결과 quinoa 대량 7.5%에서 비용적, gas cell이 가장 긍정적 결과를 산출했고 반죽의 조직구조가 강화되었다. 또 quinoa 대체에 의해 전분-지질 복합제의 흡열량이 증대된 것으로부터 전분-지질복합제의 형성 촉진이 시사되었다.이것으로 인하여 호화억제에 의한 노화 방지효과가 기대되었지만 실제로 빵의 노화는 현저히 진행되었다. 이것은

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