• 제목/요약/키워드: 정렬광학계

검색결과 88건 처리시간 0.027초

광집속장치의 광학정렬을 위한 null 광학계 (Null alignment system of the optical beam director)

  • 김연수;김현숙;김현규
    • 한국광학회지
    • /
    • 제15권3호
    • /
    • pp.254-257
    • /
    • 2004
  • 광집속장치의 광학정렬 광학계로 기존의 자동시준 광학계 대신 null 광학계를 제안하였다. 구경 30 cm 급 광집속장치 집속광학계의 광학정렬을 위한 null 광학계를 설계하고 성능을 분석하였다. null 광학계의 기울기 정럴오차에 대한 비축수차는 매우 작지만, 기울기 정렬오차에 대한 출력 광선의 기울기 변화는 4배로 확대되어 집속광학계 광학정렬 점검장치로서 우수하게 사용될 수 있다.

편심측정 결과가 반영된 몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 적외선 광학계 조립정렬 공차 할당 기법 (Tolerance Allocation Method for IR Optics Fabrication Using Monte-Carlo Simulation Based on Measured Reflective Eccentricity)

  • 유재은
    • 한국광학회지
    • /
    • 제22권4호
    • /
    • pp.161-169
    • /
    • 2011
  • 본 논문에서는 광학 민감도가 큰 IR 광학계의 조립정렬과정에서 목표 성능을 만족시키기 위한 조립정렬 허용범위를 설정하는 방법을 제시하였다. 조립정렬 과정에서 편심측정기를 이용하여 각각의 광학소자에 대한 반사 편심량을 측정할 수 있다. 측정된 값을 이용하여 몬테카를로 시뮬레이션을 수행하였고 이를 이용하여 조립 정렬 이후의 광학계의 성능을 예측하였다. 시뮬레이션 결과와 실제 제작된 광학계의 광학 성능을 비교하여 본 논문에서 제시한 공차 할당 기법의 타당성을 확인하였다.

컴퓨터를 이용한 지구관측 카메라의 광학정렬 (Computer-Aided Alignment of an Earth Observation Camera)

  • 김도형;최영완;강명석;김이을;양호순
    • 한국항공우주학회지
    • /
    • 제32권10호
    • /
    • pp.142-146
    • /
    • 2004
  • 인공위성용 지구관측 카메라나 천문관측 망원경에는 무게와 부피의 제약 때문에 Cassegrain 방식 망원경이 많이 쓰인다. 이와 같은 위성용 광학계의 성공적인 임무 수행을 위해서는 광학계의 정밀 정렬이 필수적이다. 본 논문에서는 인공위생용 지구관측 카메라인 MAC (Medium-sized Aperture Camera)의 조립 과정에 적용된 컴퓨터를 이용한 광학정렬 방법의 모사와 정렬실험 결과를 정리한다.

웨이퍼 스텝퍼의 중첩정밀도 측정에 관한 연구

  • 이종현;장원익;이용일;김도훈;최부연;정기로;임태영;남병호;김상철
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국정밀공학회 1993년도 춘계학술대회 논문집
    • /
    • pp.192-197
    • /
    • 1993
  • 반도체 기억소자의 급격한 발전추세에 대응하기 위해서는 노광(exposure) 장비의 증첩정밀도 (overlay accuracy)가 같이 개선되어야 한다. 본 연구에서는 64M ERAM 제조를 목적으로개발된 스텝 퍼(stepper) 시스템의 성능평가 항목 중에서 증첩정밀도에대한 측정방법 및 현재까지의 연구결과를 기술하였다. 제작된 웨이퍼 정렬계는 off-axis 및 TTL 광학계와 이들 정렬신호에 따라 움직이는 웨이 퍼 구동계로 구성되어 있다. off-axis 광학계는 화상처리와 회절의 두 가지 방식이 가능하도록 설계 제작되었으며, TTL 광학계는 dual beam interferometric method를 이용하였다. 본 실험의 결과는 웨이퍼 정렬계의 특성을 평가한 것으로서, 현재까지 off-axis 정렬 방법만으로 얻은 증첩정밀도는 0.26-0.29$\mu$m (m+3 $\sigma$ )이다. 따라서 여기에 이미 제작되어 있는 TLL 정렬광학계를 추가로 사용하면 0.1 $\mu$m 이하의 정밀도에 이를 것으로 예측된다.

포커스 메커니즘이 적용된 소형 위성 카메라의 제작 및 성능 실험 (Fabrication and Performance Test of Small Satellite Camera with Focus Mechanism)

  • 홍대기;황재혁
    • 항공우주시스템공학회지
    • /
    • 제13권4호
    • /
    • pp.26-36
    • /
    • 2019
  • 고해상도 지구 관측위성에서는 광학 부품간 정밀한 위치 정렬도가 요구된다. 그러나, 가혹한 위성 발사환경 및 우주환경 같은 외부 요인에 의해 광부품의 정렬오차가 발생한다. 이러한 정렬오차에 의해 저하된 영상품질을 보상하기 위해 포커스 메커니즘이 적용된 위성광학계의 설계가 필요하다. 본 논문에서는 위성카메라 정렬오차 보상이 가능한 목표광학계의 제작 및 성능 실험에 대한 연구를 수행하였다. 먼저 설계된 목표광학계를 제작/조립/정렬하였으며, 이 완료된 목표 광학계를 사용하여 영상 촬영 실험을 수행하였다. 영상 촬영 실험은 포커스 메커니즘에 의한 상의 변화를 이미지로 확인하는 실험과 오토콜리메이터를 이용하여 USAF 타깃을 촬영해 MTF를 분석하는 실험을 수행하였다. 실험 결과를 통해 포커스 메커니즘을 통하여 정렬오차를 충분히 보상할 수 있음을 확인하였으며, 궤도상에서 정렬오차를 보상할 수 있는 리포커싱의 기초자료를 확보하였다.

제르니케(Zernike)계수를 이용한 20:1 줌 적외선 광학계 민감도 분석 (Sensitivity analysis of 20:1 zoom infrared optical system with zernike polynomial coefficients)

  • 최세철;김현숙;김창우;김연수;이국환;김현규
    • 한국광학회지
    • /
    • 제14권5호
    • /
    • pp.535-544
    • /
    • 2003
  • 중적외선 파장대역에서 20:1의 줌비를 갖는 줌 광학계의 광학부품 제작 및 조립j조정을 위한 공차분석, 효율적인 광축정렬 로직 확립, 물체의 원$.$근에 따른 초점조절 방안 수립을 위한 민감도 분석을 수행하였다. 민감도 분석에서는 제르니케(Zemike) 폐수를 활용하는 방안을 제시하였으며 Code-V의 매크로 기능을 활용하여 모든 미소변위의 민감도 계수의 특성을 조사하는 방식을 도입하였다. 조사된 민감도 분석 결과를 바탕으로 줌 광학계의 광학부품 제작공차 및 조립공차를 도출하였으며 광축 정렬을 하기 위한 체계적인 정렬 로직을 수립하였다. 또한 광학계의 초점조절 방안 수립을 위한 시뮬레이션 과정에 민감도 분석 결과를 활용하였으며 분석 결과를 토대로 시스템을 단순하면서도 소형화시킬 수 있는 가장 효율적인 초점조절 방안을 수립하였다.

광학식 3차원 좌표측정장치를 이용한 관성항법센서와 기체의 정렬기법 (Alignment of Inertial Navigation Sensor and Aircraft Fuselage Using an optical 3D Coordinate Measuring Device)

  • 김정호;이대우
    • 한국항공우주학회지
    • /
    • 제47권1호
    • /
    • pp.41-48
    • /
    • 2019
  • 본 논문은 광학적인 방법을 통해 얻은 3차원 좌표들을 이용하여 항공기 동체와 관성항법센서를 정렬하는 방법에 대하여 다루고 있다. 기존에 가공되어 있는 마운트 홀의 제작 정확도를 신뢰하고 장착하던 관행에서 나아가 관성항법센서의 좌표계와 항공기 동체의 기준좌표계를 보다 정확하게 정렬하기 위한 방법에 대해 소개하고 있으며, 실현가능성을 검증하기 위해 실제 3차원 좌표측정장치의 오차 수준을 반영한 시뮬레이션을 통해 정렬 성능을 검증하였다. 또한 광학센서와 관성항법센서의 최적화 기법 기반 정렬 방법을 기술하였다.

소형 위성용 고해상도 광학카메라의 광학정렬 (Optical alignment of a high-resolution optical earth observation camera for small satellites)

  • Kim, Eugene D.;Park, Young-Wan;Kang, Myung-Seok;Kim, Ee-Eul;Yang, Ho-Soon
    • 한국광학회지
    • /
    • 제15권4호
    • /
    • pp.391-396
    • /
    • 2004
  • 인공위성용 지구관측 카메라나 우주관측 망원경에는 크기와 무게의 제약 때문에 Cassegrain 방식의 망원경이 많이 쓰인다. 이와 같은 우주광학계의 성공적인 임무수행을 위해서는 망원경부의 정밀한 광학정렬이 매우 중요하다. 본 논문에서는 정렬 정밀도에 따른 Cassegrain 방식 망원경부의 광학정렬 방법 중, 간섭무늬를 이용한 방법, 파면오차를 이용한 방법, 역최적화 광학정렬 방법 등을 모사를 통해 제시하고, 현재 개발 중인 구경 300 mm급 소형 위성용 카메라에 적용한 광학정렬 실험 결과를 정리한다.

대구경 Korsch형 탑재체 OM(Optical Module, 광구조제)의 조립 및 정렬 개념설계 (Conceptual design of assembly and alignment for the OM(Optical Module) of large aperture Korsch type)

  • 정대준;장홍술;이응식;이덕규;이승훈
    • 항공우주기술
    • /
    • 제6권2호
    • /
    • pp.40-44
    • /
    • 2007
  • 대구경 탑재체는 광학설계형태에 따라 설계 및 조립/정렬의 특성이 다르며 각각의 장단점이 구분된다. 광학계 형태에 따른 특성분석을 수행하였고 이 결과를 바탕으로 광학계는 Korsch 타입의 4반 사식 카메라로 선정하였으며 각 미러조립체를 가지고 항우연에서 광구조체 및 광전자부의 조립, 정렬 및 성능시험을 수행하게 된다. 위성카메라의 최종광학성능은 여러 가지 요인에 의해 영향을 받지만 특히 핵심 하드웨어 부분인 광학부 및 광구조체의 광학성능에 크게 좌우된다. 본 논문에서는 광학계 형태에 따른 특성분석을 수행하였고 대구경 Korsch형 탑재체 광학계의 조립 및 정렬 방법에 대한 개념설계를 살펴보고자 한다.

  • PDF

피조 간섭계를 이용한 단일 조각거울 광축방향 변위 오차 측정 (Measurement of the Axial Displacement Error of a Segmented Mirror Using a Fizeau Interferometer)

  • 장하림;최재혁;송재봉;김학용
    • 한국광학회지
    • /
    • 제34권1호
    • /
    • pp.22-30
    • /
    • 2023
  • 조각거울은 우주용 관측위성의 주반사경을 크게 제작하기 위한 방법 중 하나로서, 여러 개의 작은 거울들을 이어 하나의 큰 거울로 이용하는 방법이다. 여러 개의 거울들을 하나의 거울로 정렬하기 위해서는 인접한 거울들 간에 기울기 오차(tilt)와 광축방향 정렬오차(piston)가 없어야 한다. 기울기 오차와 광축방향 정렬오차를 해결해야 여러 개의 거울이 한 방향으로 빛을 모으고, 이를 통해 뚜렷한 이미지를 얻을 수 있기 때문에 조각거울의 정렬오차를 나노미터 수준으로 측정할 수 있는 파면 센서가 필요하다. 기울기 오차는 조각거울을 통해 얻은 이미지를 통해 어떤 거울의 기울기가 틀어졌는지 쉽게 확인할 수 있는 반면, 광축방향 정렬오차는 이미지의 질은 떨어뜨리지만 드러나는 뚜렷한 특징이 없기 때문에 같은 방법으로 감지하기 어려워 세밀한 측정이 매우 중요하다. 이를 위해 본 논문에서는 지상용 초기 정렬시 많은 이점을 갖는 광학계 평가용 간섭계 중 하나인 피조 간섭계를 이용한다. 피조 간섭계를 사용한 복수 조각거울의 광축방향 정렬오차 측정을 위한 기초 연구로서 단일 조각거울의 광축방향 변위 오차를 측정하고, 측정불확도를 계산해서 피조 간섭계의 광축방향 변위 오차 측정 한계를 규명한다. 또한 수식을 통해 조각거울 광축방향 변위 오차와 간섭계로 측정한 표면 초점오차(defocus)의 관계를 계산했고, 도출한 수식의 타당성을 실험으로 검증했다.