• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.142-142
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• 2010

본 논문은 단결정 및 다결정 실리콘 기판 상에 아산화질소 플라즈마 처리를 통하여 형성한 초박형 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 특성과 이의 어플리케이션에 관한 것이다. 초박형 절연막은 현재 다양한 전자소자의 제작과 특성 향상을 위하여 활용되고 있으나 일반적인 화학 기상 증착 방법으로는 균일도를 확보하기 어려운 문제점을 가지고 있다. 디스플레이의 구동소자로 활용되는 박막 트랜지스터의 특성 향상과 비휘발성 메모리 소자의 터널링 박막에 응용하기 위하여 초박형 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 증착과 이의 특성을 분석하였고, 실제 어플리케이션에 적용하였다. 실리콘 산화막과 실리콘 계면상에 존재하는 질소는 터널링 전류와 결함 형성을 감소시키며, 벌크 내에 존재하는 질소는 단일 실리콘 산화막에 비해 더 두꺼운 박막을 커패시턴스의 감소없이 이용할 수 있는 장점이 있다. 아산화질소 플라즈마를 이용하여 활성화된 질소 및 산소 라디칼들이 실리콘 계면을 개질하여 초박형 실리콘 옥시나이트라이드 박막을 형성할 수 있다. 플라즈마 처리 시간과 RF power의 변화에 따라 형성된 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 두께 및 광학적, 전기적 특성을 분석하였다. 아산화질소 플라즈마 처리 방법을 사용한 실리콘 옥시나이트라이드 박막을 시간과 박막 두께의 함수로 전환해보면 초기적으로 증착률이 높고 시간이 지남에 따라 두께 증가가 포화상태에 도달함을 확인할 수 있다. 아산화질소 플라즈마 처리 시간의 변화에 따라 형성된 박막의 전기적인 특성의 경우, 플라즈마 처리 시간이 짧은 실리콘 옥시나이트라이드 박막의 경우 전압의 변화에 따라 공핍영역에서의 기울기가 현저히 감소하며 이는 플라즈마에 의한 계면 손상으로 계면결합 전하량이 증가에 기인한 것으로 판단된다. 또한, 전류-전압 곡선을 활용하여 측정한 터널링 메카니즘은 2.3 nm 이하의 두께를 가진 실리콘 옥시나이트라이드 박막은 직접 터널링이 주도하며, 2.7 nm 이상의 두께를 가진 실리콘 옥시나이트라이드 박막은 F-N 터널링이 주도하고 있음을 확인할 수 있다. 결론적으로 실리콘 옥시나이트라이드 박막을 활용하여 전기적으로 안정한 박막트랜지스터를 제작할 수 있었으며, 2.5 nm 두께를 경계로 터널링 메커니즘이 변화하는 특성을 이용하여 전하 주입 및 기억 유지 특성이 효과적인 터널링 박막을 증착하였고, 이를 바탕으로 다결정 실리콘 비휘발성 메모리 소자를 제작하였다.

• Electronics and Telecommunications Trends
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• v.28 no.4
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• pp.23-34
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• 2013

X-선 혹은 감마선 등 종래의 방서선 치료는 양성자 혹은 이온에 의한 치료방법의 등장함에 따라 퇴조할 것으로 보인다. 그 이유는, 양성자 등 전하를 띄는 입자치료기술이 치료 후 후유증이나 암의 재발을 현저히 억제시킬 수 있기 때문이다. 전하를 띄는 입자는 암 조직 전후의 정상 조직에 최소한의 피폭을 주나, X-선이나 감마선과 같은 광자들은 암 조직 전후의 정상세포가 암세포로 변화될 수 있는 정도의 피폭량을 주는 것으로 알려져 있다. 현재 임상 중인 양성자(혹은 극히 일부의 탄소이온 치료기)치료기는 1990년 미국의 로마린다(Loma Linda) 대학에서 최초로 건립된 방식인 사이클로트론 혹은 싱클로트론 가속기와 빔라인 및 겐트리(gantry)로 구성된다. 그 장치의 거대함만큼이나 가격과 유지비 등에서 일반 소형병원에서 운영하기에는 쉽지 않아 보인다. 이에 본고에서는 소형병원에서도 운영할 수 있는 저비용의 레이저 양성자(이온) 가속방식의 등장 배경과 향후 전망을 논하고자 한다.

• Microbiology and Biotechnology Letters
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• v.18 no.5
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• pp.517-524
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• 1990

The solubilization and desolubilization of proteins in CTAB/hexanol/isooctane reverse micellar system were investigated for the selective separation of proteins. Several proteins were used, including bovine serum albumin (BSA), pepsin, trysin and ribonuclease-a. Most proteins could be solubilized into reverse micelles in the pH range above the isoelectric point of each protein, where the net charge of protein was opposite to that of surfactant. However BSA was solubilized above pH 10, which is serveral pH units above the pI 4.9. The kinds of anions in aqueous phase influenced on protein solubilization while no significant trend was observed with different cations, Protein solubilization decreased with increase of the ion size in the order of F -, C1-, Br- and I -. The size of CTAB micelles did not change significantly with increasing ionic strength, but the solubilization decreased. Protein desolubilization showedropposite behaviors to the solubilization. Several model mixtures such as pepsin/ trypsin, pepsin/ribonuclease-a and BSAlribonucleaee-a were successfully separated from each other without changing enzymatic activities.

• The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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• v.14 no.1
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• pp.27-32
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• 2003

This paper describes to extend the fast algorithm fur the capacitance extraction of large three-dimensional object. The triangular meshes are used and refined adaptively in the area where the heavy charges reside in each iterative solving. This technique is applied to the capacitance extraction of a 68-pin cerquad package. The results show fast convergence, and this adaptive technique coupled with the fast algorithm is efficient to reduce the number of elements and computing time with least additional computational efforts in large three dimensional problems.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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• v.22 no.2
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• pp.311-320
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• 1998

The cryogenic fracture behaviors of austenitic stainless steel HN2 developed for nuclear fusion reactor were evaluated quantitatively by using the small punch(SP) test. The electrochemical polarization test was applied to study thermal aging degradation of HN2 steel. The X-ray diffraction(XRD) analysis was conducted to detect carbides and nitrides precipitated on the grain boundary of the heat treated HN2 steel. The mechanical properties of the HN2 steel significantly decreased with increasing time and temperature of heat treatment or with decreasing testing temperature. The integrated charge(Q) obtained from electrochemical polarization test showed a good correlation with the SP energy(ESP) obtained by means of SP tests. From the results observed in the x-ray diffraction and anodic polarization curve, it was known that the material the grain boundary. Combining SP test and electrochemical polarization test, it could be useful tools to non-destructively evaluate the cryogenic fracture behaviors and the aging degradation for cryogenic structural material.

• Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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• v.16 no.12
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• pp.2716-2724
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• 2012

In this paper, a Phase Difference-to-Voltage Converter (PDVC) has been introduced into a conventional fractional-N PLL to suppress fractional spurs. The PDVC controls charge pump current depending on the phase difference of two input signals to phase frequency detector. The charge pump current decreases as the phase difference of two input signals increase. It results in the reduction of fractional spurs in the proposed fractional-N PLL. The proposed fractional-N PLL with PDVC has been designed based on a 1.8V $0.18{\mu}m$ CMOS process and proved by HSPICE simulation.

• Membrane Journal
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• v.11 no.1
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• pp.22-28
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• 2001

Various charged homogeneous membranes were fabricated by blending of ionic polymer with a non-ionic polymer with different ratios. In this study. sodium alginate, chitosan and poly(vinyl alcohol) were employed as anionic. cationic and non-ionic polymers, respectively. The permcation and separation behaviors of aquCOll::; salt solutions have been investigated through the charged membranes. As the content of ionic polymer increases in the membrane, the hydrophilicity of the membrane increases and pure water flux as well as solution flux increases correspondingly, indicating that the permeation performance through the membrane is cletemunecl mainly by its hydrophilicity-, Electrostatic interaction between the charged membrane and ionic solute molecules, that is. Donnan exclusion was observed to be attributed to salt rejection to a great deal of extent, and molecular sieve mechanism was effective [or the separation of the salt solution under a similar electrostatic circumstance of solutes.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD
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• v.38 no.2
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• pp.87-94
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• 2001

A soft error rate for DRAM was predicted in connection with the leakage current in cell capacitor. The charge in cell capacitor was decreased during the DRAM operation, and soft error retes due to the leakage current were calculated in various operation mode of DRAM. It was found that the soft error rate of the /bit mode was dominant with small leakage current, but as increasing the leakage current memory mode shown the dominant effect on soft error rate. Using the 256M grade DRAM structure it was predicted that the soft error rate was influenced by the change of the cell capacitance, bit line capacitance, and the input voltage sensitivity of sense amplifier, and these results can be used to the design of the optimum cells in the next generation DRAM development.

• Journal of the Korean Chemical Society
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• v.27 no.1
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• pp.9-17
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• 1983

The effect of pressures and temperatures on the stabilities of the durene-iodine charge transfer complex have been investigated through ultraviolet spectrophotometric measurements in n-hexane. The stabilities of complexes were measured at 25, 40 and $60^{\circ}C$ under $1{\sim}1600$ bars. The equilibrium constant of the complex was increased with pressure and decreased with temperature raising. The absorption coefficient was increased with both pressure and temperature. Changes of volume, enthalpy, free energy and entropy for the formation of complexes were obtained from the equilibrium constants. The red-shift observed at a higher pressure, the blue-shift at a higher temperature, and the relation between pressure and oscillator strength were discussed by means of thermodynamic functions.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2003.07b
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• pp.1074-1077
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• 2003

우리는 AC-PDP에서 휘도와 효율을 향상시키기 위하여 Ne-Xe(4%)와 He(7)-Ne(3)-Xe(3%)에 소량의 Ar 또는 Kr를 첨가하여 최적의 페닝 방전가스 혼합비를 연구하였다. 우리는 이것을 증명하기 위해 효율과 Q-V 방법을 이용하여 벽전하를 계산하였으며, 2차원 시뮬레이션에서의 결과값과 비교하였다. 200 Torr 압력에서 He-Ne-Xe 또는 Ne-Xe에 소량의 Ar(0.01-0.1%) 또는 Kr(0.01-0.1%)을 첨가시켰을 때, 우리는 20% 이상의 휘도의 증가와 25% 이상의 효율 증가를 발견하였고, 또한 벽전하도 25% 이상의 증가를 보였다. 400 Torr 압력에서 He-Ne-Xe-Kr(0.005%)에 소량의 Ar(0.005-0.1%)를 첨가시켰을 때는 8% 이상의 휘도의 증가와 18% 이상의 효율 증가, 12% 이상의 벽전하 증가를 확인하였다. 결론적으로 이 결과는 He, Ne, Ar, Kr 사이에 추가적인 페닝효과가 휘도와 효율을 향상시켰다는 것을 보여준다.