Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2013.02a
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pp.560-560
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2013
플라즈마 내의 전자 에너지 분포는 방전 특성 및 전자 가열 메커니즘에 대한 정보를 줄 수 있을 뿐만 아니라, 소자 생산 공정에서 공정 조건 제어 및 소자 품질 향상에 중요한 역할을 하는 변수이다. 그에 따라서, 반도체공정에서 널리 쓰이는 유도 결합 플라즈마 또는 용량성 결합 플라즈마 장치의 외부 변수에 따른 전자 에너지 분포 변화에 대한 연구가 많이 진행되어왔다. 본 연구에서는, 극판 전극이 인가된 유도 결합 플라즈마 구조에서 낮은 압력의 아르곤과 산소 기체 방전에 대하여 전자 에너지 분포를 측정하였다. 극판 전압만이 인가되었을 경우에는 두 개의 온도를 갖는 전자 에너지 분포를 측정하였으나, 소량의 안테나 전력을 인가할 경우 하나의 온도를 갖는 전자 에너지 분포를 측정할 수 있었다. 이러한 분포함수의 급격한 변화는 유도 결합 전기장과 용량성 결합 전기장의 혼재에 따른 전자 가열 효과이며, 극판에서의 전압, 전류 그리고 위상 측정을 통하여 전자 가열 메커니즘을 확인하였다.
The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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v.32
no.3A
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pp.319-323
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2007
In this paper, the automatic precision measurement of RF voltage has been done using the power and impedance standards [1] in the frequency range of 50 to 1000 MHz. A coaxial microcalorimeter and an automatic network analyzer were used for the determination of the RF-DC differences and the total uncertainty is about 1.0 %. A HP computer, a commodore computer and IEEE-488 interface bus were used for measuring the effective efficiency of thermistor mount and the RF-DC difference of thermal voltage converter, All processes of measurement were accomplished by self-developed program automatically.
세계적으로 전기수요와 전기풀질의 중요성의 증대로 진력설비의 감시 및 보호를 위한 센싱기술에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 그러나 기존의 전압 및 전류측정 장치인 철심형 변성기는 측정전압이나 전류가 증가될수록 전기적 절연설계가 어렵고 외형 부피가 커질 뿐만 아니라, 측정의 정확도, CT 철심의 자속포화로 인한 사고전류측정의 어려움 등의 문제점이나 단점을 가지고 있어서, 이를 해결하기 위해 센서기술의 개발이 진행되고 있다. 따라서 본 논문에서는 전력설비분야에서의 새로운 센싱기술에 대한 연구개발 동향 및 상용화동향을 분석하고, 이를 통해 국가 과학기술정보의 확산 및 국가 경쟁력 증대에 작으나마 도움이 되고자 한다.
세계적으로 전기수요와 전기품질의 중요성의 증대로 전력설비의 감시 및 보호를 위한 센싱기술에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 그러나 기존의 전압 및 전류측정 장치인 철심형 변성기는 측정전압, 전류가 증가될수록 전기적 절연설계가 어렵고 외형 부피가 매우 커질 뿐만 아니라, 측정의 정확도, CT 철심의 자속포화로 인한 사고전류측정의 어려움 통의 문제점이나 단점을 가지고 있어서, 이를 해결하기 위해 센서기술의 개발이 진행되고 있다. 본 논문에서는 전력설비분야에서의 새로운 센싱기술에 관해 조사된 특허정보를 중심으로 과거의 기술흐름과 최근의 기술동향, 출원인 분석을 통한 기술의 우위현황 및 기술의 주요 분포도 등을 도식화된 그래프를 이용하여 다각적으로 분석하고자 한다.
삼중탐침법은 세 개의 탐침으로 플라즈마의 전자온도와 밀도를 구할 수 있는 정전탐침법이다. 삼중 탐침은 빠른 시간에 플라즈마 변수를 구할 수 있다는 장점을 가지고 있다. 따라서 펄스파워로 구동하는 플라즈마나 시간에 대해 변화가 심한 플라즈마에서 주로 사용된다. 하지만 RF전원으로 구동되는 플라즈마의 경우에는 RF교란과 잡음에 의해서 측정값에 왜곡이 일어난다. 또한 바이어스 전압에 따라 측정값에 차이가 나타나게 된다. 유도 결합 플라즈마에서 RF교란을 줄였을 경우에 대한 효과를 알아보기 위해 RF보상 삼중탐침을 통하여 RF 잡음 및 교란을 줄이고, 적당한 바이어스 전위를 구했다. RF보상 삼중탐침의 부유전압을 재어 Self-bias가 줄어듦을 알 수 있었고, 전자온도와 밀도의 측정값이 단일탐침 측정값과 비슷하게 나옴을 알 수 있었다.
변형거울은 적응광학계(Adaptive Optics System)에서 파면 측정 센서와 더불어 중요한 장치로서 왜곡된 파면을 보정하는 역할을 한다. 이 실험에서는 저가의 박막 변형거울을 이용한 파면 보정 방법을 연구하였다. 박막거울의 변형은 알루미늄으로 코팅된 박막과 37개의 제어 전극에 각각 바이어스 전압과 제어전압을 가함으로서 이루어졌다. 박막거울에서 나타나는 바이어스 전압에 의한 경면의 초기 오목 변형은 수동 변형 거울 (MDM)을 사용해서 0.1 wave 이내로 보정할 수 있었다. (중략)
Proceedings of the Korea Multimedia Society Conference
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2001.11a
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pp.35-40
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2001
동적 전압 조정(DVS)은 모바일 환경에서 프로세서에서의 전력 소모를 줄일 수 있는 가장 효율적인 방법으로 많은 연구가 진행중이다 또한 MPEG 디코딩은 모바일 기기에서 가장 중요하고 또한 전력 소모가 큰 어플리케이션 중 하나이다. 본 논문에서는 모바일 환경에 적합한 MPEG 디코더를 DVS를 이용하여 구현하였고 전력 소모를 측정하였다. 제안된 첫번째 DVS 알고리즘은 이전의 workload에 의해 다음 workload를 예측하여 전압을 조정하는 것이고, 두번째 알고리즘은 MPEG 프레임의 종류 및 크기를 이용하여 다음 프레임의 디코딩 시간을 예측 한 후 전압을 조절하는 것이다. 실험을 통하여 두번째 알고리즘에 의한 MPEG 디코더가 더 정확한 workload 예측을 통하여 QoS의 저하를 최소화하면서 전력 소모를 더 많이 줄일 수 있었다.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2010.06a
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pp.107-107
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2010
IT 산업의 발달과 더불어 카메라, 휴대폰, 노트북, 캠코더 등 전기전자 응용분야에 복합기능성 실리콘 고무 시트가 사용되고 있다. 본 연구에서는 실리콘 고무의 사용시 발생하는 정전기를 방지하기 위해 습도와 온도 변화에 따른 정전기 대전전압을 측정하였다. 카본양의 증가에 따라서 대전전압이 감소하였으며 습도가 증가됨에 따라 정전기 대전량은 감소하였다. 12Phr카본 첨가시 대전과 동시에 완화가 일어남을 확인했다.
Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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1998.05b
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pp.802-807
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1998
Cs$^{+}$ 이온으로 오염된 kaolin 토양에 대한 동전기적 토양제염 연구를 수행하였다. 실험실 규모의 제염장치를 제작하여 계의 pH, 전류 및 전압 변화를 측정하였으며 전압 변화에 따른 전기삼투 흐름속도의 변화와 산 전선의 이동속도 변화를 조사하였다. 일정시간에서, Cs$^{+}$ 이온의 제거량은 계에 걸어준 전압에 비례하여 증가하였고 실험으로부터 구한 본 계의 electroosmotic permeability coefficient (K$_{e}$)는 4.27 x $10^{-6}$$\textrm{cm}^2$/V.S 이다.
대전입자형 디스플레이의 상판에 magenta, yellow, cyan의 대전입자를 주입하고 하판에는 black 대전입자를 주입하고 합착하여 패널을 제작 후 각 패널에 0V에서 210V까지 10V step으로 전압을 인가하여 응답속도를 측정한 후 같은 조건의 패널에 aging전압을 인가 후 구동전압을 인가하여 응답속도를 비교하여 각 컬러에 대한 응답속도 특성변화와 개선을 연구하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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