• Title/Summary/Keyword: 전기비저항 변화비

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그래핀 전극을 가진 $V_3Si$ 나노입자 저항변화 메모리 소자의 전기적 특성연구

  • Kim, Dong-Uk;Lee, Dong-Uk;Jo, Seong-Guk;Kim, Eun-Gyu
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.353-353
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    • 2013
  • 최근 고밀도 메모리 반도체의 재료와 빠른 응답을 요구하는 나노입자를 이용한 비휘발성 메모리 소자의 제작에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 특히, 비휘발성 메모리 소자 중 하나인 저항 변화 메모리 소자는 인가되는 전압에 따라 저항이 급격히 변화하여 적어도 서로 다른 두 저항 상태를 스위칭할 수 있는 물질을 이용하는 소자이다. 따라서 본 연구에서는 화합물 중에서 비휘발성 메모리 장치의 전기적 특성을 향상시킬 수 있는 실리사이드 계열의 바나듐 실리사이드($V_3Si$) 박막을 열처리 과정을 통하여 수 nm 크기의 나노입자로 제작하여, 그래핀을 하부 전극으로 하는 저항 변화 메모리 소자를 제작하였다. p-type (100) 실리콘 기판에 단일층으로 형성되어 있는 그래핀 상에 약 10 nm 두께의 저항 변화층($SiO_2$)을 각각 초고진공 스퍼터링 방법으로 성장시킨 후 $V_3Si$ 나노입자를 제작하기 위해서 $V_3Si$ 금속 박막을 스퍼터링 방법으로 4~6 nm의 두께로 저항 변화층 사이에 증착시켰으며, 급속 열처리 방법으로 질소 분위기에서 $800^{\circ}C$로 5초 동안 열처리하여 $V_3Si$ 나노 입자를 형성하였다. 마지막으로 200 nm 두께의 Pt을 증착하였다. 하부 전극으로 형성되어 있는 그래핀은 라만 분광법을 이용하여 확인하였으며, 제작된 소자의 전기적인 측정은 Agilent E4980A LCR meter, 1-MHz HP4280A와 HP 8166A pulse generator, HP4156A precision semiconductor parameter analyzer을 이용하여 전기적인 특성을 확인하였다.

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Temperature-compensated Resistivity Probe - Development and Application (온도보상형 전기비저항 프로브 - 개발 및 적용)

  • Jung, Soon-Hyuck;Yoon, Hyung-Koo;Lee, Jong-Sub
    • Journal of the Korean GEO-environmental Society
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    • v.12 no.1
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    • pp.51-60
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    • 2011
  • Electrical resistivity is applied for understanding details about layers and obtaining basic properties of soils to various measurement devices. The objective of this study is development of TRP(Temperature-compensated Resistivity Probe), analysis about effects of temperature changes during cone penetration test, and observation of characteristics of cone penetration. In order to observation of temperature changes according to a diameter difference of resistivity cone probe, the cone which has wedge type cone tip is made to two types, 2mm and 5mm. Temperature sensor is attached at 15mm below from cone tip because of an electrical interference with elecrical resistance probe. Delectrical connector is used to prevent electric disturbance between motor type penetrating machine and electrical resistivity cone probe. Application tests are carried out in acrylic cell whose diameter is 30cm with uniform Jumunjin sand according to densification caused by blows. The test results indicate that the temperature is increased uniformly during penetration and a tendency, characteristics of cone penetration, is discovered during altering state of soils. This study suggests that the temperature effects and characteristics of penetration should be considered in penetrating tests in order to conduct an accurate ground investigation using TRP(Temperature-compensated Resistivity Probe).

Characteristics of Thin Film Electric Resistance Probe Prepared at Various Sputtering Condition (박막형 전기저항식 부식속도 측정 센서의 금속층 증착조건에 따른 전기화학적 특성 변화)

  • 방일환;원덕수;송홍석;장상엽;이성민;고영태;김지영
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 1998.05a
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    • pp.95-95
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    • 1998
  • 현장에서 부식속도를 측정하는 방법의 하나인 전기저항 프로브(Electric Resistance Probe, ER probe)는 시편이 부식되는 양에 비례하여 저항이 증가하는 원리를 이용한 것으로 부식기구에 무관하게 직접적인 부식속도의 측정이 가능하다. 그러나, 와이어나 판형으로 기계 가공된 프로브로 제작되어 미량의 부식에는 저항변화폭이 작아 긴 측 정시간이 필요하고, 특히 국부 부식의 경우 부식이 상당히 진행되더라도 전체 저항변 화가 크지 않은 문제점이 있다. 박막형 전기저항프로브는 미량의 부식에서도 저항변화폭이 크게 나타나도록하기 위 하여 금속 박막을 스퍼터링으로 증착하여 동일 부식량에서 저항 변화율을 크게 향상 시킨 프로브이다. 이 프로브는 좁은 선폭(O.25-1mm)의 세선을 복수개 포함한 형상으로 프로브를 설계하여 핏팅이 발생하면 하나의 세선이 끊어지도록 하여 국부적인 부식이 일어날 경우에도 저항변화가 크게 나타나도록 고안되었다. 탄소강의 경우 일반적인 환경에서는 부식속도가 결정립의 크기, 가공경화의 정도등 에 민감하게 변화되지 않는 것으로 알려져 있으나, 박막으로 증착되었을 경우에는 별 크재료와는 전혀 다른 미세구조를 가지므로 벌크의 부식거동과는 다른 거동을 보일 수 있다. 이 연구에서는 증착조건을 달리하여 증착된 철 박막의 결정성, 비저항, 표면 상태, 조성등을 4 point 프로브, SEM, Auger spectroscopy등을 이용하여 조사하고 각각의 전위, 부식속도등과의 상관관계를 조사하였다. 증착된 박막의 비저항은 증착중 혼입된 산소의 양에 따라 매우 민감하게 변화하였다. 산소가 l0at%이상 함유된 철은 강의 알려진 비저항보다 수십배 높은 비저항을 보이며, 부식전위가 높아지고 실제 부식속도 또한 매우 낮게 나타났다. 박막의 부식거동은 미량 불순물에 의해서도 크게 변화하였는데 동일한 수준의 비저 항을 갖는 철 박막에서도 99.9% 순도의 철을 타켓으로 하여 증착된 막은 일반 저탄소 강을 타켓으로 하여 증착된 막보다 훨씬 낮은 부식속도를 보였다.

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3D Effect of Embankment Dam Geometry to Resistivity Data (3차원 댐구조가 전기비저항 자료에 미치는 영향)

  • Cho, In-Ky;Lee, Keun-Soo;Kang, Hye-Jin
    • Geophysics and Geophysical Exploration
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    • v.13 no.4
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    • pp.397-406
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    • 2010
  • Resistivity method is a practical and effective geophysical technique to detect leakage zones in embankment dams. Generally, resistivity survey conducted along the crest assumes that the embankment dam has a 2D structure. However, the 3D topography of the embankment distorts significantly resistivity data measured on anywhere of the dam. This study evaluates the influence from 3D effects created by specific dam geometry and effects of water level fluctuations through the 3D finite element modeling technique. Also, a comparison between different locations of survey line are carried out, and topographic correction technique is developed for the resistivity data obtained along the embankment dam. Furthermore, using synthetic resistivity data for an embankment dam model with leakage zone, detectability of leakage zones is estimated through 2.5D inversion.

Application of Electrical Resistivity Monitoring Technique to Maintenance of Embankments (저수지의 유지관리를 위한 전기비저항모니터링 기법 응용)

  • Park Sam Gyu;Kim Jung-Ho;Seo Goo Won
    • Geophysics and Geophysical Exploration
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    • v.8 no.2
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    • pp.177-183
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    • 2005
  • The subject of this paper is research into the application of electrical resistivity monitoring to detecting the water leakage of water utilization facilities. For this purpose, we installed a comprehensive monitoring system consisting of resistivity measurement, inclinometer, piezometer, and water gauge at an embankment. Using this monitoring system, we monitored the various kinds of measurement data and compared the resistivity structures and that of hydrological and engineering data in order to investigate the water leakage and stability of the embankment. The variant images of electrical resistivity at the embankment were provided from the monitoring data and we could accurately locate the portion of which resistivities have sharply changed. Furthermore, we could estimate the stability of the embankment more effectively and quantitatively by jointly interpreting the monitoring data of resistivity, water level, pore water pressure, and subsurface displacement. The monitoring experiments in this study led us to the conclusion that for the efficient maintenance of the water utilization facilities, monitoring the resistivity data and hydrological data would be much more preferable to performing the just one-time measurements.

Analysis of Geophysical and Geotechnical SPT Data for the Safety Evaluation of Fill Dam (필댐 안정성 평가를 위한 물리탐사와 SPT 자료의 분석)

  • Oh, Seok-hoon;Sun, Chang-Guk
    • Journal of the Korean Geophysical Society
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    • v.7 no.3
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    • pp.171-183
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    • 2004
  • Electrical resistivity survey is widely used to investigate the stability of center-core type fill dam against the seepage phenomenon. In this study, we analyze the resistivity information obtained on a earth fill dam and compare it with the geotechnical SPT result. The analysis shows that the zones showing low resistivity value generally have low N value. However, some zones with high resistivity pattern do not accompany the increase of N value, and even showing low N value. These results imply that the direct identification of resistivity value to the real status of the core material of fill dam is impossible, and a highly resistive zone may be in serious status due to the effect increasing the resistivity value by the piping condition. Therefore, multiple exploration should be planned to reduce the uncertainty in application of geophysical methods to dam safety evaluation.

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Time-lapse Inversion of 2D Resistivity Monitoring Data (2차원 전기비저항 모니터링 자료의 시간경과 역산)

  • Kim, Ki-Ju;Cho, In-Ky;Jeoung, Jae-Hyeung
    • Geophysics and Geophysical Exploration
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    • v.11 no.4
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    • pp.326-334
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    • 2008
  • The resistivity method has been used to image the electrical properties of the subsurface. Especially, this method has become suitable for monitoring since data could be rapidly and automatically acquired. In this study, we developed a time-lapse inversion algorithm for the interpretation of resistivity monitoring data. The developed inversion algorithm imposes a big penalty on the model parameter with small change, while a minimal penalty on the model parameter with large change compared to the reference model. Through the numerical experiments, we can ensure that the time-lapse inversion result shows more accurate and focused image where model parameters have changed. Also, applying the timelapse inversion method to the leakage detection of an embankment dam, we can confirm that there are three major leakage zones, but they have not changed over time.

Application Techniques of 2D-Resistivity Structure for Estimation of Inferred Fracture Zone in Weathered Slope (풍화사면에서의 추정파쇄대 평가를 위한 2차원 전기비저항 구조도 적용 기법)

  • Kim, Jae-Hong;Park, Chal-Sook;Lee, Hyun-Jae;Jeong, Gyo-Cheol
    • The Journal of Engineering Geology
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    • v.19 no.3
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    • pp.323-330
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    • 2009
  • Electrical resistivity survey is applied for estimation of inferred fault and fractured zone in civil engineering and environment field. While 15 m diameter and 3 lines tunnels are excavated. It is recognized that core stone and fractured zone is existed in the weathered slope of the entrance to a tunnel. To make confirmation geological characteristics, dipole-dipole electric resistivity survey was carried out in weathered slope of the entrance to a tunnel. Core stone distribution and fracture zone characteristics are estimated by reverse analysis and 2D-resistivity structure using FDM.

A Study on the Correlation between Electrical Resistivity and Properties of Contaminated Soils (오염지반의 전기비저항치와 토성과의 상관성 연구)

  • 윤길림;이영남
    • Geotechnical Engineering
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    • v.14 no.2
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    • pp.79-92
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    • 1998
  • Parametric studies based on laboratory pilot tests were performed to investigate the relationships between electrical resistivity and properties of contaminated soils. Three kinds of sandy soils sampled and leachate from an industrial waste landfill were mired to model the contaminated soils. Electrical resistivity of soils was measured by using a simulated resistivity cone penetrometer probe. In the experiments. the electrical resistivity was observed by changing the water content, void ratio, unit weight, degree of saturation, and concentration of the leachate. The test results show that the electrical resistivity of soils depends largely on the water content and the electrical property of pore water rather than unit weight and types of soils.

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Geoelectric surveys in the southern part of the Yangsan Fault

  • Lee, Gi Hwa;Han, Won Seok
    • Journal of the Korean Geophysical Society
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    • v.2 no.2
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    • pp.111-122
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    • 1999
  • 한반도 남동부 경상분지에 위치한 양산단층의 지전기학적 구조를 밝히기 위하여 경주시 이조리와 울산시 서하리, 양산시 삼감리와 회산리 사이에서 전기비저항 탐사를 수행하였다. 단층파쇄대는 낮은 전기비저항값을 가지며 단층파쇄대에 분포하는 풍화대는 남쪽으로 향할수록 두꺼워지는 것으로 나타났다. 풍화대의 깊이는 서하리와 회산리에서 약 100 m 이며 다른 지역에서는 약 50-70 m 정도이다. 단층파쇄대에 위치하는 풍화대의 전기비저항값은 회산리에서 얻어진 약 10 Ωm의 매우 낮은 값을 제외하고는 약 40-300 Ωm 정도이다. 연구지역 내에서는 풍화대 하부에 위치하는 기반암의 깊이가 양산단층을 따라 남쪽으로 향할수록 깊어지는 특징적인 변화 양상을 갖는 것으로 보인다. 수평탐사 결과는 양산단층에 가까워질수록 겉보기 비저항값이 감소함을 보여준다

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