A Study on Magnetoresistance Uniformity of NiFE/CoFe/AlO/CoFe/Ta TMR Devices Prepared by ICP Sputtering (ICP 스퍼터를 이용한 NiFe/CoFe/AlO/CoFe/Ta TMR 소자 제작에 있어서의 자기저항 균일성 연구)
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- Journal of the Korean Magnetics Society
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- v.11 no.5
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- pp.189-195
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- 2001