• Proceedings of the Korea Society for Energy Engineering kosee Conference
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• 1996.10b
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• pp.98-103
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• 1996

석탄가스화복합발전소내 공기분리장치와 연계된 가스터빈 공기압축기의 성능병화를 예측할 수 있는 해석방법을 제안하였다. 공기분리장치와 연계된 가스터빈용 공기압축기의 성능변화는 유선곡률방법과 압력손실모델을 결합한 해석방법을 사용하였으며, 예측결과들을 실제 압축기성능 시험 결과와 비교하여 예측정확도를 검증하였다. 제안된 압축기성능 해석방법을 근간으로, 압축기와 공기분리장치의 연계조건인 열교환기의 핀치포인트 온도차, 추출공기량 및 추출 공기압력이 압축기 성능변화에 미치는 영향을 정량적으로 예측하였다. 공기추출량이 늘어나거나 핀치포인트 온도차가 커질수록, 압축기의 압축비 및 소요동력은 증가하나, 압축기 효율은 공기추출량의 증가에 따라 고압공기추출시에는 저하되고, 저압공기추출시에는 향상되었다. 더 나아가, 압축기의 일반화된 성능특성곡선의 제시를 통해, 압축기 효율을 극대화 할 수 있는 압축기/공기분리장치 간 연계조건의 최적화를 시도하였다.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.7 no.10
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• pp.884-890
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• 1997

Sputtering 방법을 통해 Si기판 위에 Ti와 TiN박막을 증착하고 저압 반응관내에서 Cu*hfac)(TMVS)를 precursor로 사용 MOCVD Cu박막을 증착하여 Cu/TiN/Ti/Si구조의 다층박막을 제조하였고 이에 대한 열처리 방식 및 분위기 변화 등을 통해 열처리 조건에 따른 Cu 박막의 특성 변화에 대해 조사하였다. 열처리 방식으로는 Cu박막을 형성한 후 공기 중에 노출이 없이 바로 열처리하여 Cu산화물 형성을 억제할 수 있는 in-situ열처리 방식이 유리하고, 열처리 분위기로는 Cu 박막의 표면이나 결정립계 내에 존재하는 Cu 산화물을 환원시켜 줄 수 있는 H$_{2}$(10%)/Ar분위기가 표면평탄화, 결정립 크기 증가 및 비저항 감소측면에서 우수한 특성의 Cu박막을 얻을 수 있음을 확인하였다.

• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2019.05a
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• pp.321-323
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• 2019

본 논문은 벽면 이동 로봇의 진공흡착을 위한 Mechanism의 개선에 관한 연구로서, 시뮬레이션을 통해 로봇의 무게에 따른 중력을 견딜 수 있도록 흡착의 효율을 높이고, Mechanism의 여러 조건들을 고려하여 실험을 통해 가장 적절히 부합하는 조건을 판단하며 벽의 수직방향으로의 미는 힘과 챔버 내의 저압영역등과의 상관관계를 고려하여 흡착 능력을 개선하기 위한 방법을 판단하기 위해 실험을 진행하였다.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2003.05a
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• pp.59-63
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• 2003

본 연구에서는 저압 상태인 반도체 제조장비의 입자오염을 측정하는데 많이 사용되고 있는 ISPM 의 성능 특성을 실험적 기법으로 조사하였다. 2 개의 공기역학적 렌즈를 사용하여 주입된 219.41 nm 크기의 PSL 실험 입자 빔을 생성시켰다 또한 기존에 보고된 실험조건에 따라 chamber 압력, 유입유량을 각각 1 torr와 32 sccm 으로 맞추었으며, 입자 농도를 두 가지로 변화시켜 실험하였다. 연구에 사용된 본 연구센터의 ISPM 장비는 250 nm 근처의 입자 크기에 대하여 비교적 정확한 특성을 나타냄을 알 수 있었다. 앞으로 본 실험에서는 사용된 ISPM 장비의 측정 환경에 맞는 렌즈 수, 렌즈 간격 , 적정 압력, 적정 입자 크기 등 조건들을 결정하여 실제 반도체 제조장비 공정 chamber 에 직접 부착하여 반도체 공정에 활용할 계획이다.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.5 no.7
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• pp.835-841
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• 1995

The deposition properties of Si$_3$N$_4$ deposited by low pressure chemical vapor deposition were studied to evaluate Si$_3$N$_4$as part of multi-layer coatings for anti-oxidation and anti-wear coating of graphite in the propellant-burning environment. Si$_3$N$_4$was deposited on the pack-SiC coated graphite and the tendencies of deposition rate and surface morphology changes with temperatures and reaction gas ratios were investigated. In low deposition temperatures the deposition rate increased tilth increasing temperature but in high temperatures the deposition rate decreased with increasing temperature. The grain size of Si$_3$N$_4$decreased with increasing temperature. In condition that the range of reaction gas ratios is 20$\leq$NH$_3$/SiH$_4$$\leq$40, the deposition rate and surface morphology did not change. The Si$_3$N$_4$deposited at 800~130$0^{\circ}C$ was amorphous, and by post-annealing at 130$0^{\circ}C$ in a $N_2$ambient, the Si$_3$N$_4$crystalized.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.4 no.3
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• pp.259-267
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• 1994

The effect of processing parameters, temperature, gas concentration, gas flow rate and pressure, were studied on the densification of carbon/carbon composites using a Robust design method in isothermal low-pressure chemical vapor infiltration with a gas system of $C_3H_8-N_2$ After one time of isothermal low-pressure chemical vapor infiltrat.ion, the bulk density of carbon/carbon composites in creased up to 1-9% and apparent porosity of the composites decreased down to 20-50%. ANOVA analysis of the experiment.al data revealed that the important parameters of isothermal lowpressure chemical vapor infiltration were temperature, gas concentration and gas flnw rate. 'There was almost no ~ f f e c t on densification by pressure and interaction between each parameters. In t, he present experimental conditions, the highest bulk density was obtained at $1100^{\circ}C$ temperature, 100% $C_3H_8$, concentration, 100 SCCM flow rate and 5 torr pressure.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.9 no.3
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• pp.587-592
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• 2008

In order to investigate the performance of an internal heat exchanger for $CO_2$ refrigerant system, the experiment was performed. Four kinds of internal heat exchangers(IHX) were used. The effects on the IHX length, the number of tube, the operating condition and the type of IHX were investigated. With increasing of the IHX length, the capacity and efficiency increased. The pressure drop of the low-side was larger compared with that of the high-side. As the temperature of the gas cooler increased, the capacity and efficiency increased linearly. The operation condition of evaporator was suggested as two phase region rather than superheat region. The capacity and efficiency of the micro-channel was larger about 90% and 75% than those of the tube. But the pressure drop of the micro-channel was more larger, compared with that of the tube.

• Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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• v.25 no.6
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• pp.20-28
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• 2021

High enthalpy test facilities, such as a shock tunnel, are to be operated at the specific pressure ratio according to the desired test condition. A metallic diaphragm is machined or a forced rupture device is used to open it at a specific pressure ratio. The diaphragm opening procedure takes several hundred microseconds including rupture and deformation. This process is expected to affect the test conditions. In this study, numerical simulation was performed for different materials, thicknesses, and opening ratios. And the characteristics of shock wave generation and the stagnation condition in the tube are investigated. Results show that the final opening ratio and rupturing procedure directly affect the speed of a shock wave, stagnation pressure, and test time.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.279.2-279.2
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• 2014

반도체 선폭이 20 nm급까지 감소함에 따라 기존에 수율에 문제를 끼치던 공정 외부 유입 입자뿐만 아니라, 공정 도중에 발생하는 수~수십 나노의 작은 입자도 수율에 악영향을 끼치게 되었다. 이에 따라 저압, 극청정 조건에서 진행되는 공정 중 발생하는 입자를 실시간으로 모니터링 할 수 있는 장비에 대한 수요가 발생하고 있다. Particle beam mass spectrometer (PBMS)는 이러한 요구사항을 만족할 수 있는 장비로 100 mtorr의 공정 조건에서 5 nm 이상의 입자의 직경별 수농도를 측정할 수 있는 장비이다. PBMS로 입자의 수농도를 측정하기 위해서는 PBMS 전단에서 입자를 중앙으로 집속할 필요가 있다. 공기역학렌즈는 PBMS 전단에서 입자를 집속시키기 위해 일반적으로 널리 사용되고 있는 장비로 여러 개의 오리피스로 이루어져 있다. 공기역학렌즈를 지나는 수송 유체와 입자는 이러한 연속 오리피스를 거치면서 팽창과 수축을 반복하며, 관성력의 차이로 인해 입자가 중앙으로 집속된다. 그러나 기존 공기역학렌즈는 고정된 직경의 오리피스를 사용하기 때문에 설계된 공정조건 이외에는 입자의 집속효율이 감소한다는 단점을 지닌다. 따라서 공정조건이 바뀔 경우 공기역학렌즈를 교체해야 되며, 진공이라는 환경하에서 이러한 교체는 많은 시간과 노력을 요구로 한다. 본 연구에서는 이러한 공기역학렌즈의 문제점을 해결하기 위해 다양한 공정조건에서 교체 없이 사용할 수 있는 새로운 형태의 공기역학렌즈인 조기래형 공기역학렌즈를 제안하였다. 각각의 오리피스가 중공의 직경을 변경할 수 있는 구조인 조리개의 형태로 설계되어 있어, 공정조건에 따라 중공의 직경을 변경함으로써 입자의 집속을 결정하는 요소인 Stokes number를 조절 할 수 있다. 이러한 조리개형 공기 역학 렌즈의 성능을 평가하기 위해 수치해석적인 방법을 이용하였다. 공기 역학 렌즈 전단의 압력을 0.1~10 torr까지 변화시켜가며 다양한 공정조건에서 오리피스의 직경만을 변경하여 입자 집속 가능 여부를 판단하였으며, 조리개 형태의 구조상 발생할 수 있는 leak로 인한 입자 집속 효율의 변화도 평가하였다.

• Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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• v.2 no.2
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• pp.47-55
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• 1998

Steady-state and transient performance for the medium scale civil aircraft turbofan engine was analyzed. Steady-state performance was analyzed on maximum take-off condition, maximum climb condition, and cruise condition. At 90％RPM of the low pressure compressor, the partload performance was economized. The transient performance was analyzed with cases of the step increase, the ramp increase, the ramp decrease, and the step increase and ramp decrease for the input fuel flow. For the transient performance analysis, work matching between compressor and turbine was needed. Modified Euler method was used the integration of residual torque in work matching equation. At all flight condition, the overshoot of the high pressure turbine inlet temperature was appeared in the step and ramp increase case, and the surge of high pressure compressor was appeared in the step increase case and the ramp increase case within 5.5 seconds of maximum climb condition.