Effect of Film Properties of LPCVD Polycrystalline Silicon on the Electrical Characteristics of Thin Film Transistors (LPCVD 다결정 실리콘 막 성질이 박막트랜지스터의 전기적 특성에 미치는 영향)
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- Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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- 1993.11a
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- pp.145-146
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- 1993