• Title/Summary/Keyword: 재료사용

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Thermal Stability of W-C-N Diffusion Barrier Deposited by RF Magnetron Sputtering Method (RF Magnetron Sputtering 방식으로 증착된 W-C-N 확산방지막의 열적 안정성 분석)

  • Yoo, Sang-Chul;Kim, Soo-In;Lee, Chang-Woo
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2008.06a
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    • pp.156-157
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    • 2008
  • 반도체 소자 회로의 집적도가 높아짐에 따라 선폭이 감소하였고 고온 공정이 필요하게 되었다. 기존의 반도체 회로 배선 재료인 Al을 사용할 경우 소자의 속도가 느려져서 소자의 신뢰도가 떨어지고 고온공정에서의 문제가 발생되어 이를 해결하기 위한 차세대 배선 물질로 비저항이 낮은 Cu의 사용이 요구되고 있다. 하지만 Cu는 Si와의 확산이 잘 일어나기 때문에 그 사이에서 확산을 막아주는 확산방지막에 대한 필요성이 제기되었고 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 논문에서는 Cu와 Si사이의 확산을 방지하기 위한 W-C-N 확산방지막을 물리적 기상 증착법(PVD)중 하나인 RF Magnetron Sputtering 방식을 사용하여 증착하였다. 고온 공정에서의 안정성을 알아보기 위해 $600^{\circ}C$ 부터 $900^{\circ}C$ 까지 $100^{\circ}C$ 단위로 열처리를 하였고 4-point probe 장치를 사용하여 열처리 온도에 따른 비저항 측정을 통해 W-C-N 확산방지막의 특성을 분석하였다.

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기계재료로 쓰이는 내열강재의 현황

  • 신민교
    • Journal of the KSME
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    • v.26 no.4
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    • pp.284-289
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    • 1986
  • 이들 기기, 장치는 대부분 철강재가 그 근간을 이루고 있지만, 특히 고온부를 형성하는 부재는 내열용 철강과 합금이다. 강을 모재로 하고 고온에서의 강도유지를 위하여 유용한 소랴의 Cr, Mo 등을 합금시킨 저합금내열강이 1차적으로 사용되어 왔으나 사용조건이 고도화 되면서 이들 합금성분 량이 늘어나 주로 Cr 성분을 증가시킨 고 Cr 페라이트계, 그리고 Ni 성분을 다량으로 첨가한 오스테나이트계 내열강이 제 2차, 제 3차대상이 되어 연구 발전되어 왔다. 그 사용한계는 사용 가스등 환경의 영향과 고온의 크리이프나 피로, 파괴에 대한 저항성등에 크게 좌우되지만, 대개 2.25Cr-1Mo 강의 저합금강에서 $550^{\circ}C$, 9~12% Cr인 페라이트계 내열강에서 $^650{\circ}C$ 까지가 한도이며 그 이상온도에서는 오스테나이트계 내열강이 고려의 대상이 되고 있는 것 같다. 이들 고온부에 사용되는 철강 재료를 중심으로 최근의 동향을 주로 금속학적 입장에서 살펴보기로 한다.

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$Ni-Al_2O_3$ 복합체의 나노분말 응집체 제어를 통한 밀도 향상에 대한 연구

  • Jo, Dong-Guk;Yang, Seung-Gyu;Yun, Jun-Cheol;Lee, Jae-Seong;Lee, Seon-Yeong
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2009.11a
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    • pp.45.2-45.2
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    • 2009
  • 무가압 소결과 분말 야금법을 통하여 금속-세라믹 복합체를 제작하였다. 사용된 각각의 분말은 니켈과 알루미나가 사용되었으며 60wt% Ni을 제조하였다. 60wt% Ni은 본 연구의 선행 연구에서 가장 밀도가 적고 최적 분산이 이뤄지지 않는 혼합 비율로써 이러한 결과는 복합체를 접합의 중간층으로 사용 시 크랙이 발생하는 등 물리적 특성 저하로 연결되고 있다. 선행 연구에서는 본 조성의 이러한 원인을 마이크로 크기의 분말 사용으로 인해 분산과 밀도 측면에서의 최적화가 이루어지지 않았기 때문으로 분석하였다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 나노 분말을 사용하였으며 나노분말의 크기는 소결 구동력을 극대화시키고 분산을 더욱 촉진시켜 이를 가능하게 할 수 있다. 하지만 나노분말의 특성 중 하나인 Agglomeration의 존재는 이러한 나노 분말의 장점을 상쇄시켜 원하는결론에 도달하는 것을 방해한다. 따라서 본 연구에서는 나노 분말의 Agglomeration을 효율적으로 제어함으로써 제작된 샘플의 최적 분산과 밀도를 향상시키고 그 결과를 SEM, TEM 등을 통하여 확인하였다.

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Morphology of Si Etching Structure Using KOH Solution with IPA and Ethanol (KOH를 이용한 Si 식각에서 IPA와 Ethanol을 사용한 경우의 표면 비교)

  • Lee, Gwi-Deok;Roh, Yong-Han
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2006.11a
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    • pp.123-124
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    • 2006
  • 본 연구에서는 KOH 용액을 사용한 Si 습식 이방성 식각실험 진행 후, 나타나는 표면의 거친 현상을 완화하는 데에 중점을 두고 연구를 진행하였다. 이를 위해 $SiO_2$ 웨이퍼 위에 Photo-lithography 공정으로 형성시킨 PMER 패턴을 Mask로 사용하여 HF 용액으로 $SiO_2$를 식각시켰으며, 형성된 $SiO_2$를 Mask로 사용하여 KOH 용액으로 Si을 식각시켰다. 이 때, KOH와 혼합하는 용액으로 IPA와 Ethan이을 각각 사용하여 실험을 진행하였으며, ESEM을 이용하여 표면을 비교하였다.

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티타늄 핸드피스헤드 주조품의 결함제어 및 응고해석 연구

  • Hyeon, Yong-Taek;Seo, Seong-Mun
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2011.05a
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    • pp.55.1-55.1
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    • 2011
  • 의료용 고속 에어터빈 핸드피스는 주로 치과에서 치아 절삭 및 치료에 사용하는 도구로써 치의학 분야에서 가장 폭넓게 사용되는 의료장비 중 하나이다. 핸드피스용 소재는 황동 혹은 스테인레스 강이 주로 사용되었으나, 최근 고내식성, 인체친화성이 높은 티타늄을 사용한 가벼운 재질의 핸드피스 제품들이 개발되어 독일 및 일본을 중심으로 출시되고 있다. 티타늄으로 제조되는 부분은 헤드와 바디로써, 본 연구에서는 에어터빈의 케이스에 해당하는 헤드부 제조에 있어서 정밀주조 공정 적용의 타당성을 조사하였다. 티타늄은 특히 용융점이 높고 유동성이 좋지 않을 뿐만 아니라 주형과의 반응성이 높기 때문에 주조 시 제품 내/외 부에 결함발생 빈도가 높다. 이와 같은 주조결함 제어를 위하여 상용 유한요소 프로그램인 ProCASTTM을 사용하여 핸드피스 헤드 제조 시 유동 및 응고해석을 수행하였다. 또한 헤드 부 형상에 따른 주조성을 조사하여 이를 바탕으로 최적 주조방안 도출을 위한 정밀주조 공정해석 연구를 수행하였다.

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중성자흡수체를 이용한 사용후핵연료 저장대 설계에 관한 기술현황

  • 장상균;신태명
    • Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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    • 1995.05a
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    • pp.853-859
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    • 1995
  • 원자력발전소내 사용후핵연료 습식저장 방식 중에서 중성자흡수체를 사용하여 핵연료를 보관하는 중성자흡수체 저장대에 대한 국내외 기술현황을 조사하였다. 핵연료저장대에 중성자흡수체를 사용하는 목적은 핵연료로부터 방출되는 중성자를 횹수하여 임계요건을 만족하면서 단위 핵연료 저장공간을 줄이기 위함이다. 본 논문에서는 국내 핵연료저장대 설치현황을 파악하고, 국내외 중성자흡수체 재료로 사용되는 Borated Stainless Steel, Boral 및 Boraflex의 재료특성 등을 조사하였다. 또한 국내외 특허 출원된 중성자흡수체 저장대에 관한 자료를 검토하였다. 현재 국내에 외국회사의 완성품 인도방식으로 설치되었던 중성자홉수체 저장대에 대한 조사결과는 차세대 원자로 핵연료저장대의 중성자흡수체 선정 및 구조설계에 참고자료로 활용될 것이다.

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손가락 운동계열형태와 타자재료의 길이에 따른 운동효율성 연구 - 숫자타자 운동을 중심으로 -

  • Lee, Man-Yeong;Kim, Seon-Ju;Choe, In-Hyeon
    • Annual Conference on Human and Language Technology
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    • 1991.10a
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    • pp.118-132
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    • 1991
  • 본 연구에서는 타자행동의 시간적 구조에 미치는 손가락 운동패턴과 타자해야 할 재료의 길이의 영향을 살펴 보았다. 먼저 손가락 운동패턴 결과는, 한 손가락을 반복해서 연속적으로 사용하는 경우가 손가락을 번갈아서 사용하도록 하는 경우보다 타자가 더 효율적이었다. 그러나 동일한 손가락을 사용하지만 위치가 다른 숫자를 연속적으로 타자하게 되는 경우는 손가락의 부담으로 인해 오히려 타자시간이 길게 걸렸다. 손가락을 번갈아 사용하는 경우에도, 집게손가락에서 시작하여 순행방향으로 타자가 이루어지는 경우는 한 손가락을 반복해서 사용하는 것만큼 타자가 용이했다. 아울러 가능한 숫자조합의 갯수에 비례하여 숫자조합의 평균타자시간이 증가함이 관찰되었다. 다음으로 타자할 숫자배열의 길이와 관련해서, 첫번째 타자가 이루어지기까지의 반응지연시간은 숫자의 자리수에 무관하게 약 400msec 정도로 관찰되었다. 첫타자시간 이후의 타자시간은 타자할 숫자가 3, 4, 5자리수인 경우는 고른 타자시간을 보인 반면, 6자리수인 경우는 4번째 숫자에서 급격한 타자 시간의 지연이 관찰되었다. 이 결과가 군집화의 개념과 관련해서 논의되었다. 마지막으로 타자할 자료를 한줄 혹은 두줄씩 제시하는 것은 타자시간에 별 영향을 주지 못했다.

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DC용 절연지 및 절연 컴파운드의 특성

  • Park, Se-Eun;Yeon, Bok-Hui;Lee, Sang-Jin;Sim, Seong-Ik
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2005.07a
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    • pp.217-218
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    • 2005
  • 절연지는 콘덴서 뿐만 아니라 변압기 및 부싱, 전력 및 전화케이블의 절연을 위해 전기분야에서 폭넓게 사용되고 있다. 각 응용 분야에 따라서는 전기적, 기계적 특성이 달리 요구되므로 절연지의 준비단계나 펄프의 처리단계에서 서로 다른 방법으로 만들어진다. 본 내용은 절연지의 절연파괴 강도와 유전체 손실에 영향을 미치는 것들에 대한 발전된 기술을 소개하기 위한 것이다. 절연지의 전기적 특성을 고찰한다는 것은 절연지가 거의 항상 절연유와 함침된 상태로 사용되기 때문에 매우 어렵다. 왜냐하면 함침에 사용된 절연유의 증류에 따라 조합된 절연유와 절연지의 전기적 특성에 대단히 중요한 영향을 미치기 때문이다. 본 내용에 소개된 결과들은 전기 절연과 관련된 절연지의 주요 물리적 특성을 관찰하기 위하여, OF 케이블에 사용된 한가지 특수한 저점도유를 사용해서 얻은 것이다. 또 본 내용은 절연지의 주요 열적, 기계적 특성과 절연유의 주요 특성이 기술되어 있다.

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알루미늄 다이캐스팅주조에서 용탕 청정도 평가방법

  • J. Wannasin;D. Schwamb;J.F. Wallace
    • Journal of Korea Foundry Society
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    • v.43 no.6
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    • pp.325-329
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    • 2023
  • 높은 주조 품질을 요구받고 있는 대부분의 다이캐스팅업체들은 양산공정을 통해 사용되고있는 용탕의 청정도를 평가하고 모니터링을 해야만 한다. 여러 가지 평가방법들을 사용할 수 있지만 현장에서는 일부 측정방법만이 다이캐스팅에 적용되고 있으며 목적에 맞게 적절하게 사용하여야 한다. 세 가지 가능한 평가 방법인 K-Mold, 기계적물성 평가 및 PoDFA(다공성 디스크 여과 장치) 를 대상으로 소개하고자 한다. 우선, 각 방법들은 서로 사용 목적 목적에 따라 선택될 수 있으며 K-Mold는 현장에서 빠르고 간단하게 적용할 수 있는 방법으로 일정한 규격화된 시편의 파면을 만들고 파단면 관찰을 통해 일정한 크기 이상의 산화물 갯수를 확인하여 용탕의 품질을 관리하는 편리한 평가방법 중 하나다. 기계적 물성 테스트는 용탕 청결도에 대한 정성적, 정량적 정보를 모두 확인할 수 있으며 샘플링 테스트에 적합한 시험법이라 할 수 있다. 또한, PoDFA는 용탕내에 개재물의 종류별 정밀분석과 양에 대한 상대적 비교 분석으로써 현장의 많은 경험을 통하여 데이터 축적하고 분석하는 방법으로 사용방법에 대한 전문교육이 필요하다.

터빈디스크합금 Waspaloy의 점소성변형거동 해석

  • 박노광;염종택;김인수
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • 2000.04a
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    • pp.35-35
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    • 2000
  • 터빈의 핵심구동부품은 손상이 누적되어 파괴에 이를 경우 치명적인 결과를 야기할 수 있기 때문에, 부품사용조건에서의 소성변형과 이에 따른 손상 누적을 정확히 예측하고 평가함으로써 균열생성 시점을 정확히 파악하여야 할 필요가 있다. 현재 터빈디스크와 같이 고온 고응력에서 사용되고 있는 소재부품의 수명은 궁극적으로 크리프변형과 피로시험의 공동작용으로 결정되며, 재료특성모델링 시험에 있어서도 dwell time 피로시험을 통해 dwell time 효과를 점검하고 점소성 재료변형에 근거하여 피로에 의한 변형 현상을 설명할 수 있다.

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