• 제목/요약/키워드: 작동 공정

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Failure analysis of a turbo molecular pump in semiconductor equipments (반도체 장비에서 터보 분자 펌프의 파손 사례 연구)

  • Jeong, Jin-Yong;Ju, Jeong-Hun;O, Sam-Gyun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2018.06a
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    • pp.120-120
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    • 2018
  • 반도체 소자나 디스플레이 패널 제조 공정에 가장 많이 사용되는 진공 펌프인 터보 분자 펌프는 오일을 사용하지 않고, 설치 방향이 자유로우며 넓은 작동 압력 영역을 가지고 있어서 고가임에도 불구하고 점점 더 사용 영역을 넓혀 가고 있다. 상하의 두 곳에 회전축을 지지하는 베어링이 필요한데, 기계식 금속 베어링을 채용하는 경우에는 반드시 윤활유를 공급해 주어야 하고, 고온, 부식성 또는 산화성 가스의 배기 시에는 퍼지 가스로 비활성인 질소나 알곤등을 이용하여 보호를 해주어야 한다. 반면, 자기 베어링을 채택한 모델은 윤활의 걱정에서 자유로울 수 있기 때문에 채용이 늘어나고 있다. 동일극의 반발력이나 반대극의 인상력을 이용한 구조를 갖게 되는데 갑작스러운 입구 쪽 압력의 증가 시에는 자석 끼리 부딪치는 일이 발생하고 이로 인해서 로터 모듈 전체에 큰 손상을 갖게 되므로 한 곳 정도에 비상용 터치 다운 베어링을 기계식으로 윤활제 없이 설치하기도 한다. 기본적으로 자기 베어링 방식은 로터 모듈의 부상과 제어를 위해서 3축 또는 5축 제어를 하게 되는데 여기에는 전자석의 전류를 미세하게 조정하여 피드백 하는 시스템을 활용하기 때문에 외부에서의 자기장이 일정값 이상 침투하게 되면 제어 회로의 기능에 문제를 일으키게 된다. 또한 축 방향에 수직인 자기장의 강도가 높아지면 고속으로 회전하는 금속 블레이드가 자속을 자르게 되므로 표면에 와전류가 발생하여 문제가 된다. 터보 분자 펌프는 회전자와 고정자 간격이 1 mm 이내로 작아서 약간의 진동이라도 발생하면 회전자와 고정자 간에 충돌이 일어나고 이는 곧 파손으로 이어진다. 그림 1에는 파손 원인 분석을 위한 회전자 모듈의 수치 해석용 모델의 일부를 나타내었고, 그림 2에는 실제로 외부 자기장에 의한 파손이 발생한 사례의 자기 베어링 모듈의 사진을 나타내었다. 본 발표에서는 외부 자기장의 형태에 따라 제어 자기장에 미치는 영향을 CFD-ACE+(ESI corp)를 활용하여 해석하였다.

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Production of Green Fluorescent Protein (GFP) from Transgenic Rice Cell Suspension Culture (형질전환된 벼세포배양에서 green fluorescent protein (GFP) 생산)

  • Lee, Jae-Hwa
    • Journal of Life Science
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    • v.17 no.2 s.82
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    • pp.293-297
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    • 2007
  • Green fluorescent protein (GFP) is an attractive reporter for bioprocess monitoring. A fluorescence-based method was developed to quantify GFP levels in transgenic plants and protein extracts. In this study, GFP was produced and secreted from suspension cells derived from transgenic rice. The RAmy3E promoter placed before the GFP gene controlled by sugars such as sucrose. The effects of sucrose concentration on the secretion of GFP and total protein into the medium were investigated in batch suspension culture. It was possible, therefore, to induce the expression of the GFP by removing sucrose from the cultured media or by allowing the rice suspension cells to deplete sucrose catabolically. The dry cell weight (7.06 g/L) and GFP level were detected as highest at 12%, 3% sucrose after 20 day culture, respectively. However secreted GFP fluorescence at the other sucrose concentrations (6%, 12%, 18% and 24%) were a little amount in media.

Increase in Voltage Efficiency of Picoinjection using Microfluidic Picoinjector Combined Faraday Moat with Silver Nanoparticles Electrode (은 나노입자 전극과 패러데이 모트를 이용한 미세유체 피코리터 주입기의 전압효율 상승)

  • Noh, Young Moo;Jin, Si Hyung;Jeong, Seong-Geun;Kim, Nam Young;Rho, Changhyun;Lee, Chang-Soo
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • v.53 no.4
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    • pp.472-477
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    • 2015
  • This study presents modified microfluidic picoinjector combined Faraday moat with silver nanoparticle electrode to increase electrical efficiency and fabrication yield. We perform simple dropping procedure of silver nanoparticles near the picoinjection channel, which solve complicate fabrication process of electrode deposition onto the microfluidic picoinjector. Based on this approach, the microfluidic picoinjector can be reliably operated at 180 V while conventional Faraday moat usually have performed above 260 V. Thus, we can reduce the operation voltage and increase safety. Furthermore, the microfluidic picoinjector is able to precisely control injection volume from 7.5 pL to 27.5 pL. We believe that the microfluidic picoinjector will be useful platform for microchemical reaction, biological assay, drug screening, cell culture device, and toxicology.

Moisture Gettering by Porous Alumina Films on Textured Silicon Wafer (실리콘 표면에 증착된 다공성 알루미나의 수분 흡착 거동)

  • Lim, Hyo Ryoung;Eom, Nu Si A;Cho, Jeong-Ho;Choa, Yong-Ho
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • v.53 no.3
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    • pp.401-406
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    • 2015
  • Getter is a class of materials used in absorbing gases such as hydrogen and moisture in microelectronics or semiconductor devices to operate properly. In this study, we developed a new device structure consisting of porous anodized alumina films on textured silicon wafer, which have cost efficiency in materials and processing aspects. Anodic aluminum oxide (AAO) with controlled pore sizes can be applied to a high-efficiency moisture absorber due to the high surface area and OH- saturated surface property. The moisture sorption capacity was 2.02% (RH=35%), obtained by analyzing isothermal adsorption/desorption curve.

A CMOS RF Power Detector Using an AGC Loop (자동 이득제어 루프를 이용한 CMOS RF 전력 검출기)

  • Lee, Dongyeol;Kim, Jongsun
    • Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers
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    • v.51 no.11
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    • pp.101-106
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    • 2014
  • This paper presents a wide dynamic range radio-frequency (RF) root-mean-square (RMS) power detector using an automatic gain control (AGC) loop. The AGC loop consists of a variable gain amplifier (VGA), RMS conversion block and gain control block. The VGA exploits dB-linear gain characteristic of the cascade VGA. The proposed circuit utilizes full-wave squaring and generates a DC voltage proportional to the RMS of an input RF signal. The proposed RMS power detector operates from 500MHz to 5GHz. The detecting input signal range is from 0 dBm to -70 dBm or more with a conversion gain of -4.53 mV/dBm. The proposed RMS power detector is designed in a 65-nm 1.2-V CMOS process, and dissipates a power of 5 mW. The total active area is $0.0097mm^2$.

A Low Complex and Low Power Baseband IR-UWB Transceiver for Wireless Sensor Network (무선 센서 네트워크 응용을 위한 초광대역 임펄스 통신용 저복잡도, 저전력 베이스밴드 트랜시버)

  • Lee, Soon-Woo;Park, Young-Jin;Kang, Ji-Myung;Kim, Young-Hwa;Kim, Kwan-Ho
    • Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea TC
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    • v.45 no.7
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    • pp.38-44
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    • 2008
  • In this paper, we introduce an low complexity and low power IR-UWB (impulse radio ultra wideband) baseband transceiver for wireless sensor network. The proposed baseband, implemented by TSMC 0.18um CMOS technology, has a simple structure in which a simplified packet structure and a digital synchronizer with 1-bit sampler to detect incoming pulses are used. Besides, clock gating method using gated clock cell as well as customized clock domain division can reduce the total power consumption drastically. As a result, the proposed baseband has about 23K digital gates with an internal memory of 2Kbytes and achieves about 1.8mW@1Mbps power consumption.

Design of Variable Gain Receiver Front-end with Wide Gain Variable Range and Low Power Consumption for 5.25 GHz (5.25 GHz에서 넓은 이득 제어 범위를 갖는 저전력 가변 이득 프론트-엔드 설계)

  • Ahn, Young-Bin;Jeong, Ji-Chai
    • Journal of IKEEE
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    • v.14 no.4
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    • pp.257-262
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    • 2010
  • We design a CMOS front-end with wide variable gain and low power consumption for 5.25 GHz band. To obtain wide variable gain range, a p-type metal-oxide-semiconductor field-effect transistor (PMOS FET) in the low noise amplifier (LNA) section is connected in parallel. For a mixer, single balanced and folded structure is employed for low power consumption. Using this structure, the bias currents of the transconductance and switching stages in the mixer can be separated without using current bleeding path. The proposed front-end has a maximum gain of 33.2 dB with a variable gain range of 17 dB. The noise figure and third-order input intercept point (IIP3) are 4.8 dB and -8.5 dBm, respectively. For this operation, the proposed front-end consumes 7.1 mW at high gain mode, and 2.6 mW at low gain mode. The simulation results are performed using Cadence RF spectre with the Taiwan Semiconductor Manufacturing Company (TSMC) $0.18\;{\mu}m$ CMOS technology.)

Study on Anti-oxidization Coating for Staged Combustion Cycle Rocket Engine (다단연소 사이클 엔진 적용을 위한 내산화 코팅에 관한 연구)

  • Kim, Young-June;Byon, Eung-Sun;Rhee, Byong-ho;Han, Yeoung-Min;Noh, Yong-Oh;Bae, Byung-Hyun;Hyun, Seong-Yoon;Cho, Hwang-Rae;Bang, Jeong-Suk
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • 2017.05a
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    • pp.864-870
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    • 2017
  • The propellants are burned in the pre-burner of the staged combustion cycle engine, and the resulting hot gas drives the turbine, and the turbine operates the turbo pump. The burned gas passing through the turbo pump is supplied to the combustor at high temperature and high pressure, where the gas is supplied in an excess of fuel or an excess of oxidant depending on the amount of fuel or oxidant. When the cycle works at oxidizer-rich staged combustion, its metal pipe can ignite or explode by the impact of even small particles. In this study, we develop the powder combinations for anti-oxidation coating through the analysis of other coating materials and establish the coating process.

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The sintered density and piezoelectric properties of (K,Na)$NbO_3$ piezoelectric ceramics with green density (성형방법과 압력에 따른 (K,Na)$NbO_3$ 압전 세라믹스의 소결 및 압전 특성)

  • Noh, Jong-Ho;Lee, Yong-Hyun;Choi, Byung-Ryul;Chun, Myung-Pyo;Cho, Jeong-Ho;Kim, Byung-Ik;Shin, Dong-Wook;Choi, Duck-Kyun
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2007.11a
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    • pp.258-258
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    • 2007
  • KNN계 세라믹스는 $400^{\circ}C$ 이상의 높은 큐리온도와 압전특성을 가져 Pb대체용 소재로 각광을 받고 있고 많은 연구들이 진행중이다. 하지만 potassium의 수분과의 반응성이 강하고 녹는점이 낮아 소결시 K2O의 휘발로 인해 화학양론적인 정확도를 맞추기가 어려운 단점을 가지고 있다. 이러한 단점을 보완하기 위하여 Hot pressing, Hot forging, SPS등 여러 가지 방법을 이용한 연구가 보고되었다. 본 연구에서는 낮은 소결밀도를 향상시키기 위하여 성형압과 성형방법을 달리하여 성형밀도에 따른 소결 밀도와 압전 특성 변화에 대하여 관찰하였다. 넓은 범위의 성형밀도를 얻기 위하여 낮은 성형압을 가할 수 있는 기계적으로 작동하는 press와 높은 성형밀도를 가할 수 있는 유압식 press를 사용하였고, 양산성을 고려하여 일반적인 세라믹 제조공정을 이용하였다.

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A Study of Noise-control Implementation and Cost-effectiveness in a Workplace (사업장에서의 소음개선 적용 효과와 비용편익 분석에 대한 연구)

  • Park, Mijin;Yoon, Chungsik;Paek, Domyung;Hwang, Gyuseok
    • Journal of Korean Society of Occupational and Environmental Hygiene
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    • v.22 no.2
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    • pp.149-155
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    • 2012
  • Objectives: 이 논문의 목적은 한 사업장에서 수십 년 동안 진행된 소음감소계획이 실제적이고, 경제적인 것을 증명하고 이를 바탕으로 소음의 공학적 개선방법과 효과적인 실행을 위한 실제 작동 가능한 모델을 제시하는 것이다. Methods: 1967년도에 설립된 다국적 전자회사에서 1987년부터 2002년까지 실행된 각종 소음 감소 노력, 요소, 프로그램을 분석하고 이 기간 동안 소음감소가 어떻게 실제로 일어났는지 분석하였다. 특히 회사가 다른 여러 가지 노력을 한 후에도 실질적 효과를 기대하기 어려워 공학적 개선과 같이 도입한 Action Learning Team (ALT) 활동에 초점을 두고 개선 효과를 파악하였다. Results: 실제 소음의 감소노력은 산업안전보건법의 변화에 따라 여러 가지 형태로 실행되었다. 주된 효과는 ALT활동이 있고 나서 이루어졌는데 평균 소음 노출수준이 86.9 dBA에서 79.8 dBA로 현저히 감소하였으며 소음 지역 (85dBA 이상 )도 10개 지역에서 3개 지역으로 70% 감소하였다. ALT 활동의 결과로 나타난 7개 지역의 소음 감소를 위해 투입된 총 비용이 6,767 달러였다. ALT 활동을 처음 시작한 첫해에 소음 감소지역을 줄임으로써 이 지역의 근로자가 청력검사를 받지 않아서 초기 396명의 근로자가 청력검사를 받던 것을 활동 후 130명만 받아 266명의 근로자가 청력검사를 받지 않아도 되어 청력검사 비용이 6,650 달러 절약되었다. 따라서 장기간으로 보면 매우 비용효과적인 방법으로 증명되었다. Conclusions: 실제 소음감소가 현저히 일어나고, 비용효과적인 소음 감소가 일어나려면 기기 설비 공정담당자가 소음감소의 중요성을 잘 알고, 그 기법을 숙지하고 있어야 하며, 실제 활동을 할 수 있도록 관리자 층의 권한을 위임 받아 활동할 수 있어야 한다. 이 논문에서는 공학적 개선 태스크포스팀을 운영하여 ALT활동을 하였을 때 실제적이고, 비용효과적인 소음 감소를 증명하였다.