• 제목/요약/키워드: 자성 재료

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Assessment of exchange bias by Ar ion beam FeMn inter-layer surface etching in Py/FeMn/Py multilayer (NiFe/FeMn/NiFe 다층박막에서 사이층 FeMn의 Ar 이온빔 surface etching에 의한 교환바이어스 평가)

  • 윤상민;임재준;이영우;김철기;김종오
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2003.03a
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    • pp.233-233
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    • 2003

  • 교환바이어스(exchange bias)현상은 강자성과 반강자성의 접합계면에서 강한 상호 교환결합력에 의해 발생하는 것으로 알려져 있다. 이 현상은 1956년 Meiklejohn과 Bean에 의해 CoO 층으로 둘러싸인 Co 입자에서 발견된 이후, 강자성과 반강자성의 접합계면을 가지는 다층 박막에서의 교환바이어스에 대한 연구가 진행되어왔다. 이는 강자성/반강자성 박막의 교환바이어스 특성을 이용하여, 강자성 박막의 스핀방향을 고정시킬 수 있기 때문이다. 이러한 교환바이어스 특성은 하드드라이브의 고밀도 자기헤드소자 및 비휘발성 자기메모리소자에 응용되어지는 등 경제적 가치를 갖는 기술적인 면과 교환바이어스라는 자기특성의 학문적인 가치로 인해 이 분야에 대한 집중적인 투자와 연구가 이루어지고 있다 최근에는 교환바이 어스 현상의 원인과 형성기구에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 그러나 강자성과 반강자성 박막의 단거리 상호 교환결합력에 의한 교환바이어스 현상은, 계면의 원자구조, 자기구조 및 각자성층의 여러 가지 인자들에 대해서 지속적으로 연구되고 있다. 본 연구에서는 Helmhertz 코일의 진동샘플형 자력계(VSM)을 이용하여 Si 기판위에 증착된 NiFe(10nm)/FeMn(t)/NiFe(10nm) 다층박막에서 FeMn층의 두께에 대한 각각의 교환바이어스 현상을 조사하고 사잇층 FeMn층의 surface를 Ar ion beam etching하여 etching 조건에 따른 교환바이어스를 비교분석 하고자 한다.

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Velocity Change of Magneto Surface Acoustic Wave (MSAW) in $({Fe_{1-x}}{Co_x})_{89}{Zr_{11}}$ Amorphous Films (I) ($({Fe_{1-x}}{Co_x})_{89}{Zr_{11}}$비정질 자성 막에서의 자기표면탄성파 속도변화 (I))

  • Kim, Sang-Won
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.11 no.6
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    • pp.477-482
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    • 2001

  • The velocity changes of magneto surface acoustic wave (MSAW) have been investigated in the MSAW devices composed of wedge type transducer and as-sputtered ($Fe_{1-x}$ $Co_{x}$ )$_{89}$ $Zr_{ 11}$ (x=0~1.0)amorphous films on glass substrates. The velocity changes of devices depended sensistively on exciting frequency of MSAW, applying the DC bias magnetic field. film thickness and film composition. Particularly. it was conformed that velocity changes increased with the increase of the exciting frequency of MSAW and the thickness of magnetic films. A device deposited x= 0.8 film along the MSAW propagation direction among the devices exhibited a large velocity change of 0.062% at 8.7 MHz for the applied field of 70 Oe.

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Magnetic Properties of FeZrN/$SiO_2$ Soft Magnetic Multilayer Thin Films (FeZrN/$SiO_2$ 연자성 다층 박막의 자기적 성질)

  • Kim, Taek-Su;Kim, Jong-O
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.6 no.11
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    • pp.1061-1066
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    • 1996

  • RF magnetron reactive sputtering법으로 Fe75.5Zr8.3N16.2/SiO2(250$\AA$) 다층 박막을 FeZrN의 두께를 변화시키면서 제조하고, 제조된 박막을 진공 열처리하여 열처리 온도에 따른 포화자화, 보자력, 고주파에서의 투자율 그리고 열적 안정성을 조사하였다. Fe75.5Zr8.3N16.2/SiO2(250$\AA$) 다층박막은 FeZrN의 두께가 800$\AA$이상일 때 좋은 연자성을 나타내었다. Fe75.5Zr8.3N16.2/SiO2(250$\AA$)다층 박막을 45$0^{\circ}C$로 열처리 했을 때 포화자속밀도(1.08 T), 보자력 0.41 Oe, 1 MHz에서의 실효 투자율은 3000이상의 연자성을 나타내었다. 그 이유는 X-선 회절 분석 결과 열처리에 의해서 ZrN 미결정이 석출하여 $\alpha$-Fe 결정 성장이 억제되어 우수한 연자기적 성질이 나타난다고 판단된다. 이때 $\alpha$-Fe 입자 크기는 40-50$\AA$, ZrN의 입자 크기는 10-15$\AA$이다. 그리고 실효 투자율의 주파수 의존성에서 단층막에서는 5 MHz 이상에서 실효 투자율이 급격히 감소하는 경향을 보였으나, 다층막에서는 40MHz까지 실효 투자율이 1600이 되어 고주파에서의 연자성이 개선되었다.

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