• Electrical & Electronic Materials
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• v.8 no.4
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• pp.464-471
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• 1995

메그네트론 스퍼터링으로 제작한 고밀도 다층박막($Co_75{{Pt_12}{Cr_13}}$합금) 디스크를 투과전자현미경을 이용해 단면 및 평면의 미세조직의 조사 혹은 미소부위 성분분석을 할 경우, 선행되어야하는 시편준비 경로와 각 단계별 구체적방법 및 그 효과를 연구하였다. Ion밀링시간이 증가함에 따라 시료가 얇게 되는과정에서 스퍼터링된 물질이 관찰될 시편부위의 다른 표면에 증착되므로써 미세조직의 선명도를 해칠 수 있고, 이로인한 해석상의 오류가능성이 시사되었다. 또한, 자기박막 디스크와 같이 다층으로 구성된 단면분석용 시료에서는 서로 맞붙인 실리콘 단결정 접착면을 따라 밀링속도가 선택적으로 커서 우선축이 생김으로써 양질의 시편을 얻기 어려운 문제점이 제기되었다. 이같은 문제를 포함한 전자현미경 시료준비과정에서 생길 수 있는 문제를 해결할 수 있는 실마리와 이를 이용해 수행한 전자현미경 분석결과 및 효과적인 시편준비방법이 본 논문에서 언급되었다.

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.2 no.1
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• pp.56-60
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• 1992

광자기 디스크의 자기 및 기록특성에 SiN 하지층이 미치는 영향에 대해서 연구하였다. PC기관에 4층구조막의 디스크를 DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 성막하였으며 스퍼터링 압력이 증가함에 따라 SiN 박막의 표면이 거칠어 지고 주상형성장이 현저하게 나타났다. SiN 하지층의 비세조직의 변화는 자기기록막의 보자력, 수직이방성 등에는 영향을 미치지 않았지만 지구의 형 성과정은 SiN 하지층의 조직에 따라 민감하게 변화하였다. SiN 하지층이 Porous 할수록 광자기 디스크의 기록이 이루어 지는 임계파우워 값이 작고, 또한 자구의 형성이 이루어 지는 임계외자 계의 크기도 넓은 범위에서 나타났다. 광자기 디스크의 기록특성을 증대시키기 위해서는 자기기 록막의 성능과는 관계없이 치밀하고 표면이 평할한 SiN 하지층을 증착하는 것이 필수적임을 관 찰하였다.

• Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference
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• 1993.11a
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• pp.98-99
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• 1993

• Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference
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• 1999.04a
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• pp.128-129
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• 1999

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.2 no.2
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• pp.169-177
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• 1992

자기광효과가 큰 수직자기 이방성을 가진 자성박막에 레이저광으로 정보를 기록하고 판독하는 광자기 기록기술(Magneto-optical recording technology)은 1950년대 후반부터 연구가 되기 시작하여, 현재는 5.25" 디스크 에 400~600 Mbytes의 저장 능력, access time이 30~200 nm, data transfer rate이 1.2~8 Mbits/s 수준의 제품이 상품 화되고 있다. 광자기 기록은 자기기록방식의 무제한 반복기록의 장점과 광기록방식의 비접촉 기록, 고집적 능력, 디스크 제거기 능의 제 장점이 병합된 기술로서 향후 정보저장의 새로운 기술로서 그 자리를 굳혀갈 것으로 예상된다. 본 해설에서는 광자기 기록매체를 중심으로 하여 광자기 기록기술의 기록 및 판독원리, 광자기 기록재질, 광자기 디스크 SNR, direct overwriting의 제방법, 차세대를 향한 고밀도화의 시도에 대해 각각 서술한 후 결론을 맺고저 한다.

• Proceedings of the Korean Society of Tribologists and Lubrication Engineers Conference
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• 1998.04a
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• pp.263-270
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• 1998

상용화된 박막 코팅 자기 저장 디스크의 기계역학 및 윤활적 물성치를 도출하기 위하여 Nano-Indentation 과 Nano-Scratch 실험이 수행되었다. 자기 디스크는 원주방향으로 일정한의 분석을 위하여 AFM(Atomic Force Microscopy)이 사용되었다. 텍스처 방향에 따른 표면조도의 변화는 가우스 확률 분포(Gaussian probability distribution)와 Weibull누적 확률 이론(Weibull cumulative probability theory)에 의하여 분석되었다. 표면 조도와 마찰계수는 텍스처의 스캐닝(scanning) 방향에 의존한다는 것이 확인 되었다.

• Applied Microscopy
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• v.29 no.4
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• pp.493-498
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• 1999

With increasing demand for fast and reliable, yet economical data storage devices, the role of optical disk technology is becoming more important. In recent years, advanced laser technology combined with new materials has given the competitive edge over the traditional magnetic memory devices both in memory capacity and reliability of data retrieval. Continuing effort is being put into developing smaller and more complex structures for optical disks to increase their memory density. Characterization of such multilayered structure requires not only high spatial resolution for observation but also laborious specimen preparation. In this paper, the method of preparing optical disk specimens for TEM characterization is described in detail. The microstructural features in optical disks observed by TEM are also discussed.

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.4 no.3
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• pp.249-255
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• 1994

Magneto-optical disks with dielectric layers for optical tunning are useful for maximizing the SNR. We have developed a computer program based on characteristic matrix to investigate the best combination of the film thicknesses. We have optimized the thicknesses of the multilayers which were composed of TbFeCo, dielectric, and AI layers at the wavelengh of 830nm. The criterion for the optimization of the film thickness was to maximize the figure of merit with maintaining the low ellipticity and rmre than 10% reflectivity.

• Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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• v.19 no.9
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• pp.883-887
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• 2006

In order to attain high-rate deposition of Mn-Zn ferrite thin film for soft magnetic underlayer in perpendicular magnetic recording media, a reactive sputtering using powder-metal targets under the mixture gas of Ar and $O_{2}$ was performed. It was succeeded that Mn-Zn ferrite films with (111) crystal orientation were deposited on Pt(111) underlayer without any annealing process. The film revealed 3.4 kG of 4 ${\pi}Ms$, 70 Oe of coercivity. The deposition rate of the new method was 16 times as high as that of the conventional method using ferrite target.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2018.06a
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• pp.87-87
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• 2018

다이아몬드 상 탄소(diamond-like carbon, DLC)는 상당량의 $sp^3$ 결합을 가지는 비정질 탄소(a-C) 또는 수소화 비정질 탄소(a-C:H)로 이루어진 준안정 형태의 탄소이다. DLC는 전기 저항과 굴절률이 높고 화학적으로 다른 물질과 반응하지 않으며, 마찰계수가 낮고 경도가 높아 자기 디스크, 광학 소자 등의 다양한 분야에서 적용되고 있다[1,2]. 또한 다이아몬드에 비해 상온에서 성장이 가능할 정도로 합성온도가 낮아 적용 기판의 제한이 거의 없고, 증착 방법과 조건에 따라 탄소 결합의 다양성과 비정질성이 변화하기 때문에 넓은 범위의 특성을 얻을 수 있는 장점이 있다. 지금까지 DLC 박막의 광학적 특성, 특히 굴절률, 광학적인 에너지 밴드 갭, 자외선과 적외선 투과성에 대해서는 많은 연구가 진행되었으나 가시광선의 투과성에 대한 연구는 제한적이며[4], 가시광선 투과도 개선에 대한 연구는 전무하다. 본 연구에서는 ITO 기판 위에 DLC를 합성하고 기계적 특성과 가시광선 영역 투과도를 조사하였다. RF-PECVD(radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition) 방법에 의해서 $C_2H_2+Ar$ 혼합 가스 비율과 $C_2H_2+N_2$ 혼합 가스 비율을 변화시켜 ITO 기판 위에 DLC 박막을 합성하였다. 공정 압력과 rf-power, 증착시간, 기판온도는 0.2 torr, 40 W, 5 분, $50^{\circ}C$로 고정하고, 공정 가스는 $C_2H_2+Ar$과 $C_2H_2+N_2$가 200 sccm이 되도록 비율을 변화하였다. $C_2H_2:Ar$과 $C_2H_2:N_2$의 비율은 180 : 20, 160 : 40, 140 : 60, 120 : 80, 100 : 100이 되도록 가스의 유량을 조절하였다. 투과도는 가시광선(380 ~ 780 nm) 범위에서 측정하였고 두께와 표면조도는 AFM으로 측정하였다. 투과도는 $C_2H_2+Ar$의 Ar 가스 비율이 증가할수록 증가해 140 : 60일 때 최댓값을 나타낸 후 다시 감소하였다. $C_2H_2+N_2$ 투과도는 $N_2$ 가스 비율이 증가할수록 감소하는 경향을 나타내었다. 표면 거칠기는 $C_2H_2+Ar$ 혼합 가스를 사용한 경우의 Ar의 가스 비율이 증가할수록 증가하였다. 그러나 $C_2H_2+N_2$ 혼합 가스를 사용한 경우에는 $N_2$ 가스의 혼합 비율이 증가할수록 감소하였다.