• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2017.05a
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• pp.71-71
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• 2017

플라즈마를 이용하는 건식 식각 또는 박막 증착 장비(PECVD)의 경우 웨이퍼에 rf bias를 인가하여 이온의 에너지와 입사각을 조절한다. 종래에는 웨이퍼의 가장 자리 3 mm영역을 공정 대상에서 제외하는 exclusion area로 지정하였으나 점차 공정 기술의 발달로 2 mm 이내로 감소하고 있다. 따라서 웨이퍼의 가장 자리에서 발생하는 전기장의 방향 및 크기 변화를 조절할 수 있는 기술의 개발이 필요하게 되었으며 그중 핵심적인 부품이 Si 또는 SiC로 제작되는 edge ring이다. Focus ring이라고도 불리는 이 부품은 웨이퍼 상에서 반경 방향으로 흐르는 가스의 유속이 가장 자리에 근접하면 빨라지는 현상과 이에 의해 식각/증착 화학 반응 속도가 증가하는 문제를 완화하기 위한 것과 적절한 전기 전도도를 부여함으로써 가장 자리의 전기장 분포를 최적화 할 수 있는 새로운 설계 변수로 활용할 수 있다. 스퍼터링의 경우에도 웨이퍼 중앙과 주변 부는 마그네트론 음극의 회전 링과의 입체각이 차이가 나므로 가장 자리의 경우 트렌치나 홀의 내측이 외측에 비해서 증착막의 두께가 얇아지는 문제가 있으며 건식 식각의 경우 홀의 형상이 수직에서 벗어나는 경향이 발생할 수 있다. 또한 사용 시간에 비례해서 edge ring의 형상이 변화하는데 상대적으로 고가품이어서 교체 주기를 설정하는 보다 합리적 기준이 필요하다. 본 연구에서는 전산 유체 역학 모델을 사용하는 ESI사의 CFD-ACE+를 활용하여 edge ring의 형상과 재질이 갖는 영향을 전산 모사하기 위한 기초 작업을 그림 1과 같이 진행하였다. 2D-CCP model에 Ar 가스를 가정하고 비유 전율 10내외 전도도 $0.1/Ohm{\cdot}m$정도의 재질에 대한 용량성 결합 플라즈마에 대해서 계산을 하고 이 때 기판에 인가되는 고주파 전력에 의한 이온의 입사 에너지 분포 및 각도 분포를 Monte Carlo 방법으로 처리하여 계산하였다.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2000.08a
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• pp.204-205
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• 2000

Ashkin에 의해 처음으로 단일 레이저를 사용하여 미세입자를 포획한 이후로 많은 연구가 활발히 이루어지고 많은 분야에 응용이 되고 있다[1]. 포획이 되는 기본적인 원리는 일정한 파장을 가진 레이저가 물체에 부딪히게 되면 빛의 일부는 표면에서 반사가 되고 일부는 물체를 통과하면서 굴절을 하게 되는데, 이 때 굴절에 의해 발생하게 되는 운동량의 차이가 포획을 가능하게 한다. 이때 발생하는 힘은 빛의 입사되는 방향에 평행한 경우(scattering force)와 수직한 경우(gradient force)로 나눌 수 있으며, 입사되는 각에 따라 두 성분의 크기가 바뀌게 되는데 이를 이용하여 입자를 밀어내고 잡아당기는 효과를 줄 수 있다[2]. (중략)

• Polymer(Korea)
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• v.37 no.5
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• pp.656-662
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• 2013

The flexible patterned cover film was made by a simple solution coating process using polymethyl methacrylate (PMMA) solution with glass beads. The effect of patterned cover film on the efficiency of solar cell has been investigated. It was found that the relative solar cell efficiency increased up to 3.4% with the incident light angle between $0-90^{\circ}$ by the sphere shape of glass bead coated on the film surface. This was understood that the loss of transmittance and scattering due to the light directional dependency on solar cell were minimized because the light entered glass beads normal to its surface regardless of incident light angle. The maximum relative solar cell efficiency was achieved when glass bead shape on the film is hemisphere and the relative efficiency increased with increasing the amount of glass bead on the film surface. However, too much glass beads on the film surface resulted in the lower relative solar cell efficiency due to the lowering of transmittance as well as the occurring of light interference.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.249-249
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• 2010

핵융합로에서는 디버터의 열부하에 대한 안전성을 고려하기 위해 열전도도 및 열 저항성이 높은 텅스텐이 대면 물질로 고려되고 있으며, 경제적인 측면과 실용성 측면에서 텅스텐블록을 직접 제작하여 사용하는 것보다 텅스텐코팅이 효과적이라는 의견이 지배적이다. 또한 ASDEX Upgrade 에서는 탄소블럭에 텅스텐을 코팅하여 챔버 외벽 및 디버터 영역까지 구성하여 캠페인을 진행하였고, 재료적인 측면에서 안정성을 확인 하였다. 따라서 본 연구에서는 디버터 및 챔버외벽 등에 대한 대면물질을 구성하기 위해 상압 열플라즈마 제트를 이용하여 고온에서의 용융 및 냉각을 통해 모재에 텅스텐 피막을 적층하는 과정을 수행하고 있다. 기존의 연구를 통해 일부 공정 변수에 대해서는 이미 적정한 범위의 공정조건을 확보하였고, 기공도와 산화도 및 부착력 등의 물성치에 대한 추가적인 향상을 위해 주요 공정 변수에 집중하여 최적의 조건을 탐색하는 과정이 진행 중이다. 이를 위해 출력증가실험의 일환으로서 기존 36kW급 플라즈마 토치 전력을 한 단계 끌어 올려 48kW급 전력까지 단계적으로 상승시킴으로써 이에 따른 물성치 변화를 검증하고 있다. 현재 44kW 급까지 실험이 수행되었으며, 이를 통해 공극률 감소 및 미세구조 변화에 대한 결과를 얻었다. 실제로 토치의 출력을 증가시킴으로서 텅스텐 피막의 물성치가 변화하는 메커니즘은 플라즈마 제트의 중심부 온도 및 축방향 속도에 의해 결정된다. 중심부 온도가 상승하게 될수록 코팅을 위해 분사되는 분말의 용융률은 증가하지만 분말 외벽에 산화텅스텐이 형성될 가능성은 증가하게 되며, 플라즈마 제트의 모재를 향상 축방향 속도가 증가할수록 용융 된 분말이 모재에 증착 시 형성하는 형태가 원형에 가깝게 되므로 기공이 감소하는 효과가 발생한다. 특히 용융된 분말의 증착 형태는 모재의 온도 및 분말의 입사속도에 결정적이 영향을 받게 되며, 결국 모재와 분말사이의 습윤성에 의한 분말 분산속도가 분말의 입사속도에 버금갈 경우 분말은 모재 위에서 효과적으로 원형으로 전이하며 적층하게 된다. 이러한 전이 현상은 앞에서 언급한 모재의 온도 등에 의해 결정적으로 영향을 받게 되며, 모재의 온도가 전이온도 이하일 경우 폭파형태에서 원형으로 분말의 증착 형태가 전이하게 된다. 이외에 추가적으로 진행하고 있는 연구는 코팅 전처리에 해당하는 분말 효과이며, 특히 탄화텅스텐 분말을 통한 재료적 auto-shroud 효과와 미세분말을 이용한 분말 표면열속의 증가에 따른 용융률 증가효과를 연구에 포함할 계획이다. 이러한 연구는 열적, 그리고 재료적 해석을 바탕으로 해석적 접근을 통해 이루어진다.

• Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers
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• v.51 no.1
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• pp.24-30
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• 2014

A digital RDA(Retrodirective Antenna) system is a retransmit system that received signal without prior information turn back by estimated phase of the signal to received direction. The RDA can decrease consumption of power by increase of directivity because signal concentrates on received direction compare to omni-direction antenna which transmit power all direction. Generally, the RDA is known to show better performance than the single-antenna system in multi-path environment. However, the RDA occurs performance degradation in serious ISI channel. In this paper, to solve this problem, we propose retrodirective antenna combined with turbo equalizer combined which can compensate serious ISI channel, we increase the BER performance through proposed retrodirective antenna combined with turbo equalizer in serious ISI channel.

• Journal of Korean Society of Coastal and Ocean Engineers
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• v.21 no.6
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• pp.462-469
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• 2009

This study suggests a general formula of non-cohesive sediment transport rates for waves and currents which is also valid for wave only or current only condition. On-offshore sediment transport rates with the second order Stokes wave in the shallow water are calculated as the pickup rate times the distance. The formula depicts reasonably that high waves move material offshore, and low waves move material onshore. Also the formula, as is the case the waves with long period tend to move material onshore, shows good results.

• Journal of the Korean Society of Radiology
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• v.12 no.4
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• pp.525-532
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• 2018

This study is filmed by applying the axial angle variation of the X-ray tube instead of the patient's position change during the perimetric examination of the ribs. A Reference image with the rib oblique examination using a chest phantom and experimental images applied with a six-phase variation in the axial angle by increasing $5^{\circ}$ tube angle each from $5^{\circ}{\sim}30^{\circ}$ from the vertical incident direction of the chest phantom to the right horizontal axis were obtained. For the quantitative comparative evaluation of the images, SNR and CNR were calculated for regions of interest in the experimental images based on the reference image. Also, the left-right rib ratio in the reference image and the left-right rib ratio in the experimental images are measured and compared. As a result of the study, the experimental images with a tube angle of $25^{\circ}$ were best shown in the measurements of the SNR, CNR and left-right rib ratio compared to the reference image with a standard examination method. The modified rib examinations will consider useful, if it is difficult to maintain the patient's examination position.

• Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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• v.20 no.2
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• pp.102-109
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• 2000

This paper describes two different theories used to model the scattering of ultrasound by a volumetric flaw and a crack-like flaw. The elastodynamic Kirchhoff approximation (EKA) and the geometrical theory of diffraction (GTD) are applied respectively to a cylindrical cavity and a semi-infinite crack. These methods are known as high frequency approximations. The 2-D elastodynamic scattering problems of a plane wave incident on these model defects are considered and the scattered fields are expressed in terms of the reflection and diffraction coefficients. The ratio of the scattered far field amplitude to the incident wave amplitude is computed as a function of the angular location and compared with the boundary element solutions.

• Journal of the Korean Society of Radiology
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• v.16 no.3
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• pp.319-325
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• 2022

The Study In order to obtain a sharpness Image from Skull PA axial projection (Haas) in a head axial X-ray Examination, this study changed the posture angle using Skull Phantom and evaluated the image subjectively to 5 radiologists who worked in the Department of Imaging at University Hospital. In the prone position, the head was lowered 4 cm from the back of the head, entered 25° toward the head, and the image evaluation score was high with 20 points, such as the back bone, dorsum sellae projected in the large hole, and posterior clinoid process. In addition, the score significance was verified, and the Cronbach Alpha value was evaluated to have good reliability of 0.789. As a result of calculating the signal-to-noise ratio (SNR) by setting the region of interest (ROI) of the image, it was the highest at 5.957 for 25° incident at the back of the head and 6.430 for 30° incident at the back of the head. As a result of the study, in order to obtain a sharp image of the back of the head bone, dorsum sellae, and posterior clinoid process when shooting in the axial direction after the head, it is filmed by tilting 25° toward the head from 4 cm below the back of the head. In order to obtain a sharp image of rock pyramid symmetry, petrous ridge, sagittal suture, and lambdoid suture, it is thought that it will be helpful for clinical use if you shoot it 8cm down from the back of the head and tilt it 30° toward the head.

• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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• 1998.05a
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• pp.400-404
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• 1998

본 논문에서는 도심지 이동 통신에서 SINR 성능을 향상시키기 위해 기존의 배열 안테나에 최소 평균 자승(LMS) 알고리즘을 적용하여 실제 배열 출력과 이상적 출력간의 최소 평균 오차(MSE)를 최소화하고 안테나의 배열로부터 가중치를 결합한 신호에 의해 방향성을 적절히 제어하여 간섭신호를 효과적으로 제거한다. 배열 출력 신호 대 간섭에 추가된 잡음비(SINR) 성능 분석에 적합한 삼차원적 분석을 사용하여 적응 배열 원소를 사용한 성능과 모노폴 안테나 원소에서 배열의 성능을 비교한다. 또한, SINR 패턴 각 비(PAR)를 사용하여 적응 배열 원소 방위, 내부 원소간의 간격들 그리고 입사 신호 방향들과 같은 다른 배열 매개 변수들에서 배열 성능을 계산하고 SINR 패턴의 양적 평가를 한다. 결과로서, 적응 배열 원소가 가정된 신호 환경에 있어 4상파형(quarterwave) 모노폴(monopole) 안테나 배열보다 더 바람직하다.