• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2011.02a
• /
• pp.363-363
• /
• 2011

열분해 반응기 내에서 실리콘 필름을 성장시키는 것은 반도체/디스플레이, 태양전지, 신소재 등 다양한 분야에서 중요한 공정이다. 더욱이 반도체 소자 선폭이 줄어들면서 나노입자의 오염 제어가 더불어 중요해지고 있다. 생산 공정 기술의 집적화에 따라 패턴 사이 거리가 작아지고, 이에 불과 수 십 나노미터크기의 오염입자에 의해서 패턴불량이 발생하고 생산수율을 감소시킨다. 일반적으로 반도체 공정 중 발생한 오염입자는 반응기 내의 가스가 물리/화학적 공정에 의해 핵생성(nucleation)이 일어나 핵(nuclei)이 생성되고, 이 때 표면반응 및 응집(coagulation)에 의해 성장하게 된다. 이에 본 연구에서는 열분해 반응기 내에서 사일렌(SiH4) 가스를 열분해하여 발생되는 실리콘 오염입자의 핵생성과 성장 모델을 정립하고, 생성된 오염입자의 거동과 전달 현상을 이론적으로 고찰하였다. 열분해 반응기와 같은 기상공정(Gas to particle conversion)에서 오염입자가 생성될 때, 그 성질과 크기 등에 물리/화학적 영향을 주는 요소는 전구체/이송기체의 농도 및 유량, 작동 압력, 작동 온도와 반응기 고유 특성 등이 있다. 수치해석의 정당성과 빠른 계산을 위해 단순화시킨 0D 모델인 Batch 반응기와 1D모델인 plug flow 반응기 등에서 SiH4 가스의 열분해 과정시 생성되는 Si cluster를 상용코드인 CHEMKIN 4.1.1을 이용하여 계산하였으며, 2D모델인 Shear flow 반응기로 확장시켜 Si 오염입자가 생성특성을 연구하였다.

• Proceedings of the SAREK Conference
• /
• 2008.06a
• /
• pp.583-590
• /
• 2008

최근 작업자 숙소 및 이송용 외에 작업용으로 사용 가능한 Barge선의 일종인 Accommodation Work Barge 선의 건조량이 증가 추세인 바 현재 중국에서 건조 중인 해당 선박의 HVAC & Refrigeration system에 대하여 정리하였다. 본 시스템은 R404A Direct expansion 냉각방식 (직접팽창방식)이 적용되었으며 HVAC system 중 Air conditioning 부분에 대해서는 선박의 각 Deck 기준으로 Zoning 하여 개별적인 Air handling unit와 Condensing unit를 구성하였으며 (각 unit의 용량은 필요용량의 100%), 냉동 창고의 Refrigeration system은 해당 격실 (육고, 어고, 야채고)에 각각 Unit cooler를 설치하고, Condensing unit를 기계실에 설치하였다. 장비는 전체 용량 100%에 대하여 항시 운전하는 100% 용량의 장비와 비상시에 운전하는 100% 용량의 예비 장비로 구성된다. 냉동 창고에 인접한 Dry provision store는 냉동 창고와는 별개로 중앙 공조기로부터의 냉각 공기를 이용하여 Spot cooling하였다. 본 System의 구성에 대한 장점 및 단점은 아래와 같다. 1. Air conditioning system이 각 Zone에 대하여 구성되므로 각 Zone에 대하여 제어가 가능하다. 2. Air con. 실에 Air handling unit와 Condensing unit가 설치되므로 냉매 배관의 길이가 짧다. 3. Air con. 실에 Air handling unit와 Condensing unit가 설치되므로 실내의 Maintenance space 상에 여유가 없다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
• /
• v.18 no.3
• /
• pp.53-60
• /
• 2001

Water jet cutting is a new technology using very high pressure water as a cutting tool. Water jet cutting system consists of water preparation part, pressure generation pate, cutting head, and motion part. A PC-based numerical controlled (PC-NC) X-Y table is developed and water get cutting system is installed thereon. Water jet machining is applicable to various kinds of materials ranging from soft materials such as rubber and meat to hard-to-cut materials such as titanium. This paper shows the application of the abrasive waterjet system to titanium cutting.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
• /
• 2000.11a
• /
• pp.22-22
• /
• 2000

DRAM의 고접적화에 따라 기존의 반도체 공정에서 사용중인 여러 가지 기술들이 대부분 그 한계를 보이고 었으며, 대표적인 것이 캐퍼시터 형성기술이다. 따라서 1G DRAM급 이상의 초고집적 회로를 실용화하기 위해서 유전율이 높은 BST ($BrSrTiO_3$) 박막을 이용하여 캐패시터를 제조하려는 기술도 반드시 해결되어야 현재 활발히 실용화 연구가 진행중에 있다. BST 박막을 제조하는 방법은 RF magnetron sputtering, Ion beam reactive co-evaporation, LSM (Liquid Source Misted) CVD, MOCVD 등의 법으로 제조되고 있다. 본 연구에서는 전기-수력 학적 분무(Electro-Hydrodynamic Spray)현상을 이용한 MOCVD에 BaO, SrO, $TiO_2$ 박막을 증착 하여 전기장세기, 기판온도, 시간 등에 따른 특성을 조사하였다. 전기수력학적 분무를 이용한 증착법은 원료를 함유하는 용액을 이용함으로써 이송관의 가열이 필요 없이 장치를 간단하게 할 수 있고, 용액의 유량과 전기장의 세기에 따라 초미세 입자제어도 가능하며, 박막의 조성을 출발 용액으로 부터 조절하는 등의 특징을 가지고 있다. 증착한 박막의 표면, 단면 형상 및 조성을 분석하였고 결정화 여부 및 우선 배향성을 조사하였다. 현재는 개별 박막의 표현 형상과 조성에 대한 연구 결과를 얻었으며, 계속해서 박 막의 여러 특성에 대하 연구할 계획이다.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
• /
• 2012.05a
• /
• pp.491-493
• /
• 2012

우리나라는 농업용수, 생활용수 등의 목적으로 여러 개의 호소 등을 설치하여 운영 중에 있다. 하지만 몇몇 호소들은 인구증가 및 산업발달로 인하여 매년 오염도가 증가하는 것으로 알려져 있으며, 특히 부영양화 현상으로 인하여 남조류가 과다번식 할 경우 호소 수질 및 수생태계에 악영향은 미치는 것으로 알려져 있다. 따라서 호소의 부영양화 현상을 제어하기 위한 많은 연구가 이루어지고 있으며, 부영양화 현상을 발생시킬 수 있는 여러 제한인자 중 인(P)에 대한 관심이 많아지고 있는 실정이다. 부상분리의 일종인 DAF는 침전공정의 대안으로서 25년 전부터 유럽과 미국을 중심으로 정수 및 하수처리 공정에서 이용되어 왔다. 가압부상공법에서 발생되는 기포의 크기는 $50{\sim}100{\mu}m$ 정도로 부상물질인 스컴이 파괴될 가능성이 낮고 기포의 크기가 작아 공기의 용해효율이 높으며 대전작용, 물리적 흡착효과 등의 특징을 가진다고 알려져 있다. 또한 공기와 물 뿐만 아니라 Al 성분의 응집제인 PAC를 이용하여 버블을 발생시킬 경우 인의 제거 효율이 크다고 알려져 있다. 가압부상공법의 경우 응집 침전 공정과는 달리 발생되는 처리과정에서 발생되는 부산물을 외부로 유출 시킬 수 있기 때문에 호소 수질정화에 이용될 수 있다고 판단된다. 따라서 본 연구에서는 저수지의 형태와 유사한 반응조를 설계하여 DAF를 주입하는 실내실험을 진행하였으며, 이를 통해 호소수질 정화를 위한 DAF의 타당성에 대해 평가하기 위해 이루어졌다.

• Annual Conference of KIPS
• /
• 2019.10a
• /
• pp.990-993
• /
• 2019

인공지능(AI)은 최근 다양한 산업과 사회에서 패러다임을 바꾸고 있지만, 최첨단 AI 가 제조업에서는 즉각적인 성과를 보이지 못 하고 있다. 다시 말해, Industry 4.0 시점에서 기존의 접근 방법과 차별화되는 실용적인 방법론이 필요하다. 여기서 중요한 점은 '어떤' 데이터를 '어떻게' 활용하여 '어느' 부분에 적용할 것 인가이다. 제조업은 게임과 같이 가상의 캐릭터가 하나의 객체 단위로 구동되는 것이 아니라 수많은 하드웨어가 물리적으로 조합되어 연동한다. 따라서, 현실 세계에서는 물리적 마모, 고장 등으로 인해 엔지니어의 개입 없이 수천만 번 이상의 반복 학습이 불가능하다. 또, 제조업은 학습을 위한 방대한 양의 데이터를 수집하고 레이블링 하는 것이 매우 어렵다. 이 두 가지 한계를 극복할 수 있는 방법은 현실과 매우 유사한 환경을 시뮬레이션으로 재연 후 강화 학습을 사용하는 것이다. 제조 분야에서 아주 복잡한 환경 중 하나로 이송 설비가 있으며, 본 논문에서는 그리드 분류 시스템을 개발하고 강화 학습을 적용시킬 수 있는 환경을 설계한다.

• Journal of the Korean Society of Industry Convergence
• /
• v.22 no.3
• /
• pp.281-292
• /
• 2019

This paper proposed a new technology to control a path forging parts in limited narrow space of manufacturing process automation for smart factory. In the motion control, we adapted the obstacle avoidance technology based on ultrasonic sensors. The new motion control performance test for a mobile robot is experimented in narrow space environments. The travelling path control is performed by a fuzzy control logic. which plays a role for selecting an appropriate behavior in accordance with the situation in the vicinity of the mobile robot. Ultrasonic sensors installed at the front face of the mobile robot are used. In order to update the current position and heading angle of the mobile robot, a new approch is adapted. The reliability is illustrated by simulation and experiments.

• The Journal of the Korea Contents Association
• /
• v.19 no.2
• /
• pp.469-476
• /
• 2019

Robotic motion is designed by the rotation and the translation of multiple joint coordinates in a three-dimensional space. Joint coordinates are generally modeled by homogeneous transform matrix. However, the complexity of three dimensional motions prefers the visualization methods based on simulation environments in which models and generated motions work properly. Many simulation environments have the limitations of usability and functional extension from platform dependency and interpretation of predefined commands. This paper proposes the web-based three dimensional simulation environment toward high user accessibility. Also, it covers the small size web server that is linked with Python script. The non linearities of robot control apply to verify the computing efficiency, the process management, and the extendability of user scripts.

• Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers
• /
• v.19 no.11
• /
• pp.64-69
• /
• 2020

To determine the effective factors for microparticle blasting with precise sequence position control in the x-axis and y-axis directions, we conducted a statistical experimental analysis of blasted square shapes by considering five condition factors. The control input and output were operated simultaneously by rotation-linear motion conversion and fine particles were blasted onto the aluminum specimen by precise position control driving using multiple execution codes. The micro-driving device used for processing was capable of microparticle blasting and of controlling the system through contact with a limit sensor at high speed and a two-degree-of-freedom driving mechanism. Our experiments were conducted on 1,050 specimens of pure aluminum (containing <1% of other elements). The effects of several factors (e.g., particle and nozzle diameters, blasting pressure, and federate and blasting cycle numbers) on the surface roughness and blasted surface's depth were verified through a statistical experimental analysis by applying the dispersion analysis method. This statistical analysis revealed that the nozzle diameter, the blasting pressure, and the blasting cycle number were the dominant factors.

• The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
• /
• v.37 no.8C
• /
• pp.721-730
• /
• 2012

In this paper the problem of a moving control of an automatic guided vehicle(AGV) which transports a dead body to a designated cinerator safely in a crematorium, an special indoor environment, will be discussed. Since a method of burying guided lines in the floor is not proper to such an environment, a method of moving control of an AGV based on infrared ray sensors is now proposed. With this approach, the AGV emits infrared ray to the landmarks adheres to the ceiling to find a moving direction and then moves that direction by recognizing them. One of the typical problems for this method is that dead zone and/or overlapping zone may exist when the landmarks are deployed. To resolve this problem, an algorithm of recognizing double landmarks at each time is applied to minimize occurrences of sensing error. In addition, at the turning area to entering the designated cinerator, to fit an AGV with the entrance of the designated cinerator, an algorithm of controlling the velocity of both the inner and outer wheel of it. The functional correctness of our proposed algorithm has been verified by using a prototype vehicle. Our real AGV system has been applied to a crematorium and it moves automatically within an allowable range of location error.