• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.31-31
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• 2011

식각, 증착 등의 플라즈마 활용 공정에서 공정 결과들이 예상치 못한 편차를 보이거나 시간에 따른 공정 결과의 드리프트가 발생하는 등의 문제는 공정 수율 향상 뿐 아니라 공정 결과 생산하게 되는 제품의 성능을 결정짓는다는 점에서 중요하다. 그 결과 공정의 이상이 발생 되는 것을 감지하기 위한 다양한 장치 및 알고리즘들이 등장하고 있으나, 현재 공정 상태 변화를 진단하는 것은 공정 장치에서 발생된 신호 변동을 통계적으로 처리하는 수준에 머무르거나 플라즈마 인자들의 값 자체를 진단하는 정도에 그치고 있다. 본 연구에서는, 향후 물리적 해석을 기반으로 한 공정 진단을 위한 알고리즘을 세우는 것을 목표로 하여 공정 결과에 민감하게 영향을 주는 플라즈마 내부 전자의 열평형 상태의 미세한 변동을 감지하고 이를 통하여 공정 결과에 영향을 주게 되는 장치 내 물리적, 화학적 반응들의 변동 메커니즘을 이해하고자 하였다. 외부에서 감지하기 힘들기 때문에 장치 상태에 변동이 없는 것으로 보이지만 실제로는 변동하고 있는 플라즈마의 미세한 상태 변화를 보여줄 수 있는 물리 인자로는 잦은 충돌로 인하여 빠르게 변동에 대응할 수 있는 전자들의 열평형 특성을 살펴보는 것이 적합하다고 판단하여 광신호를 통해 전자 에너지 분포함수를 진단할 수 있는 모델을 수립하였다. 이 모델의 적용 결과를 활용하면 전자들의 열평형이 주변 가스 종의 반응율 변동에 주게 되는 영향을 해석할 수 있다. 실제로 ICP-Oxide Etcher 장치에서 장치 내벽 오염물질 유입 및 공정 부산물의 장치 내 잔여로 인하여 식각율로 표현되는 공정 결과에 최대 6%의 편차가 발생하게 되는 메커니즘을 해석할 수 있었다.

• Explosives and Blasting
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• v.38 no.1
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• pp.14-22
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• 2020

Bit damage is one of the primary causes of decreasing drilling efficacy. Nevertheless the management of bit ware and failure are often left for field engineers' experience. Thus it is imperative to establish a proper system to predict and manage the bit damage during the rock drilling process. In this study, the drilling sound signal has been recorded and analyzed using wavelet transform analysis to identify the exact moment of bit failure. Through the analysis wavelet time-frequency spectrums have been constructed and an abnormal point has been identified with 0.9 of wavelet transform value at the 652.8s on a frequency band around 500Hz. Furthermore it is also observed that the penetration rate of the damaged bit has been decreased to 23mm/s which is 9mm/sec lower than the average of undamaged bit. The study verifies that wavelet transform analysis can be used to build a system to diagnose the bit damage while drilling.

• Tuberculosis and Respiratory Diseases
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• v.40 no.1
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• pp.35-42
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• 1993

Background: In order to establish the etiology of the pleural effusion, routine analysis of the fluid, bacteriologic studies, cytologic tests and pleural biopsies are currently being employed. However, even with the above mentioned tests, the exact causes cannot be determined in approximately 10-20% of cases. The purpose of our study is to determine the diagnostic value of measuring ADA activity and CEA simultaneously in various pleural fluids which their etiologies have confirmed Methods: We have studied 61 cases of tuberculous pleural effusions, 17 cases of suspected tuberculous pleural effusions, 17 cases of malignant pleural effusions, 22 cases of suspected malignant pleural effusions, and 7 cases of parapneumonic pleural effusions. We have measured the ADA activity and CEA level simultaneously in pleural fluid samples in each cases. Results: 1) The ADA activity in tuberculous pleural effusion was significantly higher than that in malignant effusion. 2) The CEA level in malignant pleural effusion was significantly higher than that in tuberculous effusion. 3) With the cut-off values of the pleural fluid ADA activity more than 40 U/L and the CEA level less than 12 ng/mL, the sensitivity was 86.9%, and the specificity was 100% in the diagnosis of tuberculous effusion. With the cut-off values of the pleural fluid CEA level more than 12 g/mL and the ADA activity less than 40 U/L, the sensitivity was 76.5%, and the specificity was 100% in the diagnosis of malignant effusion. Conclusion: It is suggested that the combined assay of pleural fluid ADA activity and CEA level is very useful in the differential diagnosis of tuberculous and malignant pleural effusion.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.94-94
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• 2011

본 논문은 "차세대 반도체용 진공공정의 실시간 측정/진단/제어 기술개발"과제의 제 3 세부과제 "스마트형 진공 배기 진단 제어 시스템 개발"의 주요 연구 실적을 소개한다. 본 세부과제는 (1)진공펌프 및 배기 시스템의 다중 상태변수 측정 장치 개발, (2)공정별 펌프 상태 및 공정 조건 data base 구축 및 진단 알고리즘 개발(e-Diagnostics Level 2 FDC 수준), (3)공정별 펌프 상태 변수 측정을 통한 자기 진단 기술 개발(e-Diagnostics Level 2 FDC 수준), 그리고 (4)측정/통신 PMS (Pump Monitoring System) 개발(통신속도 56k bps 이상, e-Diagnostics Level 0~1)을 최종 목표로 추진되어 왔다. 첫 번째 주요실적은 진공배기시스템의 다중 상태변수 측정 및 평가 장치를 성공적으로 개발하였다. 본 장치는 현장에서 진공펌프의 배기속도를 3% 이내로 정밀하게 측정할 수 있는 소닉 노즐을 이용한 배기속도 측정 장치 및 기술을 성공적으로 개발 완료하였다. 그리고 측정 가능한 상태변수는 20종에 달하며 이들을 이용하여 진공펌프의 성능인자 15종과 특성치 9종을 종합적으로 평가할 수 있는 능력을 갖추었다. 두 번째 주요실적은 공정별 진공배기시스템의 자기진단 및 예지보수 기수 개발이다. 연구에서 개발된 적응형 인자모델을 이용한 상태진단 기술은 이미 학회 논문으로 소개되었으며 본 기법은 기존의 시계열 상태변수를 이용한 기존의 상태진단 기법보다 메모리 소요량을 100배로 줄였으며 그리고 연산양은 10% 이하로 줄인 획기적인 기법이라 할 수 있다. 세 번째 주요실적은 상태변수 측정, 통신, 제어 및 공정적응 기능 통합형(smart) PMS(pumper monitoring system) 개발이다. 본 장치는 CAN통신 기법을 새로이 채택하였으며 한 대의 PC로 64대의 단위 진공펌프들의 운전 상태변수를 실시간으로 수집할 수 있도록 하였다. 그리고 운전 중인 개별 진공펌프들의 운전 상태진단은 적응형 인자모델을 이용한 상태진단 기술을 응적용함으로써 매우 정확한 상태진단을 매 batch마다 수행할 수 있는 기능을 제공한다.

• Journal of the korean academy of Pediatric Dentistry
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• v.27 no.1
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• pp.40-44
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• 2000

The purpose of study was to measure the interrater reliability of the newly developed caries diagnostic instrument, Diagnodent(KaVo, Germany), using a new laser fluorescence techinique. One hundred and three extracted human premolars and molars were examined by Diagnodent, three times for fissures and five times for smooth surfaces. There was no significant difference among the three fissure means, but two combinations showed significant differences among the five smooth surface means. Correlation coefficients of Pearson and Spearman were all above 0.9(P<0.01). The $\alpha$ values from reliability analysis were 0.9980 or 0.9981 for fissures and 0.9992 for smooth surfaces.

• Journal of the korean academy of Pediatric Dentistry
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• v.32 no.2
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• pp.251-255
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• 2005

Radiotherapy for head and neck tumors is a viable treatment modality. However, a wide range of potentially debilitating dental complications may be accompanied by this treatment. We report two cases of developmental disturbance of permanent tooth germs after radiotherapy. The one was that of a seven-year-old girl, who had congenitally missing teeth, and microdontia of permanent tooth germs. she had received radiotherapy for acute myelocytic leukemia at the age of 19 months. The other was that of a nine-year-old boy, in which congenitally missing teeth, microdontia, root hypoplasia, and enamel hypoplasia of permanent teeth were observed. He had undergone a course of radiotherapy for bilateral retinoblastoma at the age of 13 months.

• The Korean Journal of Nuclear Medicine Technology
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• v.21 no.2
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• pp.28-30
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• 2017

Purpose Anti-Glutamic acid decarboxylase antibody test (GAD Ab) has been used as a predictor of type 1 diabetes. GAD Ab has also been shown to be highly potent in cerebrospinal fluid (CSF) of patients with suspected diabetic peripheral neuropathy. Recently, it has been known that clinical significance of GAD Ab using CSF is useful for the neurological disorders. However, the reference value of anti-GAD Ab has been provided only for serum. In this experiment, we estimated the reference value of anti-GAD antibody for CSF in neurological patients. Materials and Methods A total of 211 neurological patients were enrolled. Serum and CSF were analyzed by radioimmunoassay (RIA) using commercial RIA anti-GAD Ab kit (RSR, London, United Kingdom). Normal saline was used as the normal CSF control because CSF is most similar to 0.9% normal saline. Results The mean value of normal CSF control was 1.97 U/mL, and two standard deviations (2SD) was 1.44 U/mL. Based on this data, the expected reference range of CSF could be estimated from 0.54 U/mL to 3.40 U/mL Conclusion The reference range of normal CSF control using normal saline obtained with Hoffmann's method. However, there will be a need to validate the CSF reference values using human normal CSF.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2011.07a
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• pp.1556-1557
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• 2011

변압기의 고체 절연이 열화 되거나 불순물 및 수분이 혼입되어 임계치 이상의 고전계가 인가되면 결합부분에서 부분방전이 발생한다. 현재 변압기에서 부분방전을 검출하기 위해서는 부싱탭을 이용하거나 전류센서, 초음파센서 등을 이용하여 부분방전을 검출하고 있지만 전기적인 부싱탭이나 전류센서를 이용한 검출 방법은 주변 잡음의 영향을 많이 받고 초음파법은 감도가 낮다는 단점을 가지고 있다. 이에, UHF 방식을 이용한 부분방전 검출 기술이 전력기기의 초기 고장진단을 발견하는 효과적인 방법으로 인식되고 있다. 최근에는 이러한 UHF 진단방식의 높은 감도, 외부노이즈에 대한 적은 영향, 온라인 측정의 가능성의 장점으로 전력용 변압기에도 적용되고 있다. 본 논문에서는 전력 변압기에서 PD 진단에 적합한 UHF 센서의 개발에 대해서 소개한다. 제안된 UHF 센서는 광대역(500 ~ 1,500MHz)에서 측정이 가능하며 감도가 우수하며 특정 대역에서 공진점을 가지는 다중 공진 모노폴 안테나 타입이다. 안테나 시뮬레이션 및 해석을 통해 유중 부분방전을 모의하여 감도 측정을 실시한 결과 제안된 UHF 센서가 전력용 변압기의 부분방전 측정에서 높은 감도를 나타냈으며, 기존 측정 방식의 단점을 보완할 수 있는 방안으로서 전자파를 이용한 부분방전 측정에 대한 기초연구를 실시하여 변압기 운전중에 전자파 측정에 의한 부분방전 감시가 가능한 것으로 나타났다.

• The Transactions of the Korean Institute of Power Electronics
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• v.8 no.6
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• pp.527-533
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• 2003

Recently, need of power stability and reliability has been increased as the spread of the sensitive electronic loads. Therefore, the power quality(PQ) problems become the hot Issue of public interest in these days. Many kinds of algorithms have been studied for the monitoring of PQ problems using the monitoring algorithms with RMS or FFT scheme, but it is still not enough to measure all of the PQ problems. This paper proposed the application of discrete wavelet transform(WT) for the PQ problems monitoring with the Introduction of WT theory, and the design of PQ monitoring data acquisition system Is described with some experimental results to verify the validity of the proposed PQ monitoring algorithm.

• Journal of dental hygiene science
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• v.14 no.4
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• pp.589-596
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• 2014

This study was designed to investigate the using status and awareness of pit and fissure sealant, and how it affects on secondary caries when performed on above of initial caries. After classifying 446 occlusal surface into four groups, performed pit and fissure sealant, induced artificial caries, used DIAGNOdent (Kavo) to measure degree of secondary caries. Also, distributed a questionnaire on dental clinic in metropolitan area to find out using status and awareness of pit and fissure sealant, the following results were obtained. 1) On inspection and percussion, Group 4 corresponding to the enamel caries showed the highest secondary caries after sealant and was statistically significant difference in the order of initial group, stained group, sound group (p<0.05). 2) Inspection showed the highest percentage on tooth fissure caries diagnostic methods before sealant. 3) 56.6% didn't know about DIAGNOdent, 91.6% didn't have it. 4) In clinically, the most cause of secondary caries after sealant was a broken sealant, making caries on the downward. Based on the results of above study, degree of caries under sealant could affect on secondary caries, needs publicity about the use and necessity of objective fluorescence device.