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원자외선 영상/분광 측정기 광학설계 (OPTICAL DESIGN OF THE FAR ULTRAVIOLET IMAGING SPECTROGRAPH)

  • 유광선;선광일;민경욱
    • Journal of Astronomy and Space Sciences
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    • 제15권2호
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    • pp.359-371
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    • 1998
  • 본 연구에서는 원자외선 영역($900~1750AA$)에서 오로라, 주/DIRKS 대기 광 관측 및 천문학적 관측을 동시에 수행하기 위한 FUVS(Far Ultraviolet Spectrograph)를 설계하고, 그 성능을 평가하였다. FUVS의 설계는 에돌이발(grating)의 광학적 특성과 비구면 광학을 충분히 고려하여 이루어졌으며, 분해능 계산을 위해 ray-trace 방법과 파면수차 계산에 의한 방법을 사용하여 설계의 검증을 시도하였다. 두 가지 방법에 의한 결과가 오차범위 안에서 일치하여 분석 방법에 큰 문제점이 없다는 것을 간접적으로 확인할 수 있었고, 전 영역에 걸쳐 대략 $2~5AA$의 분해능을 얻었다. 또한, FUVS의 수행 임무 중 가장 검출이 힘들 것으로 생각되는 고온의 성간 플라즈마에서 방출되는 선 방출의 검출 가능성을 타진하기 위하여 FUVS의 최소 검출가능 플럭스(MDF)를 계산하였다. 이 계산을 위하여 지금까지 알려진 반사물질, MCP 등의 특성을 충분히 고려하였으며, 선의 세기에 따라 하루에서 일주일에 걸친 관측을 통해 고온의 성간 플라즈마에서 방출되는 선 방출을 검출할 수 있다는 결론을 얻었다.

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양송시기(兩宋時期)의 의정사(醫政史)에 관한 연구

  • 박현국;김재철;김기욱
    • 대한한의학원전학회지
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    • 제19권3호
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    • pp.65-99
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    • 2006
  • 송대통치자희환의약병중견의학적발전. 축소궁정의료궤구(縮小宮廷醫療机構), 각확대평민의료여의약유관적자선궤구이개선백성의료조건적정책방향흔진보적. 장의적엄범지수집, 교정(校訂), 편찬(編纂), 반포이수존의학문헌(頒布以收存醫學文獻), 병차위의학적전파화보급작출봉헌. ${\ulcorner}$내경(內經)${\lrcorner}$, ${\ulcorner}$상한(傷寒)${\lrcorner}$ 등기초이론적연구방면상야운용(等基礎理論的硏究方面上也運用), 금원시기성위료학술쟁론적기출, 저시송대의정상최성공적정책(這是宋代醫政上最成功的政策). 유정부엄구약물, 수정본초병건립제약공창화약점(修訂本草幷建立製藥工廠和約店), 전매약물(專賣藥物), 개혁제형, 이발전'성약'(以發展'成葯'), 통일용약적규범등(統一用藥的范等), 저양적조시향약물적발전화의약적민중화흔대적영향. 의약교육방면상(醫藥敎育方面上), 재태의국화국자감리건립적'의학'교육제도유흔다건공, 궤구적예속, 전과(專科) 적분과(的分科), 고시제도(考試制度), 학교관리등도적료신경험(學校管理等都積了新驗), 의학상이'삼사법'(醫學上以'三舍法') '공액'위려의학교육적조시('貢額'爲勵醫學敎育的措施), 저치득긍정적(這値得肯定的). 송대의학교육상야유과착(宋代醫學敎育上也有過錯). 비여(譬如), 인제도적존폐이유실교육적연속성(因制度的存廢而有失敎育的連續性), 이방애의약교육경금적척축화계승(以妨碍醫藥敎育經驗的積蓄和繼承), 불단결핍잠력, 상실동력이차몰건립전문약학교육(喪失動力而且沒建立專門藥學敎育). 대부분수요의정궤구적건립(大部分需要醫政机構的建立). 단시유례속관사흔옹제적문제, 인위피상부소속궤관소견체소이불구통일적지도화협조, 최고의정궤구'한임의관원'야몰유통제의약궤구적권한(最高醫政机構'翰林醫官院'也沒有統制醫藥机構的權限), 직책중복(職責重複), 인원과잉(人員過剩), 의관원본신이야유흔다과잉리인원, 부구엄격적관리제도. 인비송대의관관리방면상강락료총효율(因比宋代醫官管理方面上降落了總效率).

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FFR 기반의 Femtocell 네트워크를 위한 적응 주파수 자원 할당 방법 (Adaptive Frequency Resource Allocation For FFR Based Femtocell Network Environment)

  • 배원건;김정곤
    • 한국통신학회논문지
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    • 제37권7B호
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    • pp.505-516
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    • 2012
  • 4G 이동통신 핵심 기술 중 펨토셀 시스템 실제 구현 시에 매크로셀과 펨토셀이 동일 주파수를 사용하면 동일채널 간섭이발생되기 때문에 이를 해결하기 위해 주파수 자원을 서로 다르게 할당하는 간섭 회피 기술이 필요하다. 본 논문에서는 매크로셀과 펨토셀 간의 기존 자원 할당 방식을 분석하여, 문제점을 도출하고 이를 기반으로, 본 논문에서는 FFR (Fractional Frequency Reuse) 기반의 펨토셀이 분포된 환경에서 셀 용량을 증가시키고 주파수 효율을 최대화하기 위한 적응 주파수 자원 할당 방식에 대해 제안하였다. 모의 실험 수행 결과, 기존 방식과 비교하여 SINR (Signal to Interference Noise Ratio) 분포에서는 근소한 개선 효과를 보였고, 전체 셀 용량에서는 큰 개선 효과를 보여주었다. 본 논문의 현실적인 구현을 위해 펨토 및매크로 유저 분포의 검출 방안 등에 대한 연구 및 전력 제어나 다중 신호 간섭 검출을 통해 간섭을 완화하는 방안 과의 결합방식 들에 대한 연구가 향후 추가 적으로 더 진행 되어야 할 것으로 생각 된다.

탄수화물 분해 세균 Microbacterium aurum KACC 15219T의 유전체 염기서열 해독 (Complete genome sequence of Microbacterium aurum strain KACC 15219T, a carbohydrate-degrading bacterium)

  • 정연균;정병권;박창언;제랄드 콘라드 이발;김상준;신재호
    • 미생물학회지
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    • 제55권2호
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    • pp.164-166
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    • 2019
  • 이 연구에서는 Microbacterium aurum KACC $15219^T$ (=IFO $15204^T$ = DSM $8600^T$)의 완전한 유전체 서열이 해독되었다. 하나의 원형 염색체는 3.42 Mbp였으며 G+C 함량이 69.9%였다. 해당 염색체 염기서열을 주석화한 결과, 총 3,096개의 유전자 서열이 발견되었다. 16종 이상의 탄소원을 분해하는 것으로 알려진 M. aurum KACC $15219^T$에는 방향족 아미노산 합성 기질인 quinic acid를 비롯한 다양한 탄소원의 이용과 관련된 유전자가 존재하였다. M. aurum KACC $15219^T$의 유전체 정보는 이 미생물에 대한 이해를 높이고 산업적인 이용을 위한 기반이 될 것이다.

주자(朱子)의 인심도심설(人心道心說) (Chutzu's Theory of Human Mind and Moral Mind)

  • 전현희
    • 한국철학논집
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    • 제31호
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    • pp.289-319
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    • 2011
  • 주자(朱子)는 "서경(書經)"의 16자 심법(心法)를 "중용장귀서(中庸章句序)"에 인용하고 해설을 덧붙임으로써 인심도심설(人心道心說)를 새로운 학설을 정립한다. 이는 "중용장구"의 핵심 주제인 '중화(中和)'를 실현하기 위한 선행조건인 심(心)의 주재(主宰)를 설명하기 위한 것이다. 심(心)의 주재는 지각(知覺)를 통해서 이루어진다. 주자는 지각을 '그로써 리(理)를 갖추어 정(情)을 실행하는 것'으로 정의한다. 즉 지각은 외부의 자극에 대한 반응의 원리로부터 현실적인 반응을 이끌어내는 기능이다. 심은 지각함으로써 성(性)을 정으로 발현해낸다. 외부의 자극이 다가오기 전에 심(心)이 성(性)을 온전하게 갖추고 있는 상태가 미발(未發)의 '중(中)'이다. 자극이 다가오면 심은 당면한 상황에 적합한 리(理)를 지각(知覺)한다. 측은(惻隱)의 상황에서 인(仁)을 지각함으로써 측은해하는 정(情)이 발현되고, 시비(是非)의 상황에서 지(智)를 지각함으로써 옳거나 그르게 여기는 정이 발현된다. 상황에 적합한 정이 발현된 상태가 이발(已發)의 '화(和)'이다. 심(心)은 인의예지(仁義禮智)의 성을 혼연(渾然)하게 갖추고 있다가 특정한 상황에 처하여 적합한 리를 지각함으로써 성과 정을 주재하여 중화를 실현한다. 심(心)은 리(理)뿐만 아니라 욕구도 지각한다. 지각의 주체인 하나의 심을 지각의 대상에 따라 두 가지로 나누어 설명한 것이 인심(人心)과 도심(道心)이다. 인심은 형기(形氣)에서 비롯된 욕구를 지각함으로써 생명활동을 가능하게 하고, 도심은 성명(性命)의 리를 지각함으로써 도덕활동을 가능하게 한다. 그런데 욕구의 충족 여부는 외부 대상에 의해 결정되므로 인심은 자기 충족적이지 못하여 대상에 이끌려 인욕(人欲)으로 흐르기 쉽다. 따라서 도심이 인심을 인도하는 것은 이발(已發)의 화(和)를 이루기 위한 전제 조건이 된다. 중화(中和)를 이루기 위해서는 도심(道心)이 주재(主宰)해야 하며, 도심이 주재하기 위해서는 격물치지(格物致知)의 공부가 선행되어야 한다. 따라서 주자(朱子)의 인심도심설(人心道心說)는 "중용장구"의 중화설(中和說)과 "대학장구"의 격물치지설(格物致知說)을 아우르는 심론(心論)을 완성하였다는 의의를 지닌다.

주자(朱子)의 중화설(中和說) 변천과정과 '경(敬)'공부론(工夫論) (Procedural Changes of Zhuzi(朱子)'s Theory of ZhongHe(中和) and the Theory of Jing(敬))

  • 서근식
    • 동양고전연구
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    • 제48호
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    • pp.225-252
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    • 2012
  • 본 논문은 주자(朱子)의 중화설(中和說)의 변천과정을 살펴보고 후대의 평가에 대해서 살펴본 것이다. 주자(朱子)는 중화구설(中和舊說)의 단계에서 도남학파(道南學派)로 내려오는 이동(李?)의 학설을 무시하고, 장식(張?)을 만나 호상학파(湖湘學派)의 '선찰식후함양(先察識後涵養)'을 따르게 된다. 그는 이동(李?)으로부터 수양법(修養法)을 배웠지만 장식(張?)과 만나 토론하면서 호상학파(湖湘學派)의 '선찰식후함양(先察識後涵養)'의 방법론(方法論)에 매료되게 된다. 이는 미발(未發)은 없고 모든 것이 발(發)한 이발(已發)의 때만을 인정하는 것이었다. 중화신설(中和新說)의 단계에서는 중화구설(中和舊說) 때의 잘못을 깨닫고 다시 미발(未發)의 때를 중시하게 된다. 심(心) 성(性) 정(情)의 관계도 심통성정(心統性情)이라는 것으로 적립하게 된다. 또한 호굉(胡宏)의 '선찰식후함양(先察識後涵養)'으로부터 벗어나 '경(敬)'의 수양법(修養法)을 내세운다. 이러한 수양(修養) 방법은 호상학파(湖湘學派)의 이발(已發)위주의 수양법(修養法)에서 도남학파(道南學派)의 미발(未發)위주의 수양법(修養法)으로 바뀐 것을 의미한다. 이렇듯 완벽해 보이는 주자(朱子)의 중화설(中和說)은 조선(朝鮮)에 들어와서 16세기 율곡(栗谷)과 우계(牛溪)의 논쟁을 통해, 17세기 우암(尤庵)과 우헌(寓軒)의 논쟁을 통해, 18세기 남당(南塘)과 외암(巍巖)의 호락논쟁(湖洛論爭)을 통해 다시 논의된다. 주자(朱子)의 중화설(中和說)은 미비점을 가지고 있었기 때문에 위와 같은 논쟁을 겪게 된 것이다. 이러한 논쟁은 주자(朱子)의 중화설(中和說)이 미비점을 안고 있기 때문에 벌어진 논쟁이다.

고봉(高峯)의 성리학(性理學)과 수양론(修養論) (Kobong(高峯)'s Philophy and the theory of Self-cultivation(修養))

  • 강희복
    • 한국철학논집
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    • 제31호
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    • pp.33-52
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    • 2011
  • 이 논문에서는 퇴계(退溪) 이황(李滉)(1501-1570)과 함께 16세기 조선의 성리학을 이해하는데 있어 중요한 인물인 고봉(高峯) 기대승(奇大升)(1527-1572)의 사상에 관하여, 수양(修養)의 문제를 중심으로 이해해보았는데, 이런 논의를 위하여 고봉의 "주자문록(朱子文錄)"의 구성과 특징 및 사단칠정(四端七情)의 문제에 관한 견해도 함께 살펴보았다. 유학은 인학(仁學)(성학(聖學))이며, 이런 유학(儒學)의 문제는 근원 주체 관계로 요약해 볼 수 있고, 수양(修養)란 하늘과 사람의 관계 및 나와 너의 관계 속에서, 삶의 주체(主體)로서의 나를 변화시키는 것이라고 할 수 있다. "주자문록(朱子文錄)"은 고봉이 퇴계와 사단칠정(四端七情)의 문제에 관하여 논변(論辯)하기 이전(1557년, 31세)에 주자학(朱子學)을 어떻게 이해하였는가를 알 수 있는 중요한 자료이며, 주자의 사상 가운데에서 수양(修養)를 지향하는 심성설(心性說)의 소개에 가장 큰 비중을 두었으며, 퇴계의 "주자서절요(朱子書節要)"와 비교해볼 때 고봉의 "주자문록(朱子文錄)"은 문집 전체에서 시(詩)를 제외하고 다양한 자료들을 보다 종합적으로 소개하고 있다고 할 수 있다. 퇴계(退溪)와 고봉(高峯)는 약 8년 동안(1559-1566)에 걸쳐 편지를 통하여 인간의 본성의 문제(정(情)과 선악(善惡)의 문제)에 관하여 논쟁하였는데, 퇴계(退溪)는 사단(四端)과 칠정(七情)을 질적 차이가 있는 감정(이기호발(理氣互發) 칠정대사단(七情對四端))으로 이해하였고 고봉(高峯)는 사단(四端)과 칠정(七情)을 부분과 전체의 관계(이기공발(理氣共發) 칠정포사단(七情包四端))로 이해하였는데, 사단(四端)과 칠정(七情)이 이발(理發)인가 기발(氣發)인가에 관한 논의는 개념에 관한 논리적 분석이나 이론적 타당성의 문제로만 끝나는 것이 아니 결국은 체인(體認) 확충(擴充)과 성찰(省察) 극치(克治)를 내용으로 하는 수양(修養)의 문제로 귀결될 수밖에 없다고 생각한다. 이제까지 사단칠정론(四端七情論)을 중심으로 하는 성리학(性理學)과 "논사록(論思錄)"을 중심으로 하는 경세론(經世論)에 관한 연구는 많이 이루어졌지만, 그의 수양론(修養論)에 관한 연구는 많지 않다. 퇴계(退溪)와 율곡(栗谷)은 고봉이 수렴(收斂)의 공부가 부족하고 조존천리(操存踐履)의 공(功)이 없다고 하였다. 고봉은 "이심법설(移心法說)"과 "삼해(三解)"에서 마음(심(心)) 그리고 경(敬)과 성(誠)에 관하여 다음과 같이 말하였다. 마음(심(心))은 몸(신(身))을 주재하며, 활물(活物)로서 광명동철(光明洞徹)하여 온갖 이치를 모두 갖추고 있으며, 성(性)(체(體))과 정(情)(용(用))을 포함한다. 마음(심(心))은 배(주(舟))와 같고 경(敬)은 키(타(?))와 같으니, 배가 파도에 있을 때에는 키로써 움직이며 마음이 물욕(物欲)에 있을 때에는 경(敬)으로써 변화시킬 수 있다. 그런데 성인(聖人)과 중인(衆人)이 동정(動靜)할 때에 성(性)을 온전히 하기도 하고 해치기도 하는 것은 경(敬)과 사(肆) 혹은 성(誠)과 위(僞)의 차이에 불과할 뿐이며, 성인의 도(道)로서의 경(敬)(주일무적(主一無適))을 통하여 하늘의 도(道)로서의 성(誠)(진실무망(眞實無妄))을 이룰 수 있는데, '심사명변(審思明辨)'하여 스스로 힘써 그치지 않는 것이 '사성지실(思誠之實)'이라면 정제엄숙(整齊嚴肅)하고 삼가하고 스스로 잘 지키는 것은 '주경지실(主敬之實)'이라고 할 수 있다. 그리고 고봉은 책을 읽을 때는 언어와 문자에 집착하지 말고 옛사람의 마음을 보아야 하며, 마음으로 견득(見得)해서 삶 속에서 체인(體認)을 해야 한다고 하면서, "학(大學)"의 삼강령(三綱領) 팔조목(八條目)과 "중용(中庸)"의 중화(中和)에 관하여도 시(詩)를 썼다. 이렇게 볼 때 고봉(高峯)은 유학의 수기(修己)(명명덕(明明德))와 안인(安人)(신민(新民))을 전제로, 신(新)유학(儒學)(주자학(朱子學))의 인간관(심(心) 성(性) 정(情)/미발(未發) 이발(已發)/체(體) 용(用))과 수양론(거경궁리(居敬窮理)/정제엄숙(整齊嚴肅) 주일무적(主一無適)/경(敬) 성(誠))을 충실하게 따르며 나름대로 실천하려고 노력하였다고 할 수 있을 것이다.

장현광 성리설의 연원에 대한 고찰 - 나흠순 성리설과의 관련을 중심으로 - (A Study on the sources of Jang Hyeongwang's Theories of Li and Ch'i)

  • 김용헌
    • 동양고전연구
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    • 제41호
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    • pp.7-35
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    • 2010
  • 나흠순의 이기일물론과 인심도심성정설은 장현광의 성리설 형성에 많은 영향을 끼친 것으로 평가되어 왔다. 장현광의 경위설은 리기불상리의 원칙에 충실하다는 점이 두드러지는데, 이는 나흠순의 이기일물설과 일맥상통하는 점이 없지 않다. 그러나 장현광의 이기경위설은 나흠순의 이기일물설과 근본적인 차이가 있다. 첫째, 장현광이 리와 기가 두 가지 존재가 아님을 강조한 것은 사실이지만 그의 이론체계에서 리와 기는 내용적 일치의 관계에 있지 않다. 둘째, 장현광의 철학체계에서 최고 범주는 어디까지나 리라는 점이다. 그의 이기론이 지닌 이러한 특징은 나흠순의 이기설에서 찾아보기 어려운 면모이다. 장현광이 도심을 성, 인심을 정으로 본 것은 나흠순의 인심도심성정설의 영향이 분명하다. 다만 그는 체는 용을 겸할 수 있다는 논리로 도심이 미발뿐만 아니라 이발도 겸한다는 논리를 펼쳤기 때문에 그의 인심도심설이 나흠순의 설의 단순한 답습이라고 하기 어렵다. 더욱이 공과 사를 기준으로 도심과 인심을 구분한 인심도심공사설은 인심과 도심을 모두 이발의 정 층위에서 이해했다는 점에서 나흠순의 인심도심성정설과는 차원을 달리한다. 그렇다면 장현광 성리설의 형성을 어떻게 보아야 할까? 한 마디로 장현광의 철학이론은 호발설을 비판하는 맥락에서 형성되었다고 할 수 있다. 그의 주된 철학적 관심사는 리(사단 도심)와 기(칠정 인심)를 두 근본으로 여기는 학설을 비판하고 리와 기를 하나로 통합하는 철학 체계를 수립하는 것이었다. 결국 리기경위설로 대표되는 그의 성리설은 당시 조선유학계의 학문적 상황에 대한 고민의 산물이었다는 결론이 가능하다.

주단계(朱丹溪)와 장경악(張景岳)의 상화론(相火論)에 관한 비교(比較) 연구(硏究)

  • 김기욱;박현국
    • 대한한의학원전학회지
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    • 제19권4호
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    • pp.12-26
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    • 2006
  • 유하간(劉河間), 주단계적학설전파이후(朱丹溪的학說전播以后), 인위명대모사의가용약적시후편중고한(因위明代某些의家用葯的時候偏重苦寒), 소이도치료상비위이극벌진양적폐두(所以도致了상脾胃而克伐眞陽的弊두). 종이위료교정착오(종而위了교正착오), 형성료주장온보적온보학파(形成了主張溫보的溫보學派). 설기(설己), 손일규(孫一圭), 張景岳等溫보학파강조주재생명적비위(張景岳等溫보學派强凋主宰生命的脾胃), 신명양기(腎命陽氣), 재변증론치방면입족우선(在辨證論治方面立足于先), 후천(後天), 중시비여신(重視脾與腎), 선용료감온적약물(善用了甘溫的藥物). 저대우교정착오기착극대적작용(저대于교正錯오起着極大的作用), 동시논증(同時논증), 이론전개상비위여신명이주제공탁료(理론展개上脾胃여腎命以主제공托了), 우기후자가심료명문학설적연구(尤其后者加深了命門학설的硏究). 장경악활동적명대시이주자학위국책적(張景岳活동的明代是以朱子學위國策的), 구비사변성적철(具비思辨性的哲) 학배영상(학背영上), 추상(推想)"리(理)"이발휘의(而발휘의) 학이론(학理론). 우시저시기의가문입족우(于是저시期의家門立足于) "황제내경(黃帝內經)" 여연기론진행료기초이론화임상연구(여연氣論진行了基초理론和임床硏究), 경악통과편찬(景岳通과編찬) "내경(內經)"이저작(而著作)"류경(類經)"등(等), 근거자기적임상실험(根据自己的임床실험), 제출료온보학설(提出了溫보학설). 타쟁론적초점시자기제출적(他爭론的焦点是自己提出的)"음부족론(음不足론)". 침대전현적쟁론상(침대前현的爭론上), 경악이하간여범계위대상경(岳以河間여凡溪위대象). "경악전서(景岳全書)" 지운(之云): "양자유하간출(襄自劉河間出), 이서화입론(以署火立論), 전용한량벌차양기(專用寒凉伐此陽氣), 기해이심(其害已甚), 뢰동원선생비위지화필수온양(賴東垣先生脾胃之火必須溫養), 연상미능진척일편지류(然尙未能盡斥一偏之謬), 이단계복출(而丹溪復出), 우입음허화동지론(又立陰虛火動之論) ...... 한량지폐우복성행(寒凉之弊又復盛行), 부선수기해자기거이불반(夫先受其害者旣去而不返), 후습이용자유미이불오(後習而用者猶迷而不悟)", 지분료하간여단계시(指분了河間여丹溪是)"헌기지마(軒岐之魔)". 저사주장현출독특적유해저(些主장현出독特的유解), 이대후대학설발전적봉헌(以대后代학설발展的奉헌). 경악침대단계적"양상유여(景岳침대丹溪的)"양상유여(陽常有餘), 음상부족(陰常不足)", "기유여변시화(氣有餘便是火)", 설성(설成)"양비유여(陽非有餘), 진양부족(眞陽不足)", "기부족변시한(氣不足便是寒)", "상화부시사화(相火不是邪火)", 대단계학설견지료비판적입장(대丹溪학설堅持了批判的立장). 단계제출(丹溪提出)"양음설(養陰說)"이수립음허화왕적병기이론(而수立陰虛火旺的病機理론), 타적(他的)'양유여음부족론(陽有餘陰不足論)'상(上), '음(陰)'주요지생식물질(主要指生殖物질), "양(陽)"지정욕(指情欲). 가시중심사상시강조생리적양생(可是中心思想是强조生理的양생), 몰수립실제(沒수立실제)'음허화왕(陰虛火旺)'적병기(的病機). 취시장경악실재완성료저사병기(就是張景岳실在完成了저些病機). 경악재(景岳在) "진음론(眞陰論)" '장형질설성진양적상(將形질설成眞陽的象), 이명문위기(以命문위其)', 용(用)"개부족(皆不足)"해석질병(解석질病), 이익화(以益火) 장수이론위치법(장水理론위治法). 이차제조좌우귀환(而且制造左右歸丸) 음이귀납료치료방법(飮以귀納了治료方法), 발휘진음(발휘眞陰), 진양학설이구조유계통적이론(眞陽學說而구造有系統的理론). 저양위의가적쟁론핵심리유상화론(저兩位의家的爭론核心里有相火論), 논자상교연구타문적이론이보고기결과(논者相교硏究他문的理론而보告其結果).

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코발트 실리사이드 접합을 사용하는 0.15${\mu}{\textrm}{m}$ CMOS Technology에서 얕은 접합에서의 누설 전류 특성 분석과 실리사이드에 의해 발생된 Schottky Contact 면적의 유도 (Characterization of Reverse Leakage Current Mechanism of Shallow Junction and Extraction of Silicidation Induced Schottky Contact Area for 0.15 ${\mu}{\textrm}{m}$ CMOS Technology Utilizing Cobalt Silicide)

  • 강근구;장명준;이원창;이희덕
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제39권10호
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    • pp.25-34
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    • 2002
  • 본 논문에서는 코발트 실리사이드가 형성된 얕은 p+-n과 n+-p 접합의 전류-전압 특성을 분석하여 silicidation에 의해 형성된 Schottky contact 면적을 구하였다. 역방향 바이어스 영역에서는 Poole-Frenkel barrier lowering 효과가 지배적으로 나타나서 Schottky contact 효과를 파악하기가 어려웠다. 그러나 Schottky contact의 형성은 순방향 바이어스 영역에서 n+-p 접합의 전류-전압 (I-V) 동작에 영향을 미치는 것으로 확인되었다. 실리사이드가 형성된 n+-p 다이오드의 누설전류 증가는 실리사이드가 형성될 때 p-substrate또는 depletion area로 코발트가 침투퇴어 Schottky contact을 형성하거나 trap들을 발생시켰기 때문이다. 분석결과 perimeter intensive diode인 경우에는 silicide가 junction area까지 침투하였으며, area intensive junction인 경우에는 silicide가 비록 공핍층이나 p-substrate까지 침투하지는 않았더라도 공핍층 근처까지 침투하여 trap들을 발생시켜 누설전류를 증가시킴을 확인하였다. 반면 p+-n 다이오드의 경우 Schottky contact이발생하지 않았고 따라서 누설전류도 증가하지 않았다. n+-p 다이오드에서 실리사이드에 의해 형성된 Schottky contact 면적은 순방향 바이어스와 역방향 바이어스의 전류 전압특성을 동시에 제시하여 유도할 수 있었고 전체 접합면적의 0.01%보다 작게 분석되었다.