• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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• pp.191-192
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• 2010

높은 유전상수를 가지는 터널 장벽물질 들은 플래쉬메모리 및 나노 부유게이트 메모리 소자에서 터널의 두께 및 밴드갭 구조의 변형을 통하여 단일층의 $SiO_2$ 터널장벽에 비하여 동작속도를 향상시키고 누설전류를 줄이며 전하보존 특성을 높여줄 수 있다.[1-3] 본 연구에서는 $Al_2O_3/HfO/Al_2O_3$구조의 고 유전체 터널장벽을 사용하여 $WSi_2$ 나노입자를 가지게 되는 metal-oxide-semiconductor(MOS)구조의 커패시터를 제작하여 전기적인 특성을 확인하였다. p형 (100) Si기판 위에 $Al_2O_3/HfO/Al_2O_3$ (AHA)의 터널장벽구조를 원자층 단일 증착법을 이용하여 $350^{\circ}C$에서 각각 2 nm/1 nm/3 nm 두께로 증착시킨 다음, $WSi_2$ 나노입자를 제작하기 위하여 얇은 $WSi_2$ 박막을 마그네트론 스퍼터링법으로 3 - 4 nm의 두께로 증착시켰다. 그 후 $N_2$분위기에서 급속열처리 장치로 $900^{\circ}C$에서 1분간의 열처리과정을 통하여 AHA로 이루어진 터널 장벽위에 $WSi_2$ 나노입자들이 형성할 수 있었다. 그리고 초 고진공 마그네트론 스퍼터링장치로 $SiO_2$ 컨트롤 절연막을 20 nm 증착하고, 마지막으로 열 증기로 200 nm의 알루미늄 게이트 전극을 증착하여 소자를 완성하였다. 그림 1은 AHA 터널장벽을 이용한 $WSi_2$ 나노 부유게이트 커패시터 구조의 1-MHz 전기용량-전압 특성을 보여준다. 여기서, ${\pm}3\;V$에서 ${\pm}9\;V$까지 게이트전압을 점차적으로 증가시켰을 때 메모리창은 최대 4.6 V로 나타났다. 따라서 AHA의 고 유전체 터널층을 가지는 $WSi_2$ 나노입자 커패시터 구조가 차세대 비 휘발성 메모리로서 충분히 사용가능함을 보였다.

• 세라미스트
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• 제12권3호
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• pp.98-107
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• 2009

• 공기청정기술
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• 제20권1호통권76호
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• pp.57-65
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• 2007

• E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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• 제17권4호
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• pp.32-39
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• 2004

차세대 신기술로 부상하고 있는 나노바이오 기술(Nano-Bio Technology)은 10억분의 1이라는 정밀도를 바탕으로 원자나 분자를 조작해 새로운 물질을 만들고 시스템을 창조하는 나노기술(Nanotechnology : NT)과 생명현상을 연구 대상으로 하는 바이오 기술 (Biotechnology : BT)이 융합된 분야이다. 근본적으로 무기물을 다루는 NT와 생명체를 다루는 BT가 융합할 수 있는 것은 BT의 궁극적인 연구대상인 DNA, RNA, 단백질의 크기가 수 나노미터로 NT의 연구대상의 크기와 동일하다는 데에 있다.(중략)

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2012년도 춘계학술발표회 논문집
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• pp.243-244
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• 2012

산화아연 나노구조를 금을 금속촉매로 사용하여 실리콘 기판위에 기상이동법으로 성장하였다. 성장할 때 소스(source)와 기판 사이의 거리는 5에서 50 mm로 변화를 주며 아르곤과 산소 분위기에서 $900^{\circ}C$로 성장하였다. 산화아연 나노구조의 구조적 및 광학적 특성을 조사하기 위해 field-emission scanning electron microscopy, X-ray diffraction (XRD), 그리고 photoluminescence (PL)를 이용하였다. 산화아연 나노구조는 나노선과 나노입자의 형태로 성장하였다. 산화아연 나노구조의 광학적 특성은 소스와 기판사이의 거리가 가까울수록 향상되었다. 특히, 소스와 기판사이의 거리가 5 mm 일 때, 산화아연 나노선이 관찰되었으며 XRD 와 PL 분석에서 나타난 반가폭 (full width at half maximum)은 $0.061^{\circ}$ 와 96 meV로써 가장 작았다. 산화아연 나노선은 산화아연 나노입자와 비교하여, 결정성 및 광학적 특성이 우수하였다.

• 폴리머
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• 제37권4호
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• pp.462-469
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• 2013

Catechin(CTEC)은 천연항산화제로 알려져 있고 항염증에 효과적이며 피부 창상치료제로 응용되고 있다. 이 연구는 ${\beta}$-cyclodextrin(${\beta}$-CD)으로 나노입자화한 CTEC을 poly(vinyl alcohol)(PVA)/pectin(PT) 조성의 하이드로젤에 첨가하였다. 피부상처의 재상피화를 위해 CTEC과 ${\beta}$-CD을 분자복합(molecular complex) 방법에 의해 나노입자 제조를 수행하였다. 하이드로젤에 첨가된 CTEC 나노입자는 $250{\pm}17.5$ nm이며, 입자 내 CTEC의 담지 효율은 처음첨가량의 74%가 담지되었음을 확인하였다. CTEC는 하이드로젤 필름으로부터 pH7.4와 pH5.5 버퍼에서 72시간 동안 각각 $86.51{\pm}3.14%$와 $35.95{\pm}2.14%$의 방출을 보였다. 창상치료 실험에서 CTEC 나노입자가 적재된 PVA/PT 조성의 하이드로젤은 CTEC이 함유된 도포형 젤보다 빠른 치유력을 관찰할 수 있었다.

• 공업화학
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• 제18권4호
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• pp.396-399
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• 2007

본 연구에서는 질산은 용액을 감마선 조사에 의하여 은나노 입자를 제조한 후, 이것을 활성탄과 혼합하여 은/활성탄 복합체를 제조하여 대장균에 대한 항균특성을 조사하였다. 제조된 은/활성탄 복합체의 특성은 주사전자현미경, X-선 회절법 그리고 원자흡수분광법에 의해 알아보았다. 은/활성탄 복합체의 대장균에 대한 억제농도는 0.387 ppm으로 나타났으며 대장균에 대한 사멸농도는 1.017 ppm이었다. 이 결과로 은/활성탄 복합체의 대장균에 대한 우수한 항균효과를 확인할 수 있었다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.933-934
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• 2009

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2007년도 하계학술발표회 논문집
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• pp.105-106
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• 2007

• 한국환경과학회:학술대회논문집
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• 한국환경과학회 2018년도 정기학술대회 발표논문집
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• pp.83-83
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• 2018