• 제목/요약/키워드: 유해 가스

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반도체 금속산화물을 이용한 NH$_3$센서의 제조에 관한 연구 (Research about manufacture of NH$_3$ sensor that use semiconductor metal oxides)

  • 김한수;김선태;이철효;김헌;한상도
    • 한국대기환경학회:학술대회논문집
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    • 한국대기환경학회 2002년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.123-124
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    • 2002
  • 최근 인간의 생활환경에 존재하는 유해가스 및 대기환경에 대한 관심이 고조되면서 환경유해가스를 손쉽게 감지할 수 있는 센서의 필요성이 중요하게 인식되고 있다. 그 중 암모니아 가스는 생활환경 내에 존재하는 악취성분일 뿐만 아니라 냉각기의 냉매로 사용되는 가스로써 대기 중 배출허용농도가 50ppm으로 알려져 있다. (중략)

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유해가스 처리를 위한 Confined Plasma Source 개발 (Development of Confined Plasma Source for Hazardous Gas Treatment)

  • 윤용호
    • 한국인터넷방송통신학회논문지
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    • 제20권3호
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    • pp.135-140
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    • 2020
  • 반도체 공정에서 필수적인 공정가스가 유해가스이기 때문에 이를 친환경적으로 해결하는 것이 필수과제이다. 현재 반도체 공정에서 사용되는 세정기술은 대부분이 1970년대 개발된 과산화수소를 근간으로 하는 습식 세정으로, 표면의 입자를 제거하기 위한 SC-1 세정액은 암모니아와 과산화수소 혼합액을 사용하고 있다. 따라서 환경적 문제를 유발하며, 또한 과도한 용수 사용으로 인한 경제적 문제도 심각하다. 이러한 이유로 본 연구를 통한 개발 제품은 챔버 출구에서 나오는 공정 유해가스를 진공펌프에 입력되기 전 가스를 분해하여 해가 없는 가스로 만들거나 소각과 동시에 펌프에 가스의 성분이 증착되어 반도체 공정의 환경적 문제를 해결하고자 한다. 본 논문에서는 반도제 공정에서 필수 불가결하게 사용되는 유해가스(N2, CF4, SF6⋯. 등)를 사람에게 무해한 가스로 치환하거나 플라스마로 소각하여 환경을 살리고 생산성 향상이 되도록 제안된 CPS (Confined Plasma Source)를 연구하고자 한다.

무선 센서 네트워크를 통한 실시간 항공기 유해가스 감지 임베디드 시스템 개발 (Development of Real time Aircraft harmful gas detecting Emebedded system through wireless sensor network)

  • 최원혁;지민석
    • 한국항행학회논문지
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    • 제17권6호
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    • pp.672-678
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    • 2013
  • 본 논문에서는 최근 정보통신 기술의 발전으로 인해 IT와 전통산업 간의 융합 기술을 적용한 응용서비스가 대두되고 이를 이용한 유해가스 감지 응용서비스로 자동 및 원격으로 항공기내환경을 모니터링하여 제어하고 유지 관리할 수 있는 무선 센서 네트워크기반의 유해가스환경 감지시스템에 대해 활발하게 논의되고 있다. 본 논문에서는 유해가스를 측정하여 모니터링 장치로 전송하는 무선 센서 네트워크센서노드, 센서노드로부터 수집한 데이터를 취합하고 디스플레이 및 서버로 환경정보를 전송하는 모니터링 관리장치와 또한 원격 모니터링을 위한 PC/스마트폰 기반 사용자 운용프로그램으로 구성하여, 항공기내에서 발생하는 유해가스 가스를 측정하고, 모니터링하는 무선 센서 네트워크기반의 실시간 모니터링 시스템을 설계하고 구현한다.

유해가스 흡착용 이온교환 부직포의 합성 및 흡착특성

  • 양갑석;김민
    • 한국산업안전학회:학술대회논문집
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    • 한국안전학회 2003년도 추계 학술논문발표회 논문집
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    • pp.160-163
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    • 2003
  • 산업시설의 급속한 팽창과 더불어 날로 증가하는 환경오염 문제는 대기 배출오염원과 그 종류가 다양해지고 있어 점차 인체에 유해한 대기 오염이 중요한 사회적 문제가 되고 있다. 오염물질 중 암모니아를 포함한 유해 가스는 화학공정에서 뿐만 아니라 양돈양계장, 비료공장, 사료제조공장, 분뇨처리장 등으로 그 발생원이 다양하며 질소를 함유한 유기물이 생물학적으로 분해될 때 생성된다.(중략)

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가스화용융(熔融) 실증 시스템에서 HFC-134a 냉매분해(冷媒分解) 특성(特性) 연구(硏究) (Destruction of HFC-134a Refrigerant in Gasification-melting Demonstration System)

  • 정대성;홍병권;김우현;노선아
    • 자원리싸이클링
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    • 제21권4호
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    • pp.69-75
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    • 2012
  • 본 연구는 가스화용융 시스템을 활용한 폐차 냉매의 친환경 파괴 기술개발을 목표로 하였다. 실증규모(생활폐기물 100톤/일) 가스화용융 시스템내 냉매를 주입할 수 있는 주입장치를 개발 및 제작하였으며, HFC-134a 주입량에 따른 냉매 분해효율 및 유해가스 특성을 고찰하였다. 분해효율은 3 kg/hr 냉매 주입시 99.995%이었고, 18시간 동안 유해가스 연속 측정 및 샘플링 측정결과, CO, SOx, NOx, HCl, HF 등의 유해가스는 환경법규를 만족하였고, 특히 냉매파괴 발생 HF는 0.1 ppm으로 법적 기준치 2ppm에 비해 미량으로 검출되었다.

축산생육환경 유해가스 모니터링을 위한 무선가스측정시스템 개발 (Development of Gas Measurement System for the Harmful Gases at Livestock Barn)

  • 김영웅;백승현;박홍배
    • 전자공학회논문지
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    • 제49권9호
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    • pp.314-321
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    • 2012
  • 축산생육환경에서 다양한 경로로부터 발생하는 유해가스는 가축 및 농가작업자에게 직/간접 적으로 영향을 미칠 수 있으며, 점차적인 사육조밀화와 동절기 밀폐환경에 장기간 노출 시 치명적일 수 있다. 본 논문에서는 가축분뇨로부터 발생하는 암모니아, 황화수소, 휘발성유기화합물 가스 등을 모니터링하기 위해 무선가스센서노드와 퍼지 최소-최대 신경회로망을 이용한 가스인식 소프트웨어로 이루어진 가스측정시스템을 제안한다. 제안한 시스템의 성능을 평가하기 위해 가스측정실험환경을 구축하여 제작한 무선가스센서노드로 가스측정실험을 수행하고, 개발한 가스인식 소프트웨어로 대상가스 분류시험을 통해 성능을 입증한다.

도시형 식물공장 시스템의 탄산가스 변화 및 유해가스 거동분석 (Analysis of Carbon Dioxide Exchange and Toxic Gas Behavior in the Urban-Type Plant Factory System)

  • 박종석;손정익;박한영
    • 한국생물환경조절학회:학술대회논문집
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    • 한국생물환경조절학회 1998년도 임시총회 및 학술논문발표요지
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    • pp.69-72
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    • 1998
  • 도시환경은 다양한 형태로 발생되는 공해로 인해 악화되고 있으며 이러한 환경은 인간의 건강을 위협하며, 도시뿐 아니라 주변지역으로의 환경파괴를 가속시키고 있다. 도시 내에서 발생하는 탄산가스, 폐열 등의 인간에게 유해한 물질을 농업으로 전환시켜 농업생산에 이용하는 것은 필요하다고 할 수 있다. 도시내의 잉여 이산화탄소를 이용하여 식물을 생산하고 식물재배공간으로부터 나오는 신선한 공기를 인간이 이용하는 도시형 식물공장의 개념은 환경과 생산의 두 가지 측면을 가지고 있다. (중략)

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자동차에서 배출되는 VOCs 배출특성에 관한 연구 (A Study on the Characteristics of VOCs Exhausted from Motor Vehicles)

  • 임철수;엄명도;류정호;유영숙;이상보;선우영
    • 한국대기환경학회:학술대회논문집
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    • 한국대기환경학회 2001년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.77-78
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    • 2001
  • 자동차는 차종, 차령 및 사용연료에 따라 매우 다양한 배출가스를 발생시키며 이러한 물질 중 CO, HC, NOx, PM 등은 배출가스 허용기준에 따라 규제되고 있다. 반면에 미량유해물질로서 자동차 배출가스에는 알데히드, PAHs, VOCs등은 인체위해성 및 대기중 오존생성원인물질로서 대기오염에 미치는 영향이 강조되고 있다. 본 연구에서는 자동차에서 배출되는 이들 물질중 VOCs 배출특성을 파악하여 배출 허용기준을 마련하기 위한 기초자료로서 이용하고, 이러한 결과를 토대로 미량유해물질에 대한 대기오염 관리대책을 마련하는데 기여하고자 하였다. (중략)

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