• Title/Summary/Keyword: 유도결합형

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자화된 $SF_6$ 유도결합형 플라즈마를 이용한 SiC 식각 특성에 관한 연구

  • 이효영;김동우;박병재;염근영
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2003.05a
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    • pp.14-14
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    • 2003
  • Silicon carbide (SiC)는 높은 power 영역과 높은 온도영역에서도 작동 가능한 우수한 반도체 물질이다. 또한 우수한 열적 화학적, 안정성을 가지고 있어 가흑한 조건에서의 소자로써도 사용 가능하다. 현재 SiC 적용분야로는 우수한 전기적, 기계적 성질을 이용한 미세소자(MEMS)와 GaN 와 거의 유사한 격자상수를 가지는 것을 이용한 GaN epitaxial 성장의 기판으로도 사용되어진다. 그러나 SiC 는 기존의 습식식각 용매에 대해 화학적 안정성을 가지고 있기 때문에 전자소자의 제작에 있어서 플라즈마를 이용한 건식식각의 중요성이 대두되어지고 있다. 소자제작에 있어 이러한 건식식각시 식각 단면의 제어, 이온에 의한 낮은 손상 정도, 매끄러운 식각 표면, 그리고 고속의 식각 속도둥이 요구되어진다. 본 실험에서는 식각 속도의 증가와 수직한 식각 단면둥을 획득하기 위하여 SF6 플라즈마에서 Source power, dc bias voltage, 그리고 외부에서 인가되는 자속의 세기를 변화시쳐가며 식각 속도, 식각 마스크와의 식각 션택비, 식각 단면둥과 같은 SiC 의 식각 특성을 관찰하였다. 식각 후 식각 단면은 주사전자 현미경(SEM)을 통해 관찰하였다. 본 실험에서의 가장 높은 식각 속도는 분당 1850n 로써 이때의 공정조건은 1400W 의 inductive power, -600V 의 dc bias voltage, 20G 의 외부자속 세기이었다. 또한, 높은 inductive power 조건과 낮은 dc bias voltage 조건에서 Cu는 $SF_6$ 플라즈마 내에서 식각부산물의 증착으로 인해 SiC 와 무한대의 식각선택비를 보였다. 이러한 Cu 마스크를 사용한 SiC 의 식각에서는 식각 후 수직한 식각 단변을 관찰할 수 있었다. 것올 알 수 있다. 따라서, 기존의 pve 보다 세라믹 기판의 경우가 수분 흡수율이 높아 더 오랫동안 전류를 흐르게 하여 방식성이 개선된 것으로 판단된다.을 통해 경도가 증가한 시편의 경우 석출상의 크기가 5nm 이하로 매우 작고 대체로 기지와 연속적인 계면을 형성하나, 열처리가 진행될수록 석 출상의 크기가 커지고 임계크기 이상에 이르면 연속적인 계면은 거의 발견되지 않고, 대부 분 불연속적이고 확연한 계면을 형성함을 관찰 할 수 있었다. 알루미나(${\alpha}-Al_2O_3$) 기판 위에 증착한 $(Ti_{1-x}AI_{x})N$ 피막은 마찬가지로 (200) 우선 방위를 나타내었으나, 그 입자의 크기가 수십 nm로 고속도강위에 증착한 피막에 비해 상당히 크게 형성되었다. 또한 열처리 후에 AIN의 석출이 진행됨에도 불구하고 경도 증가는 나타나지 않고, 열처리가 진행됨에 따라 경도가 감소하는 양상만을 나타내었다. 결국 $(Ti_{1-x}AI_{x})N$ 피막이 열처리 전후에 보아는 기계적 특성의 변화 양상은 열역학적으로 안정한 Wurzite-AlN의 석출에 따른 것으로 AlN 석출상의 크기에 의존하며, 또한 이러한 영향은 $(Ti_{1-x}AI_{x})N$ 피막에 존재하는 AI의 함량이 높고, 초기에 증착된 막의 업자 크기가 작을 수록 클 것으로 여겨진다. 그리고 환경의 의미의 차이에 따라 경관의 미학적 평가가 달라진 것으로 나타났다.corner$적 의도에 의한 경관구성의 일면을 확인할수 있지만 엄밀히 생각하여 보면 이러한 예의 경우도 최락의 총체적인 외형은 마찬가지로 $\ulcorner$순응$\lrcorner$의 범위를 벗어나지 않는다. 그렇기 때문에

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Linearly Polarized 1-kW 20/400-㎛ Yb-doped Fiber Laser with 10-GHz Linewidth (선편광된 10 GHz 선폭의 1 kW급 20/400-㎛ 이터븀 첨가 광섬유 레이저)

  • Jung, Yeji;Jung, Minwan;Lee, Kangin;Kim, Taewoo;Kim, Jae-Ihn;Lee, Yongsoo;Cho, Joonyong
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.32 no.3
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    • pp.120-125
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    • 2021
  • We have developed a linearly polarized high-power Yb-doped fiber laser in the master oscillator power amplifier (MOPA) scheme for efficient spectral beam combining. We modulated the phase of the seed laser by pseudo-random binary sequence (PRBS), with the bit length optimized to suppress stimulated Brillouin scattering (SBS), and subsequently amplified seed power in a 3-stage amplifier system. We have constructed by coiling the polarization-maintaining (PM) Yb-doped fiber, with core and cladding diameters of 20 ㎛ and 400 ㎛ respectively, to a diameter of 9-12 cm for suppression of the mode instability (MI). Finally, we obtained an output power of 1.004 kW with a slope efficiency of 83.7% in the main amplification stage. The beam quality factor M2 and the polarization extinction ratio (PER) were measured to be 1.12 and 21.5 dB respectively. Furthermore, the peak-intensity difference between the Rayleigh signal and SBS signal was observed to be 2.36 dB in the backward spectra, indicating that SBS is successfully suppressed. In addition, it can be expected that the MI does not occur because not only there is no decrease in slope efficiency, but also the beam quality for each amplified output is maintained.

Performance Evaluation of Multi-User Detectors Employing Subtractive Interference Cancellation Schemes for a DS-CDMA System (감산형 간섭제거기법을 적용한 DS-CDMA 다중사용자 검파기의 성능분석)

  • Seo, Jung-Wook;Kim, Young-Chul;Oh, Chang-Heon;Ko, Bong-Jin;Cho, Sung-Joon
    • Journal of Advanced Navigation Technology
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    • v.6 no.1
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    • pp.17-26
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    • 2002
  • In this paper, we have analyzed the BER (Bit Error Rate) performance of multi-user detectors employing SIC(Successive Interference Cancellation) and PIC (Parallel Interference Cancellation) which are the representative schemes in the subtractive interference cancellation. We have considered the MUD structure employing HIC (Hybrid Interference Cancellation) which combines SIC with PIC scheme, and then analyzed the BER performance. We have evaluated the BER performance of SIC and HIC schemes which execute the soft decision to generate the tentative data bit for the purpose of the interference cancellation in MAI and noise environments. Through the numerical analysis and computer simulation, it is shown that HIC can remove the effect of MAI more efficiently than the others, that improve the BER performance and increase the capacity of DS-CDMA systems regardless of the power control conditions. The reason is that the SIC scheme in front of HIC can solve the near-far problem caused by the imperfect power control and PIC scheme in the rear of it can improve the performance much more.

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Analysis of MPEG-4 Encoder for Object-based Video (실시간 객체기반 비디오 서비스를 위한 MPEG-4 Encoder 분석)

  • Kim Min Hoon;Jang Euee Seon;Lee Sun young;Moon Seok ju
    • Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SP
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    • v.41 no.1
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    • pp.13-20
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    • 2004
  • In this paper, we have analyzed the current MPEG-4 video encoding tools and proposed efcient coding techniques that reduce the complexity of the encoder. Until recently, encoder optimization without shape coding has been a major concern in video for wire/wireless low bit rate coding services. Recently, we found out that the computational complexity of MPEG-4 shape coding plays a very important role in the object-based coding through experiments. We have made an experiment whether we could get optimized object-based coding method through successfully combining latest optimized texture coding techniques with our proposed optimized shape coding techniques. In texture coding, we applied the MVFAST method for motion estimation. We chose not to use IVOPF(Intelligent VOP Formation) but to use TRB(Tightest Rectangular Boundary) for positioning VOP and, finally, to eliminate the spiral search of shape motion estimation to reduce the complexity in shape coding. As a result of experiment, our proposed scheme achieved improved time complexity over the existing reference software by $57.3\%$ and over the optimized method on which only shape coding was applied by $48.7\%$, respectively.

A novel TIGBT tructure with improved electrical characteristics (향상된 전기적 특성을 갖는 트렌치 게이트형 절연 게이트 바이폴라 트랜지스터에 관한 연구)

  • Koo, Yong-Seo;Son, Jung-Man
    • Journal of IKEEE
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    • v.11 no.4
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    • pp.158-164
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    • 2007
  • In this study, three types of a novel Trench IGBTs(Insulated Gate Bipolar Transistor) are proposed. The first structure has P-collector which is isolated by $SiO_2$ layer to enhance anode-injection-efficiency and enable the device to have a low on-state voltage drop(Von). And the second structure has convex P-base region between both gates. This structure may be effective to distributes electric-field crowded to gate edge. So this structure can have higher breakdown voltage(BV) than conventional trench-type IGBT(TIGBT). The process and device simulation results show improved on-state, breakdown and switching characteristics in each structure. The first one was presented lower on state voltage drop(2.1V) than that of conventional one(2.4V). Also, second structurehas higher breakdown voltage(1220V) and faster turn off time(9ns) than that of conventional structure. Finally, the last one of the proposed structure has combined the two structure (the first one and second one). This structure has superior electric characteristics than conventional structure about forward voltage drop and blocking capability, turnoff characteristics.

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Comparison of the Properties of Almotriptan PVA Hydrogel Depending on the Ratio of PEG and Confirmation of Potential as Transdermal Formulation (PEG의 함량에 따른 알모트립탄 PVA 하이드로겔의 성질비교와 경피흡수형 제제로서의 가능성 확인)

  • Kang, Se Mi;Jung, Young Jin;Lee, Jae Ho
    • Journal of Life Science
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    • v.24 no.4
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    • pp.437-446
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    • 2014
  • Problems appear when triptans are taken orally. For example, the bioavailability of triptan is reduced by the digestive system, and the drug level in the blood reduces rapidly over time; there is also a possibility of gastrointestinal disorder. To improve side effects, a transdermal patch has been prepared in hydrogel form. The polymer matrix that makes up the hydrogel uses PVA; PEG is used as an additive to induce inter/intra hydrogen bonding of the PVA and almotriptan drug is added. In addition, to accelerate micro-phase separation between PVA chains, liquid nitrogen is used. In FT-IR analysis, the absorption bands of PVA, PEG, and almotriptan were found. The degree of crystallinity, the water uptake ability and tensile strength were increased with increasing PEG content. In drug release tests, the amount of drug released increased depending on the PEG content. In this study, hydrogels with 10 wt% PEG showed better performance in drug release. Approximately 60% of the total drug amount was released in 2 hr, and the drug continued to release for 1 day. Thus, the prepared hydrogel patch is suitable as a transdermal formulation for the second dose administration of triptans to patients who require recurrent migraine treatment within 24 hr after the first administration.

Resudual Stress Behavior and Characterization of Poly(urethane-imide) Crosslinked Networks (가교형 폴리우레탄이미드의 합성을 통한 잔류 응력 거동 측정 및 특성 분석)

  • Park, Mi-Hee;Yang, Seung-Jin;Jang, Wonbong;Han, Haksoo
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • v.43 no.2
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    • pp.305-312
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    • 2005
  • Poly(urethane-imide)s were prepared by reaction between crosslinkable endgroup containing soluble polyimide (PI) by chemical imidization and acrylate end-capped polyurethane (PU). Poly (amic acid) was prepared from 2,2'-bis(3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride (6FDA) and 4,4'-oxydianiline (ODA) and then end-capped with maleic anhydride (MA). The PU prepolymers were prepared by the reaction of polycaprolactone diol, tolylene 2,4-diisocyanate and end-capped with hydroxyl ethyl acrylate. The effect of PU content on the residual stress behavior, morphology and thermal property was studied. The poly(urethane-imide)s were characterized by thin film stress analyzer (TFSA), XRD, TGA and DMTA. Low residual stress and slope in cooling curve were achieved by higher PU content. Compared to typical polyurethane, these polymers exhibited better thermal stability due to the presence of the imide groups. Finally the residual stress of poly(urethane-imide)s was strongly affected by the morphological structure.

A study on the attribute of infotainment design (인포테인먼트 디자인의 개념 연구)

  • Oh, Byung-Keun
    • Archives of design research
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    • v.19 no.2 s.64
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    • pp.229-240
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    • 2006
  • It is very important issue in information design to improve information efficiency by adapting interesting factors in changing circumstance of information communication. The concept of infotainment is utilized in designing information contents in a way of combining entertainment factors with information itself based on various media and representation technologies. The information arousing user's attention, which includes interesting factors, is persuasive message comppared to the informative message conveying only information itself. The reason why infotainment is persuasive is because it makes the user absorb deeply in the information during the process of understanding by sensorial stimuli, cognitive interest, and situational interest. The sensorial stimuli originates from the expression elements of information design. The cognitive interest from the user's intellectual activities has a try to overcome mental block when user confronts with the redundant expression in the manner of unexpectedness and inharmony. The situational interest originates from user's optimum experience by the flow of satisfaction. Therefore, the attribute of infotainment is defined with the stimuli, the redundancy, and user's satisfaction. Its design elements consist of physical factors, organizational factors, and psychological factors. The physical factors through sensorial stimuli are utilized by visual manipulation such as visual analogy or visual pun, multimedia, and moving expression. The organizational factors through redundant expression bring user's imagination by adapting storytelling, event, and interaction in the process of understanding information. The psychological factors through expression of entertainment interests such as humor, play, and game give users psychological satisfaction with the flow. In conclusion the concept of infotainment can be adapted when the design factors should be integrated with its attributes, or the conveying information should go well with its purpose and characteristics.

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a-SiGe:H 박막의 고상결정화에 따른 주요 결험 스핀밀도의 변화

  • 노옥환;윤원주;이정근
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2000.02a
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    • pp.78-78
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    • 2000
  • 다결정 실리콘-게르마늄 (poly-SiGe)은 태양전지 개발에 있어서 중요한 물질이다. 우리는 소량의 Ge(x=0.05)으로부터 다량의 Ge(x=0.67)을 함유한 수소화된 비정질 실리콘-게르마늄 (a-SiGe:H) 박막의 고상결정화 과정을 ESR (electron spin resonance)방법으로 조사해보았다. 먼저 PECVD 방법으로 Corning 1737 glass 위에 a-Si1-xGex:H 박막을 증착시켰다. 증착가스는 SiH4, GeH4 가스를 썼으며, 기판온도는 20$0^{\circ}C$, r.f. 전력은 3W, 증착시 가스압력은 0.6 Torr 정도이었다. 증착된 a-SiGe:H 박막은 $600^{\circ}C$ N2 분위기에서 다시 가열되어 고상결정화 되었고, 결정화 정도는 XRD (111) peak의 세기로부터 구해졌다. ESR 측정은 상온 x-band 영역에서 수행되었다. 측정된 ESR스팩트럼은 두 개의 Gaussian 함수로써 Si dangling-bond와 Ge dangling-bond 신호로 분리되었다. 가열 초기의 a-SiGe:H 박막 결함들의 스핀밀도의 증가는 수소 이탈에 기인하고, 또 고상결정화 과정에서 결정화된 정도와 Ge-db 스핀밀도의 변화는 서로 깊은 상관관계가 있음을 알 수 있었다. 특히 Ge 함유량이 큰 박막 (x=0.21, 0.67)에서 뿐만 아니라 소량의 Ge이 함유된 박막(x=0.05)에서도 Ge dangling-bond가 Si dangliong-bond 보다 고상결정화 과정에서 더 중요한 역할을 한다는 것을 알수 있었다. 또한 초기 열처리시 Si-H, Ge-H 결합에서 H의 이탈로 인하여 나타나는 Si-dangling bond, Ge-dangling bond 스핀밀도의 최대 증가 시간은 x 값에 의존하였는데 이러한 결과는 x값에 의존하는 Si-H, Ge-H 해리에너리지로 설명되어 질 수 있다. 층의 두께가 500 미만인 커패시터의 경우에 TiN과 Si3N4 의 계면에서 형성되는 슬릿형 공동(slit-like void)에 의해 커패시터의 유전특성이 파괴된다는 사실을 알게 되었으며, 이러한 슬릿형 공동은 제조 공정 중 재료에 따른 열팽창 계수와 탄성 계수 등의 차이에 의해 형성된 잔류응력 상태가 유전막을 기준으로 압축응력에서 인장 응력으로 바뀌는 분포에 기인하였다는 사실을 확인하였다.SiO2 막을 약화시켜 절연막의 두께가 두꺼워졌음에도 기존의 SiO2 절연막의 절연 파괴 전압 및 누설 전류오 비교되는 특성을 가졌다. 이중막을 구성하고 있는 안티퓨즈의 ON-저항이 단일막과 비교해 비슷한 것을 볼 수 잇는데, 그 이유는 TiO2에 포함된 Ti가 필라멘트에 포함되어 있어 필라멘트의 저항을 감소시켰기 때문으로 사료된다. 결국 이중막을 구성시 ON-저항 증가에 의한 속도 저하 요인은 없다고 할 수 있다. 5V의 절연파괴 시간을 측정한느 TDDB 테스트 결과 1.1$\times$103 year로 기대수치인 수십 년보다 높아 제안된 안티퓨즈의 신뢰성을 확보 할 수 있었다. 제안된 안티퓨즈의 이중 절연막의 두께는 250 이고 프로그래밍 전압은 9.0V이고, 약 65$\Omega$의 on 저항을 얻을수 있었다.보았다.다.다양한 기능을 가진 신소재 제조에 있다. 또한 경제적인 측면에서도 고부가 가치의 제품 개발에 따른 새로운 수요 창출과 수익률 향상, 기존의 기능성 안료를 나노(nano)화하여 나노 입자를 제조, 기존의 기능성 안료에 대한 비용 절감 효과등을 유도 할 수 있다. 역시 기술적인 측면에서도 특수소재 개발에 있어 최적의 나노 입자 제어기술 개발 및 나노입자를 기능성 소재로 사용하여 새로운 제품의 제조와 고압 기상 분사기술의 최적화에 의한 기능성 나노 입자 제조 기술을 확립하고 2차 오염 발생원인 유기계 항균제를 무기계 항균제로 대체할 수 있다. 이와 더불

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Technology to Remove Trace Pollutants in Sewage Treatment Water Using Jellyfish Characteristics (해파리의 특성을 활용한 하수처리장 처리수 내 미량오염물질 제거 기술)

  • Hyeok Jin Park;Eun Jin Kim;Kyung Sil Choo;Joo Eun Shim;Min-Kyeong Yeo
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.35 no.1
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    • pp.54-60
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    • 2024
  • The present study was aimed to evaluate the removal of the trace pollutants (heavy metals and microplastics) in the sewage treatment plant by using the jellyfish Extract at Immunity reaction (JEI) of Aurelia coerulea. The experiment was conducted on two different scales: the lab scale using a Jar-tester and the Pilot system scale equipped with two newly developed devices in the laboratory, the active tube connection mixed system and the concentration integrated separation device. Compared to anionic polymers currently used in the field, JEI showed similar or higher efficiency to remove the trace pollutants. When JEI was added to the effluent through the Pilot system, the combination of JEI and the trace pollutants was maximized through two mixing processes, and as a result, the removal rate of the trace pollutants was greatly improved. Based on these results, we propose the present technology as an alternative to removing trace pollutants that can reduce ecosystem risk and minimize the generation of inorganic waste, away from the existing method.