• Proceedings of the IEEK Conference
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• 2000.06b
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• pp.80-83
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• 2000

In this work we deposited Pentacene thin film by OMBD at the various substrate temperatures, deposition rate and the various annealing temperatures for the fabrication of organic TFT and investigated the electrical and film surface characteristics such as sheet resistance, contact resistance and conductance Film thickness were measured by $\alpha$-step and the sheet resistance, contact resistance and conductance were extracted from the relation between the distance of the contacts and the resistance. During the film deposition the substrate temperature was held at 3$0^{\circ}C$, 4$0^{\circ}C$, 5$0^{\circ}C$, 6$0^{\circ}C$, 8$0^{\circ}C$ and 10$0^{\circ}C$, respectively. After the film deposition, Au contact was deposited by thermal evaporation. For the effect of annealing, the thin film was annealed in the nitrogen environment at 10$0^{\circ}C$ and 14$0^{\circ}C$ for 10 seconds, respectively. Film surface characteristics at the vatious substrate temperatures were measured by AFM. The crystallization of thin film was improved as the substrate temperatures were increased and the maximum gram size was 4${\mu}{\textrm}{m}$. The conductivity of thin film was found to be 7.40 $\times$10$^{-7}$ ~ 7.78$\times$10$^{-6}$ S/cm and the minimum contact resistance was 2.5324 ㏁.

• Journal of the Korean Applied Science and Technology
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• v.29 no.2
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• pp.199-204
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• 2012

Organic thin-film transistors (OTFTs) have received considerable attention because their potential applications for nano-scale thin-film structures have been widely researched for large-scale integration industries, such as semiconductors and displays. However, research in developing n-type materials and devices has been relatively shortage than developing p-type materials. Therefore, we report on the fabrication of top-contact [6,6]-phenyl-C61-butyricacidmethylester (PCBM) TFTs by using three different solvent, o-dichlorobenzene, toluene and chloroform. An appropriate choice of solvent shows that the electrical characteristics of PCBM TFTs can be improved. Moreover, our PCBM TFTs with the cross-linked Poly(4-vinylphenol) dielectric layer exhibits the most pronounced improvements in terms of the field-effect mobility (${\sim}0.034cm^2/Vs$) and the on/off current ratio (${\sim}1.3{\times}10^5$) for our results. From these results, it can be concluded that solvent-modification of an organic semiconductor in PCBM TFTs is useful and can be extended to further investigations on the PCBM TFTs having polymeric gate dielectrics. It is expected that process optimizations using solution-processing of organic semiconductor materials will allow the development of the n-type organic TFTs for low-cost electronics and various electronic applications.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2005.10a
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• pp.506-508
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• 2005

In general, organic TFTs are comprised of four components: gate electrode, gate dielectric, organic active semiconductor layer, and source and drain contacts. The TFT current, in turn, is typically determined by channel length and width, carrier field effect mobility, gate dielectric thickness and permittivity, contact resistance, and biasing conditions. More recently, a number of techniques and processes have been introduced to the fabrication of OTFT circuits and displays that aim specifically at reduced fabrication cost. These include microcontact printing for the patterning of metals and dielectrics, the use of photochemically patterned insulating and conducting films, and inkjet printing for the selective deposition of contacts and interconnect pattern. In the fabrication of organic TFTs, microcontact printing has been used to pattern gate electrodes, gate dielectrics, and source and drain contacts with sufficient yield to allow the fabrication of transistors. We were fabricated a pentacene OTFTs on flexible PEN film. Au/Cr was used for the gate electrode, parylene-c was deposited as the gate dielectric, and Au/Cr was chosen for the source and drain contacts; were all deposited by ion-beam sputtering and patterned by microcontact printing and lift-off process. Prior to the deposition of the organic active layer, the gate dielectric surface was treated with octadecyltrichlorosilane(OTS) from the vapor phase. To complete the device, pentacene was deposited by thermal evaporation and patterned using a parylene-c layer. The device was shown that the carrier field effect mobility, the threshold voltage, the subthreshold slope, and the on/off current ratio were improved.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2009.05a
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• pp.1673-1677
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• 2009

영산강 수계내의 연구기관 및 지자체 등 유관기관에서는 각종 연구사업 및 조사사업이 활발하게 진행되고 있으며, 지속해 매년 많은 예산과 전문 인력이 투입되고 있다. 또한 수행된 사업에서 산출된 연구결과나 조사결과 등의 자료는 영산강 수계내의 유역특성, 수계특성, 하천특성, 호소특성 등을 분석하고 평가하는데 매우 유용한 자료로 활용된다. 이러한 관점에서 유역내의 전문가, 민간단체, 정부기관, 학계 등의 유기적인 교류를 통해 정보의 합리적 관리 및 공유가 필요하며, 서로의 이해관계를 유기적으로 결합하여, 더 나아가 TFT(Task Force Team) 운영 등의 방안도 제시할 수 있는 여건의 필요성이 있다. 따라서 본 연구에서는 영산강 웹기반 연구 네트워크 및 유역환경정보시스템을 통해 영산강 유역내의 물환경 인프라를 확충에 그 목적이 있다. 수계내의 기상, 수문 및 수질관련 자료를 구축하여 제공하며, 수질, 오염원, 생태조사 등의 현장조사에 의한 성과자료의 정보 활용을 위한 시스템을 구축하여, 조사연구사업 지원 및 환경정책결정 기초자료로 활용함으로써 관계기관과 전문가단체 등의 정보 교류의 장으로 활용하고자 한다. 또한 기존의 영산강 수계통합관리시스템의 연계를 통한 측정망자료 및 환경기초시설 현황 등의 자료의 접근을 강화하고자 한다.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2009.05a
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• pp.1663-1667
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• 2009

금강 수계내의 연구기관 및 지자체 등 유관기관에서는 각종 연구사업 및 조사사업이 활발하게 진행되고있으며, 지속적인 활동을 위해 매년 많은 예산과 전문 인력이 투입되고 있다. 또한 수행된 사업에서 산출된 연구결과나 조사결과 등의 자료는 금강 수계내의 유역특성, 수계특성, 하천특성, 호소특성 등을 분석하고 평가하는데 매우 유용한 자료로 활용된다. 이러한 관점에서 유역내의 전문가, 민간단체, 정부기관, 학계 등의 유기적인 교류를 통해 정보의 합리적 관리 및 공유가 필요하며, 서로의 이해관계를 유기적으로 결합하여, 더 나아가 TFT(Task Force Team) 운영 등의 방안도 제시할 수 있는 여건의 필요성이 있다. 따라서 본 연구에서는 금강 웹기반 연구 네트워크 및 유역환경정보시스템을 통해 금강 유역내의 물환경 인프라를 확충에 그 목적이 있으며, 수계내의 기상, 수문 및 수질관련 자료를 구축하여 제공하고, 유역내 측정지점의 수질측정망 정보를 삽입하여 해당 지점의 수질측정결과와 측정지점정보를 검색하여 수질측정자료와 오염총량조사자료를 제공하고자 한다. 또한 조사연구사업 지원 및 환경정책결정 기초자료로 활용함으로써 관계기관과 전문가단체 등의 정보 교류의 장으로 활용하고자 한다.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2009.05a
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• pp.1668-1672
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• 2009

낙동강 수계내의 연구기관 및 지자체 등 유관기관에서는 각종 연구사업 및 조사사업이 활발하게 진행되고 있으며, 지속적인 활동을 위해 매년 많은 예산과 전문 인력이 투입되고 있다. 또한 수행된 사업에서 산출된 연구결과나 조사결과 등의 자료는 낙동강 수계내의 유역특성, 수계특성, 하천특성, 호소특성 등을 분석하고 평가하는데 매우 유용한 자료로 활용된다. 이러한 관점에서 유역내의 전문가, 민간단체, 정부기관, 학계 등의 유기적인 교류를 통해 정보의 합리적 관리 및 공유가 필요하며, 서로의 이해관계를 유기적으로 결합하여, 더 나아가 TFT(Task Force Team) 운영 등의 방안도 제시할 수 있는 여건의 필요성이 있다. 따라서 본 연구에서는 낙동강 웹기반 연구 네트워크 및 유역환경정보시스템을 통해 낙동강 유역내의 물환경 인프라를 확충에 그 목적이 있으며, 수계내의 기상, 수문 및 수질관련 자료를 구축하여 제공하고, 조사연구사업 지원 및 환경정책결정 기초자료로 활용함으로써 관계기관과 전문가단체 등의 정보 교류의 장으로 활용하고자 한다. 또한 유역환경관리, 수생태 및 습지환경, 위해성 및 유해물질관리 등의 선진 환경연구 동향에 관한 연구 자료를 구축하여 제공하고자 한다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.10a
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• pp.1353-1356
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• 2004

In recent year, OLED(organic light emitted display) is used as the next generation device of FPD. OLED have been replacing the flat panel display device such as LCD, STN-LCD and TFT because this device is more efficient, economic and simple than those FPD devices, and this need not backlight system for visualization. The performance and efficiency of OLED is related with surface defect of ITO coated glass substrate. The typical surface defect of glass substrate is nonuniformity and bad surface roughness. ITO coated glass substrate is destroied for inspection about surface roughness and non-uniformity. Generally detection of the defects in the surface for ITO coated glass substrate is dependent on operator's experience. In this research, relationship between working parameter and surface non-uniformity is studied using regression analysis.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2001.07c
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• pp.1515-1517
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• 2001

In this work the electrical characteristics of organic TFTs with the semiconductor-insulator interfaces have been interested. Pentacene is used as an active semiconducting layer. The semiconductor layer of pentacene was thermally evaporated in vacuum at a pressure of about $2{\times}10^{-6}$ Torr and at a deposition rate of 0.3$\AA$/sec. Aluminium and gold were used for gate and source/drain electrodes. before pentacene is deposited on the insulator, the gate dielectric surfaces of two samples were rubbed with lateral and perpendicular to direction of the channel length respectively.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2008.11a
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• pp.89-90
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• 2008

본 연구에서는 PECVD(Plasma Enhanced CVD) 에서 사용하는 유해 가스인 $SiH_4$ 대신에 유기 사일렌 반응 물질인 TEOS(Tetraethyl Orthosilicate, Si$(OC_2H_5)_4)$를 이용하여 상압 화학 기상 증착법 (Atmospheric Pressure CVD, APCVD)으로 실리콘 산화막을 증착하고 박막의 조성과 특성 및 화학적, 전기적 특성들을 살펴보았다. TEOS 반응원료를 이용한 CVD 공정에서 공정 온도를 낮추기 위한 방법으로 강력한 산화제인 오존을 이용하여 공정온도를 $400^{\circ}C$이하로 낮췄으며, 유리기판 상의 ELA(Excimer Laser Annealing)처리된 다결정 실리콘 기판에 트랜지스터 소자를 제작하고, 게이트 절연막으로의 전기적 특성을 살펴보았다.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD
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• v.42 no.12
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• pp.13-18
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• 2005

In this paper, we fabricated a pixel array in which each pixel was consisted of Organic Thin Film Transistor (OTFT) serially connected with Organic Light Emitting Diode (OLED) on Poly-ethylene-terephthalate (PET) substrate and the number of pixels was 64 x 64. As a gate insulator of OTFT, the thermally cross-linked PVP was used and the organic semiconductor, Pentacene, is deposited for an active layer of OTFT considering the compatibility with PET substrate. The mobility of OTFT is $1.0\;cm^2/V{\cdot}sec$ as a discrete device, but it was reduced to $0.1\~0.2\;cm^2/V{\codt}sec$ in the array. We analyzed the operation of the array and confirmed the current driving ability of OTFTs for the OLEDs.