Improvement in dielectric constant of (Ba, Sr))$TiO_3$ thin films using metalorganic chemical vapor deposited (Ba, Sr)$RuO_3$ layers
(유기금속화학기상법으로 증착된 (Ba, Sr)$RuO_3$ 를 이용한 (Ba, Sr)$TiO_3$ 의 유전상수 향상에 대한 연구)
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- Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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- 2002.05a
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- pp.57-57
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- 2002