Improvement in dielectric constant of (Ba, Sr))$TiO_3$ thin films using metalorganic chemical vapor deposited (Ba, Sr)$RuO_3$ layers

유기금속화학기상법으로 증착된 (Ba, Sr)$RuO_3$를 이용한 (Ba, Sr)$TiO_3$의 유전상수 향상에 대한 연구

  • Published : 2002.05.01