직류 스퍼터링법에 의해 제막된 SnO2/AI/Ag/AI/SnO2 구조 열선반사유리의 열적안전성
(Thermal stability of low-emissivity glasses consisting of SnO2/AI/Ag/AI/SnO2 films deposited by D.C. planar magnetron sputtering)
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- 한국진공학회지
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- 제4권1호
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- pp.32-39
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- 1995