• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
• /
• 2004.05a
• /
• pp.137-137
• /
• 2004

최근, 나노 위치결정 시스템이 우주항공, 광통신, 의학 등 많은 분야에서 사용되고 있다. 이러한 나노위치결정 시스템에 있어서 가장 중요한 것은 안정성이다 열팽창과 가공에 의한 오차를 줄이기 위해 단일재료를 사용하고 대칭구조로 구성해야만 한다. 또한 나노 스케일의 분해능을 가지기 위해서는 스틱 슬립(stick-slip) 마찰이나 백래쉬(backlash) 기구가 없어야만 가능하다. 이러한 조건들을 만족하기 위해서 선행 연구자들은 유연힌지(flexure hinge)를 사용한 컴플라이언스 기구(compliance mechanism)를 제안하였고 이미 마이크로/나노 위치결정 시스템에 대한 연구와 개발이 이루어졌다.(중략)

• Progress in Medical Physics
• /
• v.7 no.1
• /
• pp.3-7
• /
• 1996

The accuracy in target localization of CT, MR, and digital angiography were investigated for stereotactic radiosurgery. The images using CT and MR were obtained out of geometrical phantom which was designed to produce exact coordinates of several points within a 0.lmm error range. The slice interval was 3mm and FOV was 35cm for CT and 28cm for MR. These images were transferred to treatment planning computer using TCP/IP in forms of GE format. Measured 3-D coordinates of these images from planning computer were compared to known values by geometrical phantom. Anterior-posterior and lateral films were taken by digital angiography for measurement of spatial accuracy. Target localization errors were 1.2${\pm}$0.5mm with CT images, 1.7${\pm}$0.4mm with MR-coronal images, and 2.1${\pm}$0.7mm with MR-sagittal images. But, in case of MR-axial images, the target localization error was 4.7${\pm}$0.9mm. Finally, the target localization error of digital angiography was 0.9${\pm}$0.4mm. The accuracy of diagnostic machines such as CT, MR, and angiography depended on their resolutions and distortions. The target localization error mainly depended on the resolution due to slice interval with CT and the image distortion as well as the resolution with MR However, in case of digital angiography, the target localization error was closely related to the distortion of fiducial markers. The results of our study should be considered when PTV (Planning Target Volume) was determined.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
• /
• 2004.05a
• /
• pp.162-162
• /
• 2004

위치결정 기술은 초정밀 미세 기술의 발달과 제품의 소형화, 경량화에 대한 요구가 늘어나면서 고정밀화가 가속화되어 현재는 나노미터 수준의 위치정밀도를 요구하고 있다 현재 널리 사용되어지는 표면형상 측정기인 AFM은 분해능과 정밀도는 우수하지만, 이송 스테이지의 제한으로 측정영역이 좁은 단점이 있다. 이를 극복하기 위해서 이중서보를 사용한 방식들이 많이 제안되어 왔고 단일 서보를 사용하는 방식들도 연구되고 있다. 하지만 이중서보 방식은 여러 가지 액츄에이터와 컨트롤러를 사용해야하므로 제어알고리즘과 시스템이 복잡해지는 단점을 가지고 있다.(중략)

• Proceedings of the Korea Crystallographic Association Conference
• /
• 2003.05a
• /
• pp.23-23
• /
• 2003

Cu 단결정과 다결정 Cu 막대(rod)를 시료로 하여 구부린 완전결정(bent perfect crystal, BPC)을 이용한 중성자 단색기의 특성을 평가함으로써 단결정 회절 및 집합조직 측정장치인 4축 단결정 회절장치(FCD)에 BPC 단색기를 적용할 수 있는지 시험하였다. 측정은 한국원자력연구소의 연구용 원자로인 하나로의 571 수평공에 구성된 test station에서 수행하였다. 단색기와 시료 사이의 거리는 3000mm, 시료와 검출기 사이는 600mm, 단색화빔 인출각도(2θ/sub M/)는 44.6°로 고정하여 FCD와 거의 같은 배치를 구현하였다 직사빔의 단면분포와 강도는 저효율 2차원 위치민감형 검출기(2-D PSD)를 이용하여 확인하였다. 이 검출기는 검출면적 90x90㎟, 공간 분해능 1.2mm, 검출효율 약 1%인 저효율 검출기이다. 회절빔은 검출면적 190x190㎟, 검출효율은 1Å에서 60%인 고효율 2-D PSD를 이용하여 측정하였다. Cu 단결정 측정에 사용한 ePC 단색화 결정은 200×40×3.4㎣ 크기의 Si(220) 슬랩이며, 비대칭 기하로 Si(331)면을 사용하여 파장 λ=0.954Å으로 중성자빔을 단색화시켰다. BPC-Si를 구부려 슬랩의 곡률반경을 변화시키면서 단색기-시료-검출기가 평행배치일 때 Cu(200), (220), (400), (420)면의 rocking curve를 측정하여 각 조건에서의 분해능과 강도를 평가하였다. BPC 단색기를 집합조직 측정에 적용할 수 있는지 시험하기 위하여 다결정 Cu 막대(직경 4.5mm, 길이 18mm)를 시료로 선택하였다. 207x30x3.0㎣ 크기의 Si 슬랩을 단색화 결정으로 사용하였다. 이 슬랩은 다양한 결정면을 이용한 특별한 기하를 구현할 수 있도록 Si(111)면에서 10° 벗어난 면을 절단한 것이다. 비대칭 기하로 Si(311)면을 사용하여 파장 λ=1.253Å의 단색화된 중성자빔으로 측정하였다 BPC-Si를 구부려 슬랩의 곡률반경을 변화시키면서 단색기-시료-검출기가 평행파 반평행배치일 때 Cu(111), (200), (220), (311), (331), (420)면의 회절선을 측정하여 각 조건에서 분해능과 강도를 평가하였다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
• /
• v.13 no.10
• /
• pp.88-93
• /
• 1996

The study was carried out development a pricision positioning apparatus, consisting of DG servo motor and piezoelectric actuatior. This system is composed of fine and coarse apparatus, measurement system and control system. Peezoelectric actuator is designed for fine positioning. Coarse positioning using lead screw is droved by DC servo motor. Control system output a signal from laser interfermeter and capacitive sensor to amplifer of DC servo motor and piezoelectric actuator after digital signal processing (DSP). Resolution of this apparatus measure with laser interferometer and microsense

• Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference
• /
• 1995.10a
• /
• pp.18-23
• /
• 1995

The study was carried out to develope a precision positioning apparatus, consisting of DC servo motor and piezoelectric actuator. This system is composed of fine and coarse apparatus, measurement system and control system, Piezoelectric actuator is designed for fine positioning. Coarse positioning using lead screw is drived by DC servo motor. Control system output a signal from laser interferometer and microsense to amplifier of DC servo motor and piezoelectric actuator after digital signal processing(DSP). Resolution of this apparatus measure with laser interferometor and microsense

• Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference
• /
• 1999.05a
• /
• pp.56-62
• /
• 1999

We make a study of pricisioning apparatus that is used in the various industrial machine. The study was carried out to develope a pricision positioning apparatus, consisting of servo motor and piezoelectric actuator. This system is composed of fine and coarse apparatus, measurement system and control system. Piezoelectric actuator is designed for fine positioning. Coarse positioning using lead screw is drived by servo motor. Control system output a signal from laser interferometer and microsense to amplifier of servo motor and piezoelectric actuator after digital signal processing(DSP). Resolution of this apparatus measure with laser interferometor and microsense so, we can controlled positioning of one output by the coarse positioning in the system. Also we obtain the positioning resolution of 9nm in the system.

• Transactions of the Korean Society of Machine Tool Engineers
• /
• v.11 no.5
• /
• pp.65-72
• /
• 2002

In this study, actuator, sensor, guide, power transmission element and control method are considered for ultra-precision positioning apparatus. Through previous process, single plane X-Y stage with ultra-precision positioning is manufactured. Global stage for the purpose of materialization with robust system, is combined by using AC servo motor and ball screw and rolling guide. And ultra-precision positioning system is developed by micro stage with elastic hinge type and piezo element. global servo and micro servo for the purpose of materialization positioning accuracy with nm(nanometer) are controlled simultaneously by using incremental encoder and laser interferometer as displacement measurement sensor. Through previous process, ultra-precision positioning system(100mm stroke and $\pm$ l0nm positioning accuracy) with single plane X-Y stage are materialized.

• Proceedings of the Korean Institute of Navigation and Port Research Conference
• /
• 2011.06a
• /
• pp.331-333
• /
• 2011

GNSS를 이용한 위치 결정은 육상, 항만 및 해양 등의 많은 분야에서 공적 상업적인 목적으로 많이 연구되고 있다. 최근 코드 측정치 분해능이 한계를 가지는 것을 인지하고 반송파 위상 측정치를 이용한 위치 결정에 많은 관심을 가진다. 반송파 위상 측정치는 데이터 수집 환경에 의해서 코드 측정치보다 치명적인 영향을 받아 미지정수 결정과 별개로 반송파 위상 측정치 모니터링에 대한 연구가 필요하다. 반송파 위상 측정치는 다중경로, 수신기 내부 문제 등으로 인하여 Cycle-slip, Half Cycle과 같은 반송파 위상 측정치 이상 현상이 발생한다. 특히, Cycle-slip 현상은 반송파 위상 측정치의 바이어스 성분으로 사용자의 위치 결정에 악영향을 미친다. 본 논문에서는 Cycle-slip 현상에 대해서 설명하고, 기존에 연구된 Cycle-slip 현상에 대한 검출, 결정 및 확인 기법들의 장단점을 비교하였다. 마지막으로 시뮬레이션 기반의 Cycle-slip 검출, 결정 및 확인 기법들의 성능을 비교 분석하였다.

• Transactions of the Korean Society of Machine Tool Engineers
• /
• v.11 no.1
• /
• pp.17-25
• /
• 2002

This system is composed of fine and coarse apparatus, measurement system and control system. Piezoelectric actuator is designed far fee positioning. We make a study of precision apparatus that is used in the various industrial machine. The study was carried out to develope a precision positioning apparatus, consisting of servo motor and piezoelectric actuator Coarse positioning using lead screw is thrived by servo motor. Control system output a signal from laser interferometer to amplifier of servo motor and piezoelectric actuator after digital signal processing (DSP). Resolution of this apparatus measure with laser interferometer. In this study, design method and control system with ultra precision position apparatus are researched. As the first step, we have estimated for control performance and system stability before an actual apparatus is manufactured by MATLAB with SIMUUNK including various frictions those are composed of pre-design and system modeling.