• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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• 2009.11a
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• pp.397-397
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• 2009

c-Si wafer에 HWCVD로 증착된 a-Si:H 박막은 초기에 낮은 passivation 특성을 가지나 열처리 공정을 통해 효과적인 passivation을 가진다. 열처리 공정은 온도와 시간에 따라 큰 차이를 보인다. 이에 열선CVD를 이용하여 n type의 c-Si 기판에 a-Si:H을 증착하여 열처리 온도에 따른 Minority carrier Lifetime를 QSSPC를 통해 passivation 특성을 측정하였다. 온도는 $150^{\circ}C{\sim}270^{\circ}C$로 변화하여 측정하였다. 또한 열처리 시간을 10분씩 증가시켜 열처리 시간에 따른 passivation을 연구, 1ms에 이르는 Minority carrier lifetime을 얻었다.

• KSBB Journal
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• v.6 no.4
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• pp.425-429
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• 1991

Porous glasses were prepared from $TiO_2$ containing borosilicate glass by the phase separation. Pore distribution and surface area of porous glasses were invesigated by SEM and porosimeter. As temperature and heating time increase. The pore size and volume increased, but the specific surface area decreased above the critical temperature. The specific surface area and pore size showed more sensitive change on the variation of heating temperature than of heating time.

• Journal of the Korean Society of Marine Environment & Safety
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• v.22 no.1
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• pp.138-144
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• 2016

Titanium is resistant to general corrosion and in sea water because of the passivity layer film on the surface of material, but may be attacked by environments that cause breakdown of the protective oxide layer including hydrochloric, sulfuric and phosphoric acids. In this study, the Ti alloys were solution heat treatment 5hours at $1066^{\circ}C$ and $966^{\circ}C$, and followed by aging heat treated, 1, 4, 8 and 16 hours in $500^{\circ}C$, $600^{\circ}C$ and $650^{\circ}C$ respectively. The heat treated specimens were measured micro Vicker's hardness, and then accomplished electrochemical polarization test for comparing corrosion in 1N sulfuric acid solution. Additionally, micro structures were taken for corrosion tested specimens. The results showed that corrosion resistance was higher in solution heat treated alloy than base and age heat treated metal. Measured corrosion resistants were increased as increasing aging heat treatment time and temperature.

• Journal of the Korean Wood Science and Technology
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• v.33 no.4 s.132
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• pp.30-37
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• 2005

Heating and Steaming treatments were carried for deresinning and color change of radiata pine juvenile wood. The boards of 20 mm and 30 mm thicknesses were heat-treated at $150^{\circ}C$ and $220^{\circ}C$ for 2, 4 and 6 hours and steamed at $100^{\circ}C$ for 6, 24 and 48 hours. For extracting residual resin in treated boards and measuring wood surface color, alcohol-benzene solution and a portable colorimeter were used, respectively. The board of 20 mm thickness were deresined effectively by heating at over $150^{\circ}C$ for 2 hours or steaming for 6 hours while that of 30 mm thickness by steaming for 48 hours. For the board of 30 mm thickness treatment time was more influencing on deresinning than treatment temperature. The steamed boards showed higher $L^*$ than the heat-treated for both thicknesses. $L^*$ decreased with the increase of treatment temperature and time, but for the board heat-treated at $220^{\circ}C$ it didn't change after 4 hours. The surface color of the boards heat-treated at $220^{\circ}C$ for 4 and 6 hours were obviously changed, but those at $150^{\circ}C$ were not. It was revealed that the core of the heat-treated board was color changed as well as the surface.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.10 no.8
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• pp.540-544
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• 2000

The effect of atmospheric annearling on the densification and electrical poperty of the Ca-doped $YCrO_3$were investigated. In order to study the densification and elecrical properties of $Y_{0.7}Ca_{0.3}CrO3$ the sample sintered at $1700^{\circ}C$ for 12hrs were subsequently annealed at $1400^{\circ}C$ under various atmospheres($O_2$, Air, $N_2$)as a function of time. The density of $Y_{0.7}Ca_{0.3}CrO3$ was $4.5/cm^3$ before annealing. Under the $N_2$ annealingm the bulk density of $Y_{0.7}Ca_{0.3}CrO3$ was increased to $4.9g/cm^3$ at 24hrs and then remained unchanged at 48hrs. When $Y_{0.7}Ca_{0.3}CrO3$nwas annealing at $1400^{\circ}C$ for 12hrs and 24hrs under $O_2$ activation energies were about 0.16eV at 12hrs and 24hrs, and showed 0.167eV below 400K, and 0.24eV over 400K at 48hrs.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2006.10a
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• pp.154-157
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• 2006

ITO(indium tin oxide)/glass 기판 위에 PEDOT:PSS[poly(3,4-ethylenedioxythiophene):poly(styrene sulfonate)]와 PVK[poly(N-vinyl carbazole)] 고분자 물질을 정공 주입 및 수송층으로, 발광층으로 PFO-poss[Poly(9,9-dioctylfluorenyl-2,7-diyl) end capped with POSS]를 사용하여 스핀코팅법과 열 증착법으로 ITO/PEDOT:PSS/PVK/PFO-poss/LiF/Al 구조의 고분자 발광 다이오드를 제작하였다. PFO-poss 유기발광 층의 열처리 조건 (온도, 시간)이 PLED 소자의 전기적, 광학적 특성에 미치는 영향을 조사하였다. 1 wt%의 농도를 갖는 PFO-poss 유기물 발광 층을 200C 온도로 3시간 열처리 할 경우 11 V 인가전압에서 $1497\;cd/m^2$의 최대 휘도를 나타내었다. 동일온도에서 열처리 시간을 1시간에서 3시간으로 증가시킬 경우 휘도의 증가와 함께 발광 개시온도가 감소하는 경향을 보여주었다. 또한 열처리 온도와 시간을 증가시킬 경우 제2발광피크인 excimer 피크가 크게 나타났으며 청색에서 황색 발광 쪽으로 천이되는 경향을 나타내었다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2015.05a
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• pp.154-154
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• 2015

현재 액체로켓 엔진 연소기 내벽은 bonding layer NiCrAlY과 Top layer $ZrO_2$가 플라즈마 용사 방식으로 형성 된다. 이는 뛰어난 열 차폐 특성과 작업시간이 짧은 장점이 있지만, bonding layer와 Top layer 사이의 열팽창 계수 차이로 인한 균열 발생 가능성이 내재 되어 있고, 연소실 내벽에 균일한 두께의 코팅층을 형성하기 어렵고 설비가 비싸다는 단점으로 인하여 세라믹 코팅 층을 금속 코팅 층으로 대체 하고자 한다. 금속 코팅층은 모재와의 밀착성이 높고, 우수한 산화 및 부식방지 기능을 가지며 저렴하다는 장점이 있다. 또한 코팅 후 연마 작업이 가능해 연소실 내부형상을 설계조건 대로 유지 할 수 있는 특징이 있다. 따라서 본 연구에서는 연소실 내벽에 적용할 모재, 무전해 Ni-P 도금과 전해 Cr 도금층 사이의 밀착력 향상을 위한 방법에 대한 연구를 하였다. 밀착력 향상을 위한 요소로 전처리 용액과 열처리 시간에 따른 영향을 알아보고자 하였으며, 이를 위해서 5가지의 산세 용액으로 각 시편을 산세 한 후, 6시간, 12시간, 18시간 열처리 하여 단면을 비교하여 열처리에 영향을 알아보고자 하였다. 연구 결과 산세 용액의 영향은 크게 나타나지 않았으며, 열처리 시간이 길수록 Ni-P/Cr의 확산이 더 잘 일어나 확산층이 더 넓어지면서 밀착력이 더 좋아 진 것으로 판단되어 진다.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2003.11a
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• pp.125-125
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• 2003

PZT(Pb(Zr,Ti)O3)는 우수한 강유전 특성을 가지기 때문에 FRAM (Ferroelectric Random Access Memory) 소자에 응용하기 위해 많은 연구가 진행되고 있다. 스퍼터에 의해 증착된 PZT는 처음에 pyrochlore상으로 존재하다가 후 열처리를 통해 이력 특성을 나타내는 perovskite상으로 천이된다. 일반적인 furnace열처리 방법은 고온에서의 장시간 열처리가 요구되고 Pb-loss현상이나 TiO2와 같은 이차상의 생성 그리고 하부 Pt전극의 roughness증가 및 crack과 같은 문제점이 있다. 최근 들어 후 열처리를 RTA로 이용하는 연구가 진행되고 있는데 이는 열처리 시간이 짧기 때문에 위와 같은 문제점을 개선할 수 있었다. 하지만 RTA방법 또한 어느 정도의 thermal budget이 존재하고 추가적 장비가 필요하며 기판의 전체적 가열공정이므로 다른 CMOS공정과 compatibility가 떨어진다. 따라서 본 실험에서는 위와 같은 문제를 해결하고자 노력을 집중하였고 이를 위한 새로운 열처리 방법을 개발하였다. 즉 Pt 하부전극에 전압(전류)을 인가하여 순간적으로 고온으로 결정화시키는 새로운 공정을 모색하였는데 이와 같은 방법은 열처리를 위한 추가적인 장비가 필요없고 국부적으로 순간적인 가열이기 때문에 glass기판에도 적합하며 RTA보다 승온시간 및 열처리 시간이 짧기 때문에 thermal budget도 줄일 수 있었다.

• Korean Journal of Food Science and Technology
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• v.36 no.1
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• pp.38-43
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• 2004

Effects of heat treatment on functional properties of soy protein were examined. Soy protein isolate (SPI) was prepared from Korean soybean varieties, Manli and Taekwang, subjected to heat treatment at $60^{\circ}C$ for 30, 60, 90, and 120 min. pH-solubility results of SPI showed typical U-shape profiles with minimum solubility at pH 4-5 of isoelectric points of soy proteins, longer heat treatments showing slightly higher solubility. Water absorption, emulsifying activity, emulsion stability, and emulsion capacity of SPI increased, while oil absorption decreased, with heating time in Manli variety. Manli and Taekwang showed the highest emulsion capacities after 90-and 60-min heat treatments, respectively. Foam expansion of all SPIs increased with heating time up to 90 min. Texture profile analysis showed heat treatment up to 90 min significantly increased hardness, adhesiveness, springiness, gumminess, and chewiness, whereas significantly decreased cohesiveness of SPI gels (p<0.05).

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.223-223
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• 2011

적외선 감지기로 사용되는 microbolometer 소자재료로 VOx 또는 비정질 Si이 가장 많이 사용된다. 그 중에서 VOx 물질은 온도저항계수 즉, TCR이 높고 감지도가 우수하기 때문에 비냉각 적외선 검출기에 많이 응용된다. Microbolometer 검출기는 그 응답도는 micromachining 공정에 의해 좌우되는 열 고립구조에 의해 좌우된다. 특히 TCR 값이 크고, 열시상수 값이 작을수록 양질의 감지도를 얻을 수 있으므로 재료의 선택 및 공정이 매우 중요하다. 따라서 본 연구에서는 비냉각 적외선 감지소자로 사용되는 VOx 박막을 DC Sputtering을 사용하여 증착하였으며, 그 특성을 조사하였다. MEMS 공정에 의한 센서의 제작은 적외선을 흡수하여 저항변화를 읽어내어 판독하는 Readout IC(ROIC) 위에 행해진다. Monolithic 공정에 의해 이러한 ROIC 위에서 공정이 동시에 행해지므로 공정온도는 매우 중요한 요소로 작용한다. 따라서 증착된 VOx 박막의 열처리 효과를 연구하였다. 열처리 온도는 $250^{\circ}{\sim}420^{\circ}C$, 열처리 시간은 20~80 min 까지 변화시켰다. 갓 증착된 VOx 박막의 저항은 약 200 $k{\Omega}$이였으며, TCR은 -1.5%/$^{\circ}C$로 나타났다. 열처리 온도가 증가함에 따라 TCR 값은 증가하였으며, 열처리 시간이 증가할수록 역시 TCR 값이 증가하는 경향을 보였다. 열처리 온도 320$^{\circ}C$, 열처리 시간 40 min에서 TCR 값은 약 -2%/$^{\circ}C$의 값을 얻을 수 있었다. 이러한 성능의 VOx 박막을 이용하여 비냉각형 microbolometer 검출소자를 열변형없이 공정을 수행할 수 있을 것으로 기대한다.