• Title/Summary/Keyword: 열다이오드

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건식식각을 이용한 n-GaN 표면의 Cylinderical Trapezoid 형성과 식각깊이 변화에 따른 수직형 발광다이오드 특성 연구

  • Kim, Seok-Hwan;Lee, Hyeong-Cheol;Yeom, Geun-Yeong;Jeon, Yeong-Jin
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.418-418
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    • 2010
  • 최근 친환경 저전력 차세대 조명소자로 발광다이오드가 각광을 받고 있다. 하지만 종래의 수평형 발광다이오드는 사파이어 기판의 열악한 열전도도 및 전기전도도 특성으로 인하여 효율적인 열방출의 저하가 생기게 되고, 양전극과 음전극의 수평배치에 기인한 심각한 전류쏠림현상 등이 수평형 발광다이오드의 고전력 소자로서의 응용에 걸림돌로 작용하고 있다. 근래에 수평형 발광다이오드의 대안 중 하나로 수직형 발광다이오드에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 수직형 발광다이오드에서는, 수평형 발광다이오드에서의 전류쏠림현상을 향상시키기 위해 얀전극과 음전극을 수직으로 배치시킨다. 그리고 열전도도 및 전기전도도 특성이 떨어지는 사파이어를 제거하기 위해 LLO(Laser Lift Off)공정이 사용된다. LLO공정으로 인해 수직형 발광다이오드의 구조는 수평형 발광다이오드와 달리 n-GaN이 위로 배치되는 특성을 가진다. 본 연구에서는, 수직형 발광다이오드의 광추출 효율을 증가시키기 위해 SiO2 나노입자를 이용한 GaN 표면요철 형성기술을 개발, 적용 하였다. SiO2 나노입자를 n-GaN상에 단일층으로 분산시키기 위해 PR(PhotoResist), 나노입자, IPA(Isopropyl Alcohol)이 혼합된 용액을 스핀코팅시켰고 그 결과를 SEM으로 확인할 수 있었다. GaN 식각을 위해 SiO2 나노입자를 마스크로 사용하였고, BCl3가스를 사용한 건식식각을 진행하였다. 그 결과 조밀하고 균일한 크기의 Cylinderical Trapezoid 식각 형상이 n-GaN표면에 형성되었음을 SEM으로 확인할 수 있었다. 우리는 표면요철이 없는 발광다이오드와 SiO2 나노입자를 이용한 표면요철이 형성된 발광다이오드의 특성을 비교하였다. 그 결과 표면요철이 있을 때 광출력이 증가함을 확인할 수 있었다. 거기에 더하여 표면요철의 높이가 300nm~1000nm로 변화함에 따른 소자의 특성변화 또한 관찰할 수 있었다.

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Study on the Thermal Dissipation Characteristics of 16-chip LED Package with Chip Size (16칩 LED 패키지에서 칩 크기에 따른 방열특성 연구)

  • Lee, Min-San;Moon, Cheol-Hee
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.21 no.4
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    • pp.185-192
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    • 2012
  • p-n junction temperature and thermal resistance of Light Emitting Diode (LED) package are affected by the chip size due to the change of the thermal density and the external quantum efficiency considering the heat dissipation through conduction. In this study, forward voltage was measured for two different size LED chips, 24 mil and 40 mil, which consist constitute 16-chip package. p-n junction temperature and thermal resistance were determined by thermal transient analysis, which were discussed in connection with the electrical characteristics of the LED chip and the structure of the LED package.

Compensation of thermal tensing effect and oscillation of $TEM_{00}$ mode by using a Quarter-Wave Plate in a resonator of high Power cw Nd:YAG laser ($\lambda$/4-판을 이용한 연속발진 고출력 Nd:YAG 레이저의 열 렌즈 보상과 $TEM_{00}$모드 발진)

  • 신성숙;장원권;석성수;박덕규;이성만;윤미정;김선국;김용기;차병헌
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2003.02a
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    • pp.52-53
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    • 2003
  • 다이오드 레이저의 개발과 발달에 의해 고출력의 다이오드 펌핑 고체 레이저(DPSSL, Doode-Pumped Solid State Laser)가 개발되었고 다양한 분야에서 그 응용성이 증가하고 있다. 고출력 레이저 발생의 경우에 펌핑에 의한 레이저 매질 내부의 열 발생이 중요하게 대두되고, 이러한 열로 인해 레이저 빔의 왜곡이 생겨나 빔질이 저하된다. 레이저 빔질의 개선은 가우시안(Gaussian) 분포를 따르는 빔에 대해 기술하고 있는 광학 공식들과 직접적인 산업현장에서의 유용성 때문에 매우 중요한 문제가 된다. (중략)

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High-Voltage GaN Schottky Barrier Diode on Si Substrate Using Thermal Oxidation (열 산화공정을 이용하여 제작된 고전압 GaN 쇼트키 장벽 다이오드)

  • Ha, Min-Woo;Roh, Cheong-Hyun;Choi, Hong-Goo;Song, Hong-Joo;Lee, Jun-Ho;Kim, Young-Shil;Han, Min-Koo;Hahn, Cheol-Koo
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2011.07a
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    • pp.1418-1419
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    • 2011
  • 차세대 전력 반도체인 고전압 GaN 쇼트키 장벽 다이오드의 역방향 특성을 개선하기 위해서 열 산화공정이 제안되었다. AlGaN/GaN 에피탁시 위에 쇼트키 장벽 다이오드 구조가 제작되었으며, 쇼트키 컨택은 증착 후 $450^{\circ}C$에서 산화되었다. 열 산화공정이 메사 측벽의 AlGaN 및 GaN 표면에 $AlO_x$$GaO_x$를 형성하여 표면으로 흐르는 누설전류를 억제한다. 표면 및 GaN 버퍼를 통한 누설전류는 열 산화 공정 이후 100 ${\mu}m$-너비당 51.3 nA에서 24.9 pA로 1/2000 배 수준으로 감소하였다. 표면 산화물 형성으로 인하여 생성된 Ga-vacancy와 Al-vacancy는 acceptor로 동작하여 surface band bending을 증가시켜 쇼트키 장벽 높이를 증가시킨다. 애노드-캐소드 간격이 5 ${\mu}m$인 제작된 소자는 0.99 eV의 높은 쇼트키 장벽 높이를 획득하여, -100 V에서 0.002 A/$cm^2$의 낮은 누설전류를 확보하였다. 애노드-캐소드 간격이 5에서 10, 20, 50 ${\mu}m$로 증가되면 소자의 항복전압은 348 V에서 396, 606, 941 V로 증가되었다. 열 산화공정은 전력용 GaN 전자소자의 누설전류감소와 항복전압 증가를 위한 후처리 공정으로 적합하다.

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The Characteristic of TEC Power Consumption of Laser Diode Module (레이저다이오드 모듈 냉각용 TEC 소비전력 특성)

  • Lee Jong Jin;Yu Chong Hee;Kang Hyun Seo;Koh Jai Sang
    • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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    • v.11 no.3 s.32
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    • pp.71-76
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    • 2004
  • The power consumption of TEC for Laser diode cooling was predicted by 3-D FEM simulation and verified by experiment. The operating conditions such as power consumption of Laser diode, set temperature, ambient temperature, resistance of thermal path was considered to estimate the TEC power consumption. Using 3-D FEM simulation, the relation between TEC configuration defined by the pellet dimension and the number and power consumption was investigated for low power consumption scheme. As a result, as the thermal resistance of the pellet increased, the power consumption decreased.

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A potential anticacner therapeutic strategy using light-emitting diode (자궁경부암세포 치료를 위한 발광다이오드의 응용)

  • Park, Chul Woo;Park, Kitae;Choi, Hojong;Choe, Se-woon
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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    • 2017.05a
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    • pp.712-713
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    • 2017
  • Clinically applicable light emitting diode (LED) has been widely investigated because of relatively low heat generation, low cytotoxicity, and non-invasiveness compared to other therapeutic methods. Therefore, we investigated the therapeutic effects of several wavelengths of light emitting diode against human cervical cancer cells and analyzed the individual inhibitory effect for the cancer cell proliferation. In the experiment, prepared HeLa cells were exposed by red, green and blue light-emitting diode for 10 minutes each. Relatively short-wavelength light-emitting diode (blue) showed stronger therapeutic effects than relatively long-wavelength light-emitting diodes.

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Optimum design and analysis of a diode side-primped Nd:YAG laser with a diffusive reflector (난반사체를 이용한 다이오드 횡여기 Nd:YAG 레이저의 최적화 설계 및 분석)

  • 이성만;윤미정;김선국;김현수;차병헌;문희종
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.12 no.6
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    • pp.489-495
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    • 2001
  • We developed a design code for a diode side-pumped Nd:YAG laser with a diffusive reflector to investigate the optimum design conditions resulting in homogeneous absorption distribution and efficient laser output power. By including the thermal tensing effect in the calculation of the laser output power, the calculated output powers were in fairly good agreement with the experimental results within the stable resonator condition. The calculation method can be used effectively for a diode side-pumped Nd:YAG laser in choosing the optimum design parameters and in predicting the laser output power.

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(Fabrication and Electrical Characterization of Pentacene - based Schottky diodes) (Pentanene을 이용한 Schottky diode의 제작 및 전기적 특성)

  • 김대식;이용수;박재훈;최종선;강도열
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2000.02a
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    • pp.53-53
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    • 2000
  • 반도체 산업에서 유기물질의 응용에 많은 관심을 나타내고있으며, 그 응용의 예로는 발광 다이오드(light emitting diode)와 박막트랜지스터(thinfilm transistor)가 주를 이루고 있다. 이러한 유기 물질을 이용하면 소자의 제작 공정의 단순화와 제작 가격을 낮출 수 있는 이점을 기대할 수 있다. 본 연구에서는 유리 기판 위에 pentcence 다이오드를 제작하였다. 유리 기판 위에 silicon dioxide를 PECVD으로 성막하였다. 전극으로는 Ohmic contact를 이루기 위해 금(Au)을 사용하였으며 schottky contact을 이루기 위해서 알루미늄(Al), 인듐(In), 크롬(Cr), 은(Ag), 금(Au)을 각각 사용하였다. 소자의 활성 층으로는 pentcene을 가장 단순한 열 증착법으로 성막하였고, 진공도는 10-8Torr를 유지하였으며 성막 속도는 0.3 $\AA$/sec로 성막하였다. 제작된 소자들은 $\alpha$-step, I-V, C-V, AFM, IR등을 이용하여 측정, 분석하였다.

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