Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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v.12
no.4
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pp.1993-1998
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2011
Semiconductor industry needs to have fine patterns in order to fabricate the high density integrated circuit. For nano-scale patterns, hard-mask is used to multi-layer structure which is formed by CVD (chemical vaporized deposition) process. In this work, we prepared single-layer hard-mask by using organic-inorganic hybrid polymer for spin-on process. The inorganic part of hard-mask was much easier etching than photo resist layer. Beside, the organic part of hard-mask was much harder etching than substrate layer. We characterized the optical and morphological properties to the hard mask films using organic-inorganic hybrid polymer, and then etch rate of photo resist layer and hard-mask film were compared. The hybrid polymer prepared from organic and inorganic materials was found to be useful hard-mask film to form the nano-patterns.
In this study, the structural and rheological characterizations of polyacrylonitrile(PAN)/dimethyl sulfoxide(DMSO) solutions for PAN fiber were investigated according to the change of storage times and temperatures. As a result, PAN/DMSO solutions exhibited a very characteristic rheological behavior with variation of temperature. The solutions showed an increase of complex viscosity and a decrease of loss tangent($tan{\delta}$) as temperature was increased over the temperature range of 40 and $70^{\circ}C$ and it could be seen that the viscosity rapidly increased at low frequency. These results indicated that the gel polymer and denser gel structure were formed due to the intermolecular hydrogen bonding of water in the polymer solution depending on the storage time.
Research was initiated in greenhouse to investigate effects of polymer, calcium, perlite and chitosan on the growth of Kentucky bluegrass (KB). A total of 24 treatment combinations were used in the study. Treatments were made of water-swelling polymer (WSP), calcium, perlite, and chitosan in soil organic amendment (SOA). Significant differences were observed in germination rate, turfgrass coverage, turfgrass density and top growth among treatments. Germination rate, density and plant height varied with time after seeding. A proper mix of WSP is considered to be lower than 3% for turfgrass coverage and density. Regarding survival capability and top growth, however, it was good under 6%. Overall KB growth was more influenced by calcium and perlite than chitosan. Calcium and perlite were the most effective elements for early survival capacity and turfgrass density, respectively. But no effect was found by chitosan. Top growth increased with three elements, being perlite > calcium > chitosan. The chitosan was effective in early germination, but there was no effect on top growth until 3 weeks, when compared with others. A further study is needed for investigating the effect of these materials on the growth characteristics in mixtures of sand and SOA before a field application.
For the purpose of the pre-industry production of poly(L-lactide) (PLLA) and full understanding of the supercritical polymerization system, large scale polymerization of L-iactide initiated by 1-dodecano/stannous 2-ethyl-hexanoate (DoOH/Sn(Oct)$_2$) was carried out in supercritical chlorodifluoromethane under various reaction conditions (time, temperature and pressure)and reactants (monomer and supercritical solvent) concentrations. A 3 L sized-reactor system was used throughout this study. The monomer conversion increased to 72% on increasing reaction time to 5 h. The molecular weight of PLLA product also increased to 68000 g/moi over the same period. An increase in monomer concentration resulted in a higher molecular weight, up to 144000 g/mol and 97% of monomer conversion. Raising the reaction pressure from 130 to 240 bar also resulted in an increased monomer conversion and molecular weight. To increase heat resistivity of PLLA, methanol treatment and heat-vacuum methods were evaluated. Both of them successfully improved the heat resistivity property of PLLA.
Polysilanes with sterically bulky substituents, -[2-( $R^1R^2$-phenyl)propyl]Si[$R^3$]-, such as poly(2-phenylpropyl)(n-hexyl)silane [$R^1=R^2$=H, $R^3$=n-hexyl] were prepared by Wurtz-type coupling reactions with Na using a sonochemical method. The high-intensity ultrasound provided the formation of high quality Na dispersion in toluene and its active surface which was important for the synthesis of polysilanes in Wurtz-type coupling reaction was freshly and continuously regenerated during the process. The polysilanes products were mixtures of high molecular weight polymers with $\={M}_W$ of ∼$10^6$ and low molecular weight polymers with $\={M}_W$ of ∼$10^3$. It was found that the formation of high molecular weight polymerr was greatly influenced by the substituents $R^3$, directly attached to Si. On the contrary, changes on substituents ($R^1, R^2$) gave no influences at all. Overall yields for polysilanes were 75-99% in general but high molecular weight polysilanes were obtained as a major product when substituent $R^3$ is n-hexyl group and low molecular weight polysilanes were obtained as a major product when substituent $R^3$ is cyclohexyl and 2-phenylethyl groups. Effects of reaction conditions to polysilane yields were investigated.
$\beta$-cyclodextrin ($\beta$-CD) polymers were prepared in a strong alkali condition solution (NaOH solution 30% (w/v)) using epichlorohydrin (EPI) as a cross-linker, and the molar ratio of EPI to $\beta$-CD was 10 : 1. The $\beta$-CD content in $\beta$-CD polymers is about 52%. In order to get the photo-responsible and pH-responsible, cinnamic acid was added to be inserted into the cavities of $\beta$-CD due to the hydrophobic interaction. The complex formation was confirmed using transmission electron microscope. The dimerization degree of complexes increased under UV irradiation at $\lambda$ = 365 nm but decreased under the UV irradiation at $\lambda$ = 254 nm. Dynamic light scattering analysis of particle sizes showed that the sizes of complexes did not change with different UV wavelength. Moreover, the complexes were pH-responsible because of the carboxyl group of cinnamic acid, but the size and zeta potential of the complex did not change in strong acid and alkali conditions.
The acrylic rubber was synthesized by emulsion polymerization using n-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, acrylonitrile, glycidylmethacrylate, and allyl methacrylate. When the contents of acrylonitrile were increased at fixed amount of crosslinking monomers, the Tg of polymers was increased with the contents of acrylonitrile, Mooney viscosity, hardness, and tensile strength also were increased. But the elongation was decreased due to the reduction of chain flexibility. The addition of the monomer for crosslinking, glycidylmethacrylate whose Tg is $56^{\circ}C$ resulted in the increased Tg of the polymer, and increased Mooney viscosity, hardness, and tensile strength, but the elongation at break was decreased with the glycidylmethacrylate contents. It was shown that this phenominon was attributed to the increment of crosslinking density by glycidylmethacrylate through the measurement of rheometer.
Purpose: This study was conducted to obtain experimental data for the establishment of preventive measures against fire, as large and small fire accidents occur at production and storage sites of superabsorbent polymers developed for the convenience of daily life. Method: The sample container was fixed at 0.2m in both length and width, and was shaped into a rectangular cuboid with heights of 3cm, 5cm, 7cm, and 14cm to access an infinite flat plane. The sample container was fixed in the center of a thermostatic bath that was heated to a predetermined temperature according to a preset temperature control program. If the central temperature of the sample rose more than 20℃ above the set temperature, it was determined to have 'ignited', and if it remained similar to the set temperature, it was determined to have 'unignited'. Result: The critical autoignition temperature was calculated to be 212.5℃ for a sample container with a height of 3cm, 202.5℃ for 5cm, 192.5℃ for 7cm, and 177.5℃ for 14cm. The ignition induction time to reach the highest temperature was approximately 42hours for 3cm, 91hours for 5cm, 151hours for 7cm, and 300hours for 14cm. Conclusion:① As the size of the sample container increased, the autoignition temperature decreased and the ignition induction time to reach the highest temperature increased. ② The apparent activation energy was calculated to be 39.30kcal/mol, with a correlation of 99.5%.
상업적으로 많이 이용되는 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET)에 액정중합체(LCP)인 열방성 폴리에스터를 첨가하여 유변학적 특성을 조사하고 전단속도와 혼합비에 따른 LCP domain의 형태 변화를 고찰하였다. 모체고분자 내 구형과 타원형을 이루는 LCP domain들 은 신장력에 의해 피브릴 구조의 변형되고 이 피브릴은 흐름방향으로 배향되어 용융체에 윤 활제와 같은 역할을 함으로써 용융점도의 감소를 보이는데 특히 높은 전단속도 영역에서 LCP가 30wt%까지 첨가될수록 큰 폭으로 감소하였다. 주사식 현미경(SEM)의 관찰로부터 LCP domain의 피브릴구조를 확인할 수 있었고 또한 LCP domain의 형태 변화가 용융점도 가 감소에 직접 관계됨을 확인할 수 있었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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