• 한국산학기술학회논문지
• /
• 제20권11호
• /
• pp.7-12
• /
• 2019

반도체 시장에서 소재 개발 및 제조 공법에 대한 연구는 꾸준히 진행되고 있다. 일반적으로 자동 로봇용 End Effector는 알루미나(Al₂O₃)와 탄화규소(SiC) 등의 세라믹이 사용되었다. 본 연구는 대량생산이 가능한 분말 성형 프레스 법을 통해 반도체 현장에서 사용되는 블랙 알루미나를 개발하였다. 그리고 알루미나와 블랙 알루미나를 자동 로봇의 End Effector에 적용될 수 있도록 평면 연삭기를 사용하여 연삭가공을 실시하였다. 연삭가공을 통해 블랙 알루미나 대한 표면 거칠기(Ra)를 비교·분석하여 최적의 절삭 조건을 확인 할 수 있었다. 알루미나 표면 거칠기는 이송 속도가 0.72mm/sec이고 회전수가 1,700 rpm에서 0.4876 ㎛로 가장 양호하였다. 블랙 알루미나 표면 거칠기는 대부분의 절삭 조건에서 0.2 ㎛이하의 정밀도를 나타내었으며, 이송 속도가 0.72mm/sec이고 회전수가 1,900 rpm에서 0.1364 ㎛로 가장 양호하였다. 블랙 알루미나의 표면 거칠기는 알루미나 보다 0.35 ㎛ ~ 0.47 ㎛ 정도 양호하였다.

• 한국막학회:학술대회논문집
• /
• 한국막학회 1993년도 추계 총회 및 학술발표회
• /
• pp.24-24
• /
• 1993

세라믹 분리막은 기존의 유기질막에 비하여 고온 분리공정이 가능하고, 기계적 강도가 크며, 화학 물질에 대해서도 안정하므로 유기질막이 사용 되어질 수 없는 공정 조건에서도 사용이 가능하다. 그러나 기존의 제조법으로 제조한 세라믹 분리막은 복합 분리막의 경우, 코팅시 분리막층에 미세균열이 쉽게 발생하고 막의 재현성이 좋지 않기 때문에 새로운 분리막 제조 공정의 개발 필요성이 대두되고 있다. 본 실험은 이러한 목적하에 반도체 공업에서 주로 사용되어지고 있는 화학기상증착법을 이용하여 세라믹 복합 분리막을 제조하였다.

• 한국막학회:학술대회논문집
• /
• 한국막학회 1994년도 춘계 총회 및 학술발표회
• /
• pp.28-28
• /
• 1994

세라믹 분림가은 세라믹 고유의 열적, 기계적 특성으로 인해 유기질막이 사용되어질 수 없는 작업환경에서도 사용가능하다는 장점이 있다. 기존의 세라믹 분리막 제조방법으로는 졸겔법등이 있는데, 최근들어 새롭게 주목받고 있는 것이 화학기상중착법 (chemical vapor deposition)에 의한 제조이다. CVD 법은 막의 두께를 비교적 정확하게 조절할 수 있고, 균일한 두께의 막을 제조할 수 있다는 장점이 있다.

• 대한치과교정학회지
• /
• 제37권4호
• /
• pp.293-304
• /
• 2007

본 연구에서는 임상에서 쓰이는 수종의 치과교정용 세라믹 브라켓에 교정용 호선으로 토오크 적용 시 파절에 저항하는 정도를 비교하고 그 파절 양상을 관찰하였다. $022\;{\times}\;028-inch$ slot을 가진 상악 중절치 세라믹 브라켓에 $0215\;{\times}\;027-inch$ 스테인레스 강 교정용 호선에서 발생하는 설측 치근 토오크를 적용시켜 각 15개씩 7종의 브라켓을 시험하였다. 파절 시험용 장치를 제작하고 토오크 각도를 증가시키면서 만능시험기로 세라믹 브라켓이 파절되는 순간의 토오크 값을 측정하였다. 또한 세라믹 브라켓의 파절 양상을 알아보고자 토오크 값 측정 후 파절이 일어난 부위를 관찰하고 그 위치를 기록한 주사전자현미경으로 파절면을 관찰하였다. 나타난 결과를 토대로 볼 때 세라믹 브라켓의 결정구조와 제조 방법이 파절 저항성에 크게 영향을 주는 것으로 나타났다. 단결정 알루미나 (Inspire) 브라켓이 InVu를 제외한 다결정 알루미나 브라켓에 비하여 토오크에 대한 파절 저항성이 유의성 있게 크게 나타났다 (p < 0.05). Metal slot이 삽입된 브라켓은 그렇지 않은 브라켓과 토오크에 대한 저항성에서 유의한 차이를 보이지 않았다 (p >0.05). 파절 양상에 관한 관찰에서는 metal slot이 있는 다결정 알루미나 브라켓인 Clarity는 모두 절단측 slot base에서 부분적으로만 파절이 일어났고 다른 종류의 브라켓들은 다양한 부위에서 파절이 일어났다. 본 연구 결과, 실험에 사용한 모든 세라믹 브라켓에서 파절이 일어난 순간의 토오크 값과 토오크 각은 실제로 상악 중절치의 치근을 이동하는데 필요한 토오크보다 큰 것이었으므로, 실제 임상 치료 시 적절한 파절 저항을 나타낼 것으로 보였다.

• 한국세라믹학회지
• /
• 제16권3호
• /
• pp.164-168
• /
• 1979

In the previous paper, it was reported that formation of desirable calcium alunimate(CA) in clinker was considerably affected by sulfur-contaminated alumina which was prone to form a disadvantageous mineral, $C_4A_3S$. In this study, however, sulphate-free alumina cement was made from sulfur-free alumina refined from alunite and corresponding materials. The major minerals in the clinker were identified by X-ray diffraction patterns as calcium aluminate (CA), calcium dialuminate $(CA_2)$ and dicalcium alumino silicate $(C_2AS)$. The formation of CA was more effective with decreasing contents of silica to 2 per cent or less and sulfur in the refined alumina. Physical properties of prepared alumina cement such as setting time, stability and compressive strength were measured. The values were similar to those of commercial alumina cements.

• 한국세라믹학회지
• /
• 제36권10호
• /
• pp.1062-1068
• /
• 1999

상온 25$^{\circ}C$의 증류수에 단일 열충격을 시행한 후 ball-on-3 ball test로 강도를 측정하고 강도의 변화를 관찰하였다. 시편은 상용 알루미나 시편을 사용하였고, disc 형태의 시편에 대하여 열충격 후의 균열의 모양과 강도 시험 후의 균열의 모양을 잉크 침투법에 의해 관찰하였다. 통계적인 파괴 확률방법을 제시하였으며, thermal shock Weibull plot을 이용하여 3점 꺾임 강도와 비교하였다. ball-on-3 ball test 강도에 미치는 인자에 대해 통계학적인 접근을 통해 관찰한 결과, 시편중심에서 균열까지의 거리가 균열 밀도보다 더 큰 영향을 미치고 있음을 알 수 있었다.

• 한국세라믹학회지
• /
• 제34권12호
• /
• pp.1213-1220
• /
• 1997

Effect of particle size of alumina and amount of talc on tape casting and densification behaviors of alumina-talc system were investigated. The pseudoplastic behaviors of slurries increased with increase in amount of talc addition and decrease in alumina particle size. In case of using coarse alumina powder, densification of specimens were accelerated with increase of sintering temperature and amount of talc addition. On the contrary, fine alumina powder retarded of rearrangement of alumina particle during liquid phase sintering due to premature densification of alumina matrix region before formation of liquid phase and then densification of specimens were suppressed with increase of sintering temperature and amount of talc addition.

• 한국세라믹학회지
• /
• 제33권5호
• /
• pp.547-555
• /
• 1996

Porous alumina ceramics were fabricated by pseudo-boehmite phydosol-gel process within/without commercial $\alpha$-alumina particles average 1 and 40 micron respectively. The pore characteristics of fired specimens were studied by the measurement of bulk density total porosity thyermal analysis pore volume pore distribution BET area XRD and SEM. with increasing of firing temperature pore volume and BET surface area were decreased and the average pore size was increased to approximately 146$\AA$ upto 80$0^{\circ}C$ by de-watering of [OH] and formation of $\alpha$-alumina. The fired relative density of the alumina-dispersed specimen with average 1 micron particle was increased with the amounts of dispersed particle by bimodal packing theory which is compared to the ones of specimen including of average 40 micron particle. It was confirmed that the percola-tion threshold in porous ceramics with coarser particle (40 micron) has formed between the transformed-alumina from hydrogel and dispersed-alumina of above 50 vol% particle and the total porosity was increased at the threshold point above.

• 한국정밀공학회지
• /
• 제24권2호
• /
• pp.33-40
• /
• 2007

In this study, presintered and full sintered low purity alumina ceramics were machined with various tools to clarify the effect of cutting fluid in machinability. The main conclusions obtained were as follows. When the presintered ceramics were wet machined with sintered diamond tool, the tool wear becomes extremely large, and higher cutting speed can be used than in the case of full sintered ceramics. The productivity of wet cutting with the sintered diamond tool is much higher than that of dry cutting. In the case of the CBN and ceramic tools, the tool wear were smaller at wet cutting than at dry cutting, especially exhibiting considerably larger grooved tool wear in wet cutting with ceramic tool.

• 한국세라믹학회지
• /
• 제40권7호
• /
• pp.667-671
• /
• 2003

테이프 캐스팅법을 이용하여 알루미나/지르콘(반응결합 뮬라이트/지르코니아 유도)을 내부층으로 하고 알루미나/지르코니아 혹은 뮬라이트/지르코니아를 외부층으로 하는 산화물 층상 복합체를 고온가압소결법으로 제조하였다. 나노압입시험법을 이용하여 층상 산화물 복합체의 기계적 성질(경도 및 탄성계수)을 측정하고, SEM을 통하여 복합체의 미세구조를 관찰하였다. 산화물 층상 복합체의 제조를 위한 가열·냉각시 유도된 구성 산화물간의 열팽창 계수의 차이로 인하여 생성된 잔류응력을 하중-변위곡선을 이용하여 확인할 수 있었다.