• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.244.2-244.2
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• 2016

폴리 실리콘 박막은 저온 안정성, 산화 안정성, 가스 투과성 및 전기재료로서의 우수한 물성 때문에 산업에서 계속적으로 넓게 쓰이고 있다. 특히 최근 높은 색 재현율과 고화질로 각광을 받고 있는 능동형 유기발광 다이오드 (AMOLED)를 위한 Thin Film Transistor (TFT)는 신뢰성 및 우수한 특성이 요구되기 때문에 반드시 폴리실리콘 TFT가 적용되어야 한다. 이러한 이유 때문에 아모포스 실리콘을 폴리실리콘으로 결정화 시키는 방법들이 많이 연구 되어져왔다. 이 연구에서는 아모포스 실리콘 박막을 고품질의 폴리실리콘 박막으로 제조하기 위해, 기판에 positive DC 전압을 펄스 형태로 인가함으로써, 기판에 입사되는 전자를 이용한 열처리 방법을 사용하였다. 열처리 온도는 기판에 들어오는 current값을 조절함으로써 제어할 수 있었다. 열처리를 위해 사용 된 수소화 된 아모포스 실리콘은 Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD)장비로 530도에서 증착 되었으며, 이러한 아모포스 실리콘 박막은 공정시간 60 s 이내에 샘플 표면온도가 600도 이상으로 증가함으로써 균일한 폴리실리콘 막으로 제조 되었다.

• NEWSLETTER 전기공업
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• 97-16호통권185호
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• pp.24-26
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• 1997

• 한국산학기술학회논문지
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• 제15권9호
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• pp.5602-5609
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• 2014

본 연구는 카제인포스포펩타이드-아모르포우스칼슘포스포페이트(CPP-ACP)에 불소이온을 결합시킨 불화 카제인포스포펩타이드-아모르포우스칼슘포스페이트(CPP-ACFP)제제의 법랑질 재광화 정도를 알아보기 위한 실험으로 법랑질 표면에 산부식 시간을 달리한 후 CPP-ACFP제제를 같은 횟수로 도포했을 때의 재광화 정도와 CPP-ACFP제제의 도포 횟수가 법랑질의 재광화에 미치는 영향을 알아보고자 건전한 치아 64개를 대상으로 미세경도측정, 주사전자현미경 관찰 실험을 하였다. 그 결과 산부식 시간이 길어질수록, CPP-ACFP제제의 도포 횟수를 증가시킬수록 법랑질의 재광화가 더 잘 일어나는 것을 관찰할 수 있었다. 그러므로 CPP-ACP에 불소이온을 결합시켜 치아에 무기질 공급과 불소도포를 한 번에 할 수 있는 CPP-ACFP제제는 법랑질 재광화 물질로 권장할 만하다고 하겠다.