• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2009.05a
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• pp.26.2-26.2
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• 2009

이 논문은 반응성 $BCl_3$ 플라즈마로 GaAs의 건식 식각을 진행한 후 그 결과에 대하여 연구 분석 한 것이다. 이 때 사용한 식각 공정 변수는 $BCl_3$ 플라즈마에서의 가스유량, 공정 압력과 RIE 척 파워의 변화이다. 먼저 공정 압력을 75 mTorr 고정시킨 후 $BCl_3$ 유량을 변화 (2.5~10 sccm)해서 실험하였다. 또한 BCl3의 유량을 5 sccm으로 고정시킨 후 공정압력을 변화(47~180 mTorr)해서 식각 실험을 실시하였다. 마지막으로 47 mTorr와 100 mTorr 의 각각의 공정압력에서 RF 척 파워를 변화시켜 (50~200 W) 실험하였다. GaAs 플라즈마 식각이 끝난 후 표면단차 측정기 (Surface profiler)를 사용하여 표면의 단차와 거칠기를 분석하였다. 그 후 그 결과를 이용하여 식각율 (Etch rate), 식각 표면 거칠기 (RMS roughness), 식각 선택비 (Selectivity) 등의 식각 특성평가를 하였다. 또한 식각 공정 중에 샘플 척에 발생하는 자기 바이어스와 $BCl_3$ 플라즈마 가스를 광학 발광 분석기 (Optical Emission Spectroscopy)를 이용하여 플라즈마의 상태를 실시간으로 분석하였다. 이 실험 결과에 따르면 공정 압력의 증가는 샘플 척의 자기 바이어스의 값을 감소시켰다. $BCl_3$ 압력 변화에 의한 GaAs의 식각 결과를 정리하면 5 sccm의 $BCl_3$ 가스유량과 RF 척 파워를 100 W로 고정시켰을 때 식각율은 47 mTorr에서 가장 높았으며, 그 값은 $0.42{\mu}m/min$ 이었다. GaAs의 식각 속도는 공정압력이 증가할수록 감소하였으며 180 mTorr에서는 식각율이 $0.03{\mu}m/min$로 거의 식각되지 않았다. 또한 공정압력을 75 mTorr, RF 척 파워를 100 W로 고정시키고, $BCl_3$ 가스유량을 2.5 sccm에서 10 sccm까지 변화시켰을 때, 10 sccm 의 $BCl_3$ 가스유량에서 가장 높은 식각율인 $0.87{\mu}m/min$이 측정되었다. 압력에 따른 GaAs의 식각 후 표면 거칠기는 최대 2 nm 정도로 비교적 매끈하였으며, 거의 식각되지 않은 180mTorr의 조건에서는 약 1 nm로 낮아졌다. 본 실험 조건에서 GaAs의 감광제에 대한 식각 선택비는 최대 약 3:1 이내였다.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.20 no.3
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• pp.483-490
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• 2019

Assessing the effect of forest fires and measuring the gas concentration around a fire has received little attention. Therefore, the concentrations of various gases in areas surrounding a fire need to be measured by the development of a suitable device. Unlike conventional portable devices, the AQS (Air Quality System) proposed in this paper is a portable instrument that measures five types of gases simultaneously, including CO, CO2, NOx, VOCs, and NH3, and has high durability through sensor protection algorithms. A PC-based program with an AQS connection was developed to monitor the real-time changes in the gas concentration. The reliability of the developed device was proven through a comparison of the results with other commercial gas analyzers. Measurements of the concentration due to indoor and outdoor fires were performed around a fire area to review the applicability and the predicted results were obtained.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.169-169
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• 2010

박막형 CIGS 태양전지의 배면전극으로 사용되는 Mo 박막은 낮은 저항으로 인한 전기전도성과 열적 안전성이 아주 우수하다. 연구에서는 연성 CIGS 태양전지의 제조를 위한 Mo 배면전극의 대면적 증착기술에 관한 것으로 DC Magnetron Sputtering 공정을 이용하여 전주기술을 통한 Ni-Fe계 연성기판재 위에 졸걸법으로 합성된 $SiO_2$ 절연박막에 Mo 박막을 증착하는 것을 목적으로 하고 있다. 실험에서는 연성기판재 대신 시편을 Sodalime glass, Si wafer, SUS계 소재를 사용하여 스퍼터링 공정에 의한 Mo 박막을 증착하였다. 실험에서 타겟에 인가되는 전력과 공정압력을 변수로 하여 Mo 박막의 증착율, 전기저항성을 측정하였다. 타겟의 크기는 $80mm{\times}350mm$, 타겟과 기판간 거리 20cm 이었으며, 공정 압력은 2~50 mtorr 영역에서 인가전력을 0.5-1.5kW로 하였다. Mo 박막의 증착율과 전기적 특성을 측정하기 위하여 $\alpha$-step과 4-point probe(CMT-SR 1000N)를 이용하였다. 그리고 Mo 박막의 잔류응력을 측정하기 위하여 잔류응력측정기를 이용하였다. Mo 박막의 미세구조분석을 위하여 SEM 및 XRD를 분석을 실시하였다. 배면전극으로서 전기저항성은 공정압력에 따라 좌우 되었으며, 2 mTorr 공정압력과 1.5kW의 전력에서 최소값인 $8.2\;{\mu}{\Omega}-cm$의 저항값과 증착율 약 $6\;{\mu}/h$를 보였다. 기판재와의 밀착성과 관련한 잔류응력 측정과 XRD분석을 통한 결정립 크기를 분석하여 공정압력에 따른 Mo 박막의 잔류응력과 전기 저항 및 결정립 크기의 상관관계를 조사하였다. 그리고 대면적 CIGS 증착공정을 위해 직각형 타겟을 통해 증착된 Mo 박막의 증착분포를 20cm 이내 조사하였다.

• Journal of Nuclear Fuel Cycle and Waste Technology(JNFCWT)
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• v.3 no.4
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• pp.301-307
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• 2005

The morphology of the high burnup $UO_2$ spent fuel, which was oxidized and annealed in a PIA (Post Irradiation Annealing) apparatus, has been observed. The high burnup fuel irradiated in Ulchin Unit 2, average rod burnup 57,000 MWd/tU, was transported to the KAERI's PIEF. The test specimen was used with about 200 mg of the spent $UO_2$ fuel fragment of the local burnup 65,000 MWd/tU. This specimen was annealed at $1400^{\circ}C$ for 4hrs after the oxidation for 3hrs to grain boundary using the PIA apparatus in a hot-cell. In order to oxidize the grain boundary, the oxidation temperature increased up to $500^{\circ}C$ and held for 3hrs in the mixed gas (60 ml He and 100 ml STD-air) atmosphere. The amount of 85Kr during the whole test process was measured to know the fission gas release behavior using the online system of a beta counter and a gamma counter. The detailed micro-structure was observed by a SEM to confirm the change of the fuel morphology after this test. As the annealing temperature increased, the fission products were observed to move to the grain surface and grain boundary of the $UO_2$ matrix. This specimen was re-structured through the reduction process, and the grain sizes were distributed from 5 to $10\;{\mu}m$.

• Journal of Korean Society of Transportation
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• v.26 no.6
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• pp.49-60
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• 2008

The aim of this study was to evaluate the variability of the blood.breath ratio (BBR) value and to rationalize the determination of ethanol in breath for evidential sobriety testing. In the experiment forty eight healthy persons, 24 men and 24 women, took part. The experiment included the experimental condition such as sex(2),the type of alcoholic beverage(2; soju, whisky), the type of food(2;kimchi stew, pork belly) and the amount of ethanol consumed(2; 0.35g/kg, 0.70g/kg, based on body weight ) according to 24 factorial design by orthogonal arrays. Breath and blood sample were taken each 8 times and 5 times after the end of drinking. The blood and breath alcohol measurements were highly correlated (r = 0.973). The Results of four way analyses of variance revealed a significant 'the type of food' effect for maximum BrAC (F (1, 43) =5.1, pp<.029), but no significant effect in the type of alcoholic beverage and sex. The overall blood/breath ratio (${\pm}$ SD) was 2295${\pm}$403 and the 95% confidence interval were 1489 and 3101. In spite of these variations, at this time, it seems to be reasonable that apply 2100:1 conversion factor to breathalyzers, because most of the subjects showed the blood.breath ratio of over 2100:1 at least 30 minutes or more passed from the time of drinking as shown in this study.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.22 no.5
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• pp.303-309
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• 2021

This study examined the changes in the cardiopulmonary functions of stroke patients by adjusting the s heart rate during walking training. This study was conducted on 20 chronic stroke patients. The experimental group conducted walking training by varying the walking speed according to the change in heart rate on the treadmill. In contrast, the control group conducted walking training by the subjective speed of the subject. The walking training was conducted for 32 minutes, three times a week, for a total of six weeks. The changes after the intervention of the subjects were determined by measuring the VC, ERV, IRV, FVC, FEV1, and PEF. The study revealed interactions between the groups and timing in the VC, ERV, and IRV(p<.05). There were no interactions between the groups and timing in FEV1, FVC, and PEF. The main effects showed no significant differences between the groups (p>.05) but showed significant differences between periods (p<.05). These results suggest that the cardiopulmonary function was improved significantly when the training was conducted by changing the pace of the heart rate in the walking process, leading to significant changes in the cardiopulmonary function.

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.52 no.5
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• pp.581-586
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• 2014

Main objects for wastewater treatment operation are to maintain effluent water quality and minimize operation cost. However, the optimal operation is difficult because of the change of influent flow rate and concentrations, the nonlinear dynamics of microbiology growth rate and other environmental factors. Therefore, many wastewater treatment plants are operated for much more redundant oxygen or chemical dosing than the necessary. In this study, the optimal control scheme for dissolved oxygen (DO) is suggested to prevent over-aeration and the reduction of the electric cost in plant operation while maintaining the dissolved oxygen (DO) concentration for the metabolism of microorganisms in oxic reactor. The oxygen uptake rate (OUR) is real-time measured for the identification of influent characterization and the identification of microorganisms' oxygen requirement in oxic reactor. Optimal DO set-point needed for the micro-organism is suggested based on real-time measurement of oxygen uptake of micro-organism and the control of air blower. Therefore, both stable effluent quality and minimization of electric cost are satisfied with a suggested optimal set-point decision system by providing the necessary oxygen supply requirement to the micro-organisms coping with the variations of influent loading.

• Proceedings of the Korea Technical Association of the Pulp and Paper Industry Conference
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• 2002.05a
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• pp.46-48
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• 2002

본 연구는 신문지 고지의 점착성 이물질 중 Primary Stickies의 정 량에 관한 것으로 서, 실제 신문지료를 화상분석하여 실시간으로 매크로크기의 점착성 이물질올 측정할 때 효율적인 측정조건을 탐색하여 제지공정의 l 현장에서 일차 점착성 이물질을 정량 하는 새로운 측정기의 측정 기준을 제시하고자 하였다. 이물질이란 제지공정에 의도적으로 첨가되지 않은 불질의 총칭으로 dirt 및 각종 점착 성 이물질 즉, stickies를 들 수 있다. 이 가운데 스틱키{stickies}란 부드럽고, 점착성을 나타내는 이물질의 총청으로 주로 점착제와 확스에 의해 형성된다. 스틱키는 고지 재활 용의 효율성을 가장 크게 저해하는 이물질로 와이어, 펠트 및 기타 공정요소에 부착되 어 초지 시 지절을 발생시킴으로써 생산성을 저하시킬 뿐 아니라, 외관상 상품가치와 인쇄적성올 저하시키며, 최종 제품의 강도적 물성 및 가공적성에도 영향을 미친다. 특 히 국내에서는 원가절감을 위해 고지의 재활용율올 증대시키고자 전력을 다하고 있으 며 환경보호 및 용수 절감올 위해 공정수를 절감하고 궁극적으로는 무방류화를 목표로 하고 있어 토지 계 내의 점착성 이물질의 투입과 농축 현상이 심각하게 진행되고 있는 실정이다. 초지공정에서 발생하는 스틱키 즉 점착성 이물질은 미세한 스크린의 슬롯 폭인 0.15 - -0.3mm 이상의 크기를 가져 스크린에 의해 분리될 수 있는 매크로 스틱키{macro s stickies}와 이보다 작은 마이크로 스틱키(micro stickies)로 크게 분류된다. 즉 매크로 스틱키는 스크린에 의해 분리될 수 있으나 마이크로 스틱키는 스크린을 통하여 기계적 으로 분리할 수 없다는 문제점을 지니고 있다. 스틱키는 또 거동 특성에 따라 primary s stickies와 secondary stickies로 구분할 수 있다. primary stickies는 펄핑과정에서 점착 성 이물질이 파괴됨에 따라 나타나지만, secondary stickies는 지류 제지공정의 백수에 용해 되거나 분산된 상태인 1때1 이하의 콜로이 드로 폰재 한다. 이 러 한 secondary stickies 는 pH, 온도의 변화나 각종의 첨가제에 의해 웅집이나 홉착 등을 발생할 수 있는 잠재 적 문제점 등을 가지고 있다. 예를 들어 양성 고분자의 첨가는 펄프 섬유를 웅집시킬 뿐 아니라 지료에 함유된 secondary dtickies의 안정성을 저하시켜 응집, 침적시키는 작용을 한다. 따라서 분리가 어렵고, 제지공정에서 문제를 일으키기 쉬운 2차 스퇴키를 적절히 제어하기 위한 기술 개발은 용수절감 뿐 아니라, 초지공정의 침적물 절감을 통 한 공정개선에도 매우 중요한 요소기술이라 할 수 있다.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SC
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• v.49 no.3
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• pp.53-61
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• 2012

This paper proposes a real-time distance measurement system of high temperature and high speed target using infrared stereo camera. We construct an infrared stereo camera system that measure the difference between target and background temperatures for automatic target measurement. First, the proposed method detects target region based on target motion and intensity variation of local region using difference between target and background temperatures. Second, stereo matching by left and right target information is used to estimate disparity about real-time distance of target. In the proposed method using infrared stereo camera system, we compare distances in three dimension trajectory measuring instrument and in infrared stereo camera measurement. In this experiment from three video data, the result shows an average 9.68% distance error rate. The proposed method is suitable for distance and position measurement of varied targets using infrared stereo system.

• Journal of Korean Society of Occupational and Environmental Hygiene
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• v.24 no.1
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• pp.65-73
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• 2014

Objectives: The purposes of this study are to investigate workers' exposures to respirable particles generated in taconite mines and to compare two metric methods for mass concentrations using direct-reading instruments. Methods: Air monitorings were conducted at six mines where subjects have been exposed primarily to particulate matters in crushing, concentrating, and pelletizing processes. Air samples were collected during 4 hours of the entire work shift for similarly exposure groups(SEGs) of nine jobs(N=37). Following instruments were employed to evaluate the workplace: a nanoparticle aerosol monitor(particle size range; 10-1000 nm, unit: ${\mu}m^2/cc$, Model 9000, TSI Inc.); DustTrak air monitors($PM_{10}$, $PM_{2.5}$, unit: $mg/m^3$, Model 8520, TSI Inc.); a condensation particle counter(size range; 20-1000 nm, unit: #/cc, P-Trak 8525, TSI Inc.); and an optical particle counter(particle number by size range $0.3-25{\mu}m$, unit: #/cc, Aerotrak 9306, TSI Inc.). Results: The highest airborne concentration among SEGs was for furnace operator followed by pelletizing maintenance workers in number of particle and surface area, but not in mass concentrations. The geometric means of $PM_{2.5}$ by the DustTrak and the Ptrak/Aerotrak were $0.04{\mu}m$(GSD 2.52) and $0.07{\mu}m$(GSD 2.60), respectively. Also, the geometric means of RPM by the DustTrak and the Ptrak/Aerotrak were $0.16{\mu}m$(GSD 2.24) and $0.32{\mu}m$(GSD 3.24), respectively. The Pearson correlation coefficient for DustTrak $PM_{2.5}$ and Ptrak/Aerotrak $PM_{2.5}$ was 0.56, and that of DustTrak RPM and Ptrak/Aerotrak RPM was 0.65, indicating a moderate positive association between the two sampling methods. Surface area and number concentration were highly correlated($R^2$ = 0.80), while $PM_{2.5}$ and RPM were also statistically correlated each other($R^2$ = 0.79). Conclusions: The results suggest that it is possible to measure airborne particulates by mass concentrations or particle number concentrations using real-time instruments instead of using the DustTrak Aerosol monitor that monitor mass concentrations only.