• Title/Summary/Keyword: 시편크기 효과

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적합화된 자장의 세기 및 배열을 통한 대면적 유도결합형 플라즈마 개발에 관한 연구

  • 이영준;한혜리;염근영
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.248-248
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    • 1999
  • 현재 반도체 공정에서 사용하는 건식식각 공정은 고밀도 프라즈마를 사용한 플라즈마 장비를 사용하는 경향이 증대되고 있으며 이와 같은 고밀도 플라즈마 장비의 사용은 반도체 소자의 최소 선폭(CD)이 deep sub-micron으로 감소하고 반면 실리콘 웨이퍼의 크기는 8인치 직경이상으로 증가하여 가고 있어서 그 필요성이 더욱 더 증가되고 있다. 특히 TFT-LCD를 비롯한 PDP, 그리고 FED 등과 같은 여러 가지 형태의 평판 디스플레이의 제조공정에 있어서도 실리콘 기판에 비하여 대면적의 기판을 이용하고 또한 사각형 형태의 시편공정이 요구되므로 평판 디스플레이에서도 고밀도의 균일한 플라즈마 유지가 중요하다. 따라서, 본 실험에서는 여러 가지 형태의 영구자석 및 전자석의 세기 및 배열이 유도결합형 플라즈마에 미치는 효과(plasma&etch uniformity, etch rate, etc.)를 살펴보기 위해서, 유도결합형 플라즈마 chamber(210mm$\times$210mm) 내부에 magnetic cusping을 위한 영구자석용 하우스를 제작하여 표면에서 3000Gauss의 자장세기를 갖는 소형영구자석을 부착하였으며,외벽에는 chamber와 같이 사각형태로 40회 감겨진 50cm$\times$50cm 의 크기로 chamber 상하에 1개씩 Helmholtz 코일 형태로 설치하였다. 식각가스로는 Cl2, HBr, 그리고 BCl3 gas를 이용하여 axial magnet과 multidipole magnet 유무에 따른 반응성 gas의 polysilicon 식각특성을 살펴보았으며, 또한 electrostatic probe(ESP, Hiden Analytic미)를 이용하여 이들 반응성 gas에 대한 magnetically enhanced inductively coupled plasma의 특성분석을 수행하였따. Cl2, HBr, BCl3의 반응성 식각가스 조합을 이용하여 polysilicon의 식각속도 및 식각선택도를 관찰한 결과, 어떠한 자장도 가하지 않은 경우에 비해 gas의 분해율이 가장 높은 영구자석과 전자석의 조합에서 가장 높은 식각도가 관찰되었다. 특히 pure Cl2 플라즈마의 경우, Axial 방향의 전자석만을 가한 경우 식각속도에 있어서는 큰 증가를 보였으나, 식각균일도(식각균일도:8.8%)는 다소 감소하였으며, Axial 방향의 전자석과 영구자석을 조합한 경우 가장 높은 식각속도를 얻었으며, 식각균일도는 Axial 방향의 전자석만을 사용하였을 경우와 비교하여 향상되었다.

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스퍼터링 및 후 열처리 기법에 의한 V3Si 나노입자 형성과 비휘발성 메모리소자 응용

  • Kim, Dong-Uk;Lee, Dong-Uk;Lee, Hyo-Jun;Jo, Seong-Guk;Kim, Eun-Gyu
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.301-301
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    • 2011
  • 최근 고밀도 메모리 반도체의 재료와 빠른 응답을 요구하는 나노입자를 이용한 비휘발성 메모리 소자의 제작에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 그에 따른 기존의 플래쉬 메모리가 가지는 문제점을 개선하기 위해서 균일하고 규칙적으로 분포하는 새로운 나노소재의 개발과 비휘발성, 고속 동작, 고집적도, 저전력 소자의 공정기술이 요구되고 있다. 또한 부유게이트에 축적되는 저장되는 전하량을 증가시키기 위한 새로운 소자구조 개발이 필요하다. 한편, 실리 사이드 계열의 나노입자는 금속 나노입자와 달리 현 실리콘 기반의 반도체 공정에서 장점을 가지고 있다. 따라서 본 연구에서는 화합물 중에서 비휘발성 메모리 장치의 전기적 특성을 향상 시킬 수 있는 실리사이드 계열의 바나듐 실리사이드(V3Si) 박막을 열처리 과정을 통하여 수 nm 크기의 나노입자로 제작하였다. 소자의 제작은 p-Si기판에 실리콘산화막 터널층(5 nm 두께)을 건식 산화법으로 성장 후, 바나듐 실리사이드 금속박막을 RF 마그네트론 스퍼터 시스템을 이용하여 4~6 nm 두께로 터널 베리어 위에 증착하고, 그 위에 초고진공 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 SiO2 컨트롤 산화막층 (20 nm)을 형성시켰다. 여기서 V3Si 나노입자 형성을 위해 급속 열처리법으로 질소 분위기에서 800$^{\circ}C$로 5초 동안 열처리하여 하였으며, 마지막으로 열 기화 시스템을 통하여 알루미늄 전극(직경 200 ${\mu}m$, 두께 200 nm)을 증착하여 소자를 제작하였다. 제작된 구조는 금속 산화막 반도체구조를 가지는 나노 부유게이트 커패시터이며, 제작된 시편은 투사전자현미경을 이용하여 나노입자의 크기와 균일성을 확인했다. 소자의 전기적인 측정을 E4980A capacitor parameter analyzer와 Agilent 81104A pulse pattern generator system을 이용한 전기용량-전압 측정을 통해 전하저장 효과 및 메모리 동작 특성들을 분석하고, 열처리 조건에 따라 형성되는 V3Si 의 조성을 엑스선 광전자 분광법을 이용하여 확인하였다.

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Effect of Crystallographic Orientation of CrNi Underlayer on Magnetic Properties of CoCrTa / CrNi Magnetic Recording Media Deposited by E-Beam Evaporator (E-Beam Evaporator로 제조된 CoCrTa/ Cr-Ni 자기기록 매체의 자기적 특성에 미치는 Cr-Ni 하지층의 결정배향효과)

  • 고흥재;남인탁
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.7 no.4
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    • pp.205-211
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    • 1997
  • The magnetic properties change which was induced by addition of small amount of Ni into Cr underlayer in CoCrTa/ CrNi thin film deposited by electron beam evaporator was investigated. The additional Ni element was found to be beneficial for incease in the coercivity of the thin film deposited at the room temperature. The origin of coercivity increase was elucidated by crystal orientation and microstructure investigation using XRD and AFM respectively. It was found that the grain size were increased by Ni addition. The coercivity of the film with CrNi underlayer is lower than that of film with Cr underlayer when prepared with higher substrate temperature. This result may be originated with the increase in grain size. When film was deposited at 280 $^{\circ}C$ substrate temperature, Cr segregation in grain boundary is found to be the other factor for determining coercivity value.

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Analytical Study on the Strain Localization of Concrete (콘크리트의 변형률국소화에 관한 해석적 연구)

  • Song, Ha-Won;Seo, Chul
    • Magazine of the Korea Concrete Institute
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    • v.8 no.2
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    • pp.129-138
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    • 1996
  • Localization of concrete is a phenomenon such that the deformation of concrete is localized in finite region with softening behavior and it governs ultimate load of concrete. In this Paper, concrete under strain localization was modeled with localization region and non-localization region and lc~calization behavior was formulated based on averaging concept of heterogeneous material. By using the formulation, the localization phenomena of concrete under uniaxial loadings were well predicted. The analytical results show that size of localization region of concrete under uniaxial compression is three times of maximum aggregate size and the size effect of concrete is well predicted. The use of tension-softening curve obtained from direct tension test is suitable for well prediction of localization of concrete under uniaxial tension.

An Experimental Study on the Size and Length Effect of High Strength Concrete Specimens (고강도 콘크리트 시편의 치수 및 길이 효과에 관한 실험적 연구)

  • Kim, Dongbaek;Kim, Myunggon;Lee, Jeangtae;Song, Daegyeum
    • Journal of the Society of Disaster Information
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    • v.13 no.3
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    • pp.366-375
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    • 2017
  • Internal factors having effects on compressive strength test results of concrete include size, shape, height-diameter ratio(h/d), section processing method, dryness and wetness, etc. of the specimen. As it is difficult to ensure dimensions of core specimen due to rebar cutting from rebar spacing, wall thickness, effects on the structure, etc. when taking core of the concrete structure, correction of dimensions and h/d of the specimen become important for quality control of the concrete. Thus, in order to review effects of specimen size and height-diameter ratio for the concretes with compressive strength within 40~60MPa, this study has experimentally reviewed compressive strength test values by applying correction factors pursuant to KS F 2422 (Method of obtaining and testing drilled cores and sawed beams of concrete), when changing specimen diameter to ${\emptyset}5{\sim}15cm$, and h/d to 2.0~1.25.

The Effect of Glass Fiber Reinforcing Materials and Thermocycling on the Transverse Strength of Denture Base Resin (유리 섬유 의치상 레진 강화재와 열 순환이 의치상 굽힘 강도에 미치는 영향)

  • Jin, Sung-Eun;Cho, In-Ho
    • Journal of Dental Rehabilitation and Applied Science
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    • v.29 no.4
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    • pp.327-336
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    • 2013
  • This study aimed to investigate the reinforcing effect of two kinds of glass fiber, Quarts Splint$^{TM}$ Mesh and SES MESH$^{(R)}$ and to evaluate the effect of the thermocycling on the transverse strength of the denture base and on the reinforcing effect of the reinforcements. 20 specimens of the size of $2.5{\times}10.0{\times}65.0mm$ were fabricated for each group; control group, metal mesh reinforcement group, Quarts Splint$^{TM}$ Mesh reinforcement group and SES MESH$^{(R)}$ reinforcement group. To find the difference made by the thermocycling, 10 specimens of each reinforcement group were treated by thermocycling. 3-point bending test was performed to measure the transverse strength of the denture base resin. The specimens reinforced with SES MESH$^{(R)}$ and Quarts Splint$^{TM}$ Mesh showed significantly higher transverse strength than the control group (P<.05), and significantly lower transverse strength than the specimens reinforced with the metal mesh (P<.05). Thermocycled specimens were lower in transverse strength than non-thermocycled specimens in the control group, metal mesh group, Quarts Splint$^{TM}$ Mesh group and SES MESH$^{(R)}$ group, however significant difference (P<.05) was found only in the control group.

A Study on Validation of the Shielding Effectiveness Measurement Method of the Concrete Containing Electric Arc Furnace Oxidizing Slag (전기로산화슬래그를 활용한 콘크리트의 차폐효과 측정 방법의 유효성 검증 연구)

  • Jang, Hong-Je;Lee, Han-Hee;Choi, Hyo-Sik;Song, Tae-Seung;Cho, Won-Seo
    • Journal of the Korean Recycled Construction Resources Institute
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    • v.9 no.4
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    • pp.478-482
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    • 2021
  • In this paper, methods for manufacturing shielding concrete by recycling steelmaking slag discarded as industrial waste and measuring the shielding effectiveness of the shielding concrete were studied. By comparing the result of shielding effectiveness measurement of this concrete block with shielding effectiveness measurement of the structure constructed with this concrete, the measurement system for measuring shielding effectiveness of the concrete block was verified. The size of the concrete stru ctu re is 2.9 × 2.9 × 3.4m and the concrete block is 0.3 × 0.3 × 0.2m. The frequ ency band u sed for mesu rement is 600MHz - 2GHz, the types of concrete u sed to measu re the shielding effectiveness are general concrete and concrete containing electric arc furnace oxidizing slag. In the case of the concrete structure, reinforcing rebars are installed at intervals of 15cm for stru ctu ral safety, as the frequ ency increase, the electromagnetic wave properties of rebars gradu ally decreased, there was a slight difference in the measurement results. In conclusion, the measurement result of shielding effectiveness of the concrete block is similar to the result of the concrete structure. It is thought that it can be sufficiently utilized for electromagnetic wave engineering design, and the concrete shielding effectiveness measurement system using standard specimens was verified.

An Experimental Study on the MR Characteristics of Subbase Materials (보조기층재료의 MR 특성에 관한 실험적 연구)

  • Lee, In Mo;Kim, Sang Gyun;Rhee, Suk Keun;Lee, Woo Jin
    • KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
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    • v.14 no.4
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    • pp.941-951
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    • 1994
  • The resilient behavior of subbase materials, locally used in Korea. were evaluated in this study by performing laboratory MR tests. The variations of the MR value according to LVDT's location in experiments and moisture conditions, respectively, were evaluated. And, in order to determine the relevant MR characteristics of the prototype materials, laboratory model tests containing smaller particles than those of the prototype were conducted. Based on above results, the relationship of the MR and the bulk stress (${\theta}$) was suggested. The case using internal LVDT. gave much larger $M_R$ value than that using external LVDT, since the external LVDT somewhat overestimates the resilient strain. The measured $M_R$ in damp conditions ($S_r$=40%) was larger than that in wet conditions ($S_r$=70%) by about 10%. The relationship between the $M_R$ and the void ratio was linear according to particle size effect. The relationship of the $M_R$ and the bulk stress (${\theta}$) on subbase materials in damp conditions to be used in Korea could be recommended as $M_R=3960{\cdot}{\theta}^{0.60}$ psi.

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Ti-50.4 at% Ni 합금의 형상기억특성에 미치는 냉간가공률의 영향

  • Go, Won-Gi;Kim, Jae-Il;Park, Su-Ho;Kim, So-Jin;Kim, Hyeon;Lee, Gi-Yeong
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2012.05a
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    • pp.106.2-106.2
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    • 2012
  • Ti-Ni합금은 CsCl구조의 B2상, monoclinic 구조의 B19'(M)상과 rhombohedral 구조의 R상(R)이 나타난다고 알려져 있고, 이들 상의 변태에 의해 열탄성 마르텐사이트와 응력유기 마르텐사이트에 의한 형상기억효과와 초탄성 효과를 가지고 있다. 또한 Ti-Ni 합금은 우수한 형상기억특성을 가질 뿐만 아니라 생체적합성, 가공성 및 내식성 등이 뛰어나 공업분야 및 생체분야에서 폭 넓게 활용되고 있다. Ti-Ni합금의 형상기억특성은 냉간가공 후 어닐링 처리의 온도와 시간에 따른 matrix 내 Ni의 농도, 석출물의 밀도와 크기, 전위밀도와 전위주위의 응력장에 의해 영향을 받는다고 알려져 있다. 본 연구에서는 Ti-Ni합금의 형상기억 특성 및 변태온도에 미치는 영향을 조사하기 위해 다양한 냉간가공률의 시료를 제작하여 다양한 온도에서 Annealing 처리를 하여 냉간가공률 및 Annealing 온도가 형상기억특성에 미치는 영향을 조사하였다. Ti-50.4 at.% Ni 합금은 진공 아크 용해로에서 용해 하였으며, 용해된 Ingot는 열간단조 및 열간 압출한 후 냉간 인발과 중간온도에서 어닐링을 반복하면서 직경 0.5mm의 선재로 만들었다. 최종적으로 제작한 선재의 냉간가공률은 9.5%, 18.2%, 34.5%, 45% 이었다. 각 시편은 5X10-5torr의 진공으로 석영관에 진공 봉입하여 각각 673K, 723K, 783K에서 1hr 열처리 하였다. 합금의 형상기억특성과 변태온도는 DSC에 의해 조사되었다. DSC 측정 결과, 냉간가공률이 증가함에 따라 마르텐사이트 변태 온도는 감소하였고, 어닐링 온도가 증가함에 따라 마르텐사이트 변태 온도는 증가하였다. 또한 가공률이 증가하여도 R상 변태온도는 큰 변화가 없었고, Annealing온도가 증가함에 따라 R상 변태온도는 감소하였다. 또한, 형상기억특성은 인장시험기를 이용한 정하중 열싸이클 테스트를 이용하여 평가 하였다. 냉간 가공률이 증가함에 따라 안정한 형상기억특성을 나타내었다.

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Thermal diffusivity measurement of two-layer ar-coating systems using photoacoustic effects (광음향 효과를 이용한 2층 무반사 코팅막의 열확산도 측정)

  • 권경업;최문호;김석원;한성홍;김종태
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.9 no.6
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    • pp.380-384
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    • 1998
  • As the development of ultrahigh power laser system, the laser mirrors must require high-resistant and effectively cooled. So, the study for the optical multilayer systems having large thermal diffusivity become important. In this study, we designed and fabricated two-layer anti-reflection (AR) optical coating samples, in different evaporation conditions of coating speeds (10, 20 $\AA$/s) and substrate temperatures (50, 100, 150, 20$0^{\circ}C$), using two dielectric materials $MgF_2$ and ZnS which have different refractive indices and measured the through-plane thermal diffusivity by using photoacoustic effect. The optical thicknesses of $MgF_2$ and ZnS layer were fixed as 5/4λ (λ=514.5nm) and λ, respectively, and the thermal diffusivity of the samples fabricated in the different conditions was obtained from the measured amplitude of photoacoustic signals by changing chopping frequency of $Ar^+$ layer beam. The results told us that the thermal diffusivity of the sample fabricated in the condition of 10 $\AA$/s and 15$0^{\circ}C$ showed the largest value.

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