A TEM Study on the Growth Mechanisms of AIN and ZnO Thin Films by RF Magnetron Spputtering (RF 마그네트론 스퍼터링법에 의하여 증착한 AIN와 ZnO 박막의 성장기구에 관한 투과전자현미경 연구)

• 최재형;이정용
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
  • /
  • 1995.02a
  • /
  • pp.019-20
  • /
  • 1995
• PDF

마그네트론 스퍼터링법에 의해 저온 증착된 ITO 및 IZO 박막에 대한 특성 연구

• Jeong, Jae-Hye;Lee, Seong-Hun;Yun, Jeong-Heum;Lee, Geon-Hwan
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
  • /
  • 2009.02a
  • /
  • pp.259.2-259.2
  • /
  • 2009
• PDF

Robust Grasping Procedures using a Minimal Grasper (미니멀 그래스퍼를 이용한 강인한 조작 방법)

• Jin, Jing Fu;Kim, J.;Doh, N.L.
• • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
  • /
  • 2009.10a
  • /
  • pp.345-346
  • /
  • 2009
• PDF

A Study on the Spputtering Rate of AlxGa1-xAs Materials for SIMS Quantification (이차이온질량분석의 정량화를 위한 $Al_xGa_{1-x}As$ 재료의 스퍼터링율 연구)

• 곽병화;이해권
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
  • /
  • 1994.06a
  • /
  • pp.114-115
  • /
  • 1994
• PDF

대향타겟식 스퍼터링법을 이용하여 제작한 태양전지용 AZO 박막의 특성

• Jeong, Yu-Seop;Kim, Sang-Mo;Kim, Gyeong-Hwan
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
  • /
  • 2008.08a
  • /
  • pp.116-116
  • /
  • 2008
• PDF

Effects of Oxygen Flow Rate on Electrical and Optical Properties of ITO Films Deposited by Reactive Supttering (반응성 스퍼터링시 산소 유량에 따른 ITO 박막의 전기적, 광학적 특성)

• 박주동;오태성
• • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
  • /
  • 1996.05a
  • /
  • pp.34-34
  • /
  • 1996
• PDF

The Study on the (Ti,Cr)N coatings deposited by inductively coupled plasma assisted direct current magnetron sputtering (유도 결합 플라즈마를 이용한 마그네트론 스퍼터링법에 의한 (Ti, Cr)N박막의 제조 및 특성 평가)

• 정동하;박홍식;나형돈;이정중
• • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
  • /
  • 2001.11a
  • /
  • pp.33-34
  • /
  • 2001
• PDF

Study on the Corrosion Behavior of AIS1304 Film Synthesized by Unbalanced Magnetron Sputtering (비대칭 마그네트론 스퍼터링법에 의해 합성된 AIS1304박막의 내부식특성에 관한 연구)

• 김광석;이상율;정재원;김범석
• • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
  • /
  • 2000.11a
  • /
  • pp.86-87
  • /
  • 2000
• PDF

A Study on synthesis of poly-Si thin films at low temperature by unbalanced magnetron sputtering method (UBM 스퍼터링법을 이용한 저온 다결정 실리콘 박막 합성에 관한 연구)

• 박헌규;남경훈;한전건
• • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
  • /
  • 2000.11a
  • /
  • pp.15-16
  • /
  • 2000
• PDF

Electrical Properties of $(Zr,Sn)TiO_4$ Thin Film Prepared by RF Magnetron Sputtering Method (스퍼터링법에 의해 형성된 $(Zr,Sn)TiO_4$박막의 전기적 특성에 관한 연구)

• 성현호;이병일;주승기
• • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
  • /
  • 1998.11a
  • /
  • pp.128-128
  • /
  • 1998
• PDF

---