• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2010년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.1281-1282
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• 2010

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 1993년도 추계학술대회 논문집
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• pp.128-130
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• 1993

This paper presents the discharge characteristics of FTS system under verious discharge condition. E1ectron temperature and electron density are studied by double probe method. The Characteristics of discharge occurrence vol-tage and discharge current are significantly affected by magnetic flux density. And the best TiN thin film is obtained at 700[Vl, 400[gauss] and 1.0[mtorr].

• E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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• 제3권2호
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• pp.131-137
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• 1990

스퍼터링시 타겟에서 튀어나오는 원자의 방출각도분포를 새로운 함수로 표현하고 이를 이용하여 박막의 두께와 조성분초를 예측하는 방법을 구하였다. 2원계 RbFe박막의 복합타겟 마그네트론 스퍼터에 의해 제작된 박막의 조성 및 두께해석에 본 모델을 적용한 결과, 스퍼터시 Tb는 overcosine, Fe는 undercosine 방출분포를 갖는다는 것이 밝혀졌으며 이를 이용하여 실용디스크의 대면적균일화 방안의 도출기반을 마련하게 되었다.

• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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• 한국신재생에너지학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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• pp.269-269
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• 2007

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 1995년도 제9회 학술발표회 논문개요집
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• pp.43-44
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• 1995

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 2005년도 춘계학술발표대회 및 제8회 신소재 심포지엄 논문개요집
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• pp.149-149
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• 2005

• 소성∙가공
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• 제6권6호
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• pp.500-507
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• 1997

The conventional closed-die forgings had been applied to the forging of spur gears. But the forgings require high forging-pressure. In this paper, new precision forging technology have been developed. The developed technology is two steps forging process. Good shaped products are forged successfully with lower forging-pressure than those of conventional forging. The accuracy of the forged spur gear obtained by new precision forging technology is set nearly equal to that of cut spur gear of fourth and fifth class in Korean industrial standard.

• 한국소성가공학회:학술대회논문집
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• 한국소성가공학회 1997년도 추계학술대회논문집
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• pp.172-175
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• 1997

The conventional closed-die forgings had been applied to the forging of spur gears. But the forgings require high forging-pressure. In this paper, new precision forging technology have been developed. The developed technology is two steps forging process. Good shaped products are forged successfully with lower forging-pressure than those of conventional forging

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2015년도 추계학술대회 논문집
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• pp.294-294
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• 2015

대향타겟식 스퍼터링법을 이용해 유연한 기판에 증착시켜 고주파 마그네트론 스퍼터링보다 덜 손상이 입히도록 증착 시켰으며, 플라즈마 주파수를 다양하게 하여 밴딩테스트 후 나빠지는 전기적, 광학적 특성을 개선하고, 그 원인을 분석하였다.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2014년도 추계학술대회 논문집
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• pp.302-303
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• 2014

유도결합플라즈마 보조 D.C.마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 STS316L 위에 Ti-Cr-N 박막의 증착하였으며 크롬과 질소의 함량에 따른 부식특성 변화를 관찰하였다. Ti-Cr-N 박막을 증착시켰을 때는 미처리 STS316L에 비해 더 우수한 부식특성을 보였으며 크롬타겟의 인가전원이 100W 일 때와 질소비가 0.3일 때 가장 우수한 내부식 특성을 나타내었다.