• 한국결정학회지
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• 제2권2호
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• pp.1-6
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• 1991

RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 ZnO 박 막을 실리콘 기판과 Corning 7059유리 기판위에 증착시켜 증착변수에 따른 ZnO 박막의 구조적, 전기적, 광학적 특성을 분석하였다. 1 전력을 증가시킴에 따라 c축 배향성이 뛰어난 ZnO 박막을 얻을 수 있었으며, 2가 34.4인 피크의 X·ray rocking curve표준 편차 값은 6.8-7.2˚사이에 있었다. 유리 기판위에 증착된 ZnO 박막은 가시광선 영역에서 실험조건에 관계없이 80% 이상의 높은 투광도를 갖고 있었다. ZnO박막의 비저항 값은 증착 변수인 rf전력과 Ar압력에 의해 심한 영향을 받고 있었으며 3×102-2×109 Ω·cm의 비저항 영역을 갖고 있었다.

• 대한기계학회논문집A
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• 제26권9호
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• pp.1914-1922
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• 2002

Operating test of power-transmission plastic spur gears were performed inspecting both characteristics of friction-wear and endurance, and suggesting endurance improvement method that either drills internal holes of tooth or inserts metallic pin in the internal hole of tooth and verifying this newly-provided method. In case of acetal gears, amount of friction-wear is observed to increase by development of plastic deformation and increase of tooth stiffness due to brittle material property of acetal. To the contrary, in case of nylon gears, suggested method is shown to drop down the tooth temperature for about 3∼10$^{\circ}C$ than original gear, thus amount of wear is reduced by over 30% and operating lift prolonged by more than 200%. Hence, suggested method is proved to be practically applicable to the plastic gears made by soft polymers such as Nylon.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2000년도 추계학술대회논문집B
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• pp.668-673
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• 2000

Spud angle( ${\alpha}$ ) and fuel injection angle ( ${\beta}$ ) have strong influence on spud type gas burner combustion. A wide range of flame stability is shown at ${\alpha}=60^{\circ}$, but at ${\alpha}=30^{\circ}$ is narrow. Optimum condition of flame stability swirl angle( ${\gamma}$ ) is $40^{\circ}$. At condition of ${\alpha}=30^{\circ}$ flame shape is relatively narrow and long, on the other hand, at ${\alpha}=60^{\circ}$ flame is wide and short. Regardless of spud angle, maximum flame temperature shows in the range of Z=200mm and R=0mm. Flame temperature, on the whole, is high at ${\alpha}=45^{\circ}$. At ${\alpha}=45^{\circ}$, NOx emission is higher than other conditions that may be concerned with flame temperature. At ${\beta}=60^{\circ}$ and ${\gamma}=40^{\circ}$, NOx emission is reduced due to fuel injection angle.

• 대한기계학회논문집A
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• 제33권4호
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• pp.440-446
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• 2009

This paper was designed to fabricate the miniature spur gear with pitch circle of 2.25mm using extrusion process of a mechanically alloyed Al-78wt%Zn powder. The mechanical alloying of the powder particles were performed for ball milled times of 4h, 8h, 16 and 32h by the planetary ball milling. The mechanical properties of these alloyed powders, which were compacted and sintered-cylindrical preforms, were estimated using compression test. The results showed that the alloyed powder with average particle size of $10{\mu}m$ milled for 32h has the highest compressive(fractured) strength(288MPa). Extrusions of the miniature spur gear using the alloyed powder were carried out at different extrusion temperatures. Extrusion temperature of $300^{\circ}C$ provided the spur gear with the highest relative density and Vickers hardness and without any surface defects.

• 한국공작기계학회논문집
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• 제13권1호
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• pp.48-54
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• 2004

This paper describes the development of automatic shape design program for spur gear. It produces automatically third-dimensional surface and solid model used in CAD/CAM system with inputting simple measurements. This program can maximize user's convenience and get surface and solid model quickly as accepting GUI(graphic user interface). Automatic shape design program for spur gear was developed by Visual LISP, a developer program. Besides, a geometrical method and a mathematical algerian are used in this program. Use frequency of a fine spur gear is on the increase recently and manufacture process of this gear is heat treatment after press processing with molding. In this press processing, the upper punch portion of a fine spur gear shape is drafted by CAM. Therefore, estimated that surface and solid model of spur gear used to CAM are needed in this research. In this research, after 2 ㎜ gear was modeled by auto shape design program, the upper punch portion of a fine spur gear was manufactured as giving third-dimensional model to CAM software and then, displayed the result as applying to press process.

• 한국기계가공학회지
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• 제18권12호
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• pp.7-14
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• 2019

A marine turning gear controls the position of the piston-crank mechanism by rotating the flywheel of the marine engine at a low speed, which is the main auxiliary machine that enables the disassembly and maintenance of the engine. In this study, the safety factor for surface durability and tooth bending strength was improved by the design modification of the marine turning gear based on the spur planetary gear. Angular velocity, torque, and efficiency of the turning gear were measured using a reliability evaluation tester, and a multibody dynamics model for analysis corresponding to the test results was developed. Finally, it was confirmed that the design improvements improved the tooth surface damage of the sun gear in the 3^rd reduction stage.

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
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• 한국정보통신학회 2013년도 춘계학술대회
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• pp.786-788
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• 2013

몰리브덴(Molybdenum) 박막은 높은 전기전도성을 가진 금속으로 CIGS계 태양전지의 후면전극으로 많이 사용되고 있다. 스퍼터링법을 통해 증착되는 몰리브덴 박막의 경우, 전기 전도성 및 기판과의 밀착성은 스퍼터 전력 및 압력과 같은 공정 조건에 따라 변화된다. 본 연구에서는 DC 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 몰리브덴 박막을 Ar 가스 분위기에서 압력별로 증착하였다. SEM(scanning electron microscope), XRD(X-ray Diffraction), 4-point probe, 광반사율, Hall measurement를 이용하여 박막의 전기적, 구조적 특성을 분석하였다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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• pp.399-399
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• 2012

II-V 족 화합물 반도체인 황화카드뮴(CdS)은 상온에서 2.42 eV의 밴드갭을 갖는 직접 천이형 물질로서 CdTe 또는 $CuInSe_2$와 같은 박막형 태양전지의 투과층(window layer)으로 널리 사용되고 있다. CdS 박막은 전자빔 증착법(e-beam evaporation), 화학용액증착법(chemical bath deposition), 열분해법(spray pyrolysis), 스퍼터링법(sputtering) 등으로 제작되고 있다. 이 중 스퍼터링법의 경우, 다른 증착법에 비해 조작이 간단하고 넓은 면적에서 균일한 박막을 증착할 수 있을 뿐만 아니라, 박막두께 조절이 용이하다. 따라서 본 실험에서는 RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 CdS 박막의 기판온도 및 열처리 온도변화에 따른 구조적 및 광학적 특성을 조사하였다. 기판은 RCA 기법으로 세정된 Corning Eagle 2000 유리 기판을 사용하였다. 박막 공정은 초기 진공 $1{\times}10^{-6}Torr$ 상태에서 20 sccm의 Ar 가스를 주입하고 100 W의 RF 파워, 7 mTorr의 공정 압력에서 기판 온도를 $200^{\circ}C$부터 $500^{\circ}C$까지 변화시키면서 수행하였다. 증착된 CdS 박막은 질소 분위기의 가열로(furnace)를 이용해 $300-500^{\circ}C$ 온도에서 30분간 열처리되었다. 시료들의 표면 형상은 scanning electron microscope를 사용하여 관찰하였으며, UV-vis-NIR spectrophotometer를 사용하여 400-1,000 nm 파장영역에서의 투과율을 측정하였다. 그리고 X-선 회절분석(X-Ray Diffraction)으로 결정구조를 조사하고 결정립 크기를 산출하였다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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• pp.311-311
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• 2011

$TiN{\times}$박막은 우수한 내마모성 및 내부식성, 높은 경도 그리고 열적 안정성 등으로 인하여, 절삭공구 및 기계적 부품의 하드코팅, 2차 연료 전지용 확산방지막의 코팅재료로서 광범위하게 사용되어지고 있다. 일반적으로 $TiN{\times}$ 박막은 화학 기상 증착법(CVD)을 이용하였으나, 최근에는 대면적에 균일한 코팅이 가능하고 기판과 박막상의 부착력이 우수하며, 프로세스를 제어하기 쉬운 물리적 기상 증착법(PVD)의 스퍼터링법에 대한 관심이 고조되고 있다. 그러나 스퍼터링법으로 증착된 $TiN{\times}$ 박막의 물성은 주상구조와 국부적 표면결함을 포함하는 박막의 미세구조에 의존하기 때문에 주상구조 사이에 존재하는 Void 와 Pinhole 그리고 crack들이 원인으로 작용하여, 내부식성 및 기계적 특성이 급속도로 저하되는 단점이 있다. 이러한 단점을 보완하기 위해서, 본 연구에서는 기판온도를(RT, $200^{\circ}C$, $400^{\circ}C$)증가시켜 실험 하였다. 이는 온도증가에 따른 박막의 치밀화가 이루어지고 결함이 감소하여 내부식성 특성향상이 기대되어진다. 또한 플라즈마 밀도를 높이기 위해서, 기존 DC 마그네트론 스퍼터링법에 전자기장을 추가로 인가하였다. 이는 플라즈마 밀도증가에 따른 고반응성의 질소 래디컬의 생성율 증가에 기인하여 박막 형성시 질화반응을 촉진시킴으로써 박막의 치밀화 및 내부식성 특성향상이 기대되어진다.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2011년도 춘계학술대회 및 Fine pattern PCB 표면 처리 기술 워크샵
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• pp.128-129
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• 2011

Mo 박막은 전기전도성과 열적 안전성이 우수하여 CIGS 용 후면전극으로 사용되고 있다. 많은 연구자들이 스퍼터링법을 이용하여 Mo 박막을 이중 박막으로 제조하고 있으며, CIGS 용 기판재로 SLG(Soda Lime Glass)와 연성기판재등이 주로 이용되고 있다. 연구에서는 SLG 기판재를 이용하여 스퍼터링법과 증착속도 및 이온화 등이 우수한 아크 이온 플레이팅법으로 Mo 박막을 제조하였으며, 제조된 Mo 박막을 CIGS 증착공정을 통하여 태양전지 효율을 측정하였다. 스퍼터링법과 아크 이온 플레이팅법으로 제조된 CIGS용 Mo 후면전극 위에 CIGS 박막 제조시 최대 효율은 11.43%, 11.14% 을 나타내었으며 Fill factor 는 67%와 57.3% 의 결과을 얻었다. 제조된 CIGS 셀의 단면 구조를 분석하기 위해 SEM 과 EDS 를 이용하였다. 두 공정방법으로 제조된 CIGS 셀의 단면을 관찰하여 Mo 전극위에 CIGS 박막 성장시의 입자크기가 스퍼터링법보다 아크 이온 플레이팅법이 박막성장이 더딘 것을 알 수 있었다. 그리고 아크 이온 플레이팅법을 이용한 SLG 기판재위에 CIGS 용 Mo 후면전극의 제조와 적용 가능성에 대해 알아보았다.