• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1999.07a
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• pp.106-106
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• 1999

반도체 소자가 소브마이크론 이하로 집적화 되어감에 따라, RC 신호 지연 및 간섭 현상, 전력 소비의 증가 문제가 심각하게 대두되고 있다. 이러한 문제를 개선하기 위해서는, 현재 층간 절연막으로 상용화되어 있는 SiO2 박막을 대체할 저유전율 박막의 개발이 필수적이며, 많은 연구자들이 여러 가지 새로운 유기물질과 무기물질은 제안하고 있다. 반도체 공정상의 적합성을 고려할 때, 이들 여러물질 중에서 알킬기를 함유한 SiO2 박막(이하 'Si-O-C-H 박막'으로 표기)에 많은 관심이 집중되고 있다. Si-O-C-H 박막은 알킬기에 의해 형성된 나노 스케일의 기공에 의해 작은 유전율을 가지게 된다. 따라서, 박막내의 알킬기의 함유량이 많을수록 보다 작은 유전율을 얻을 수 있다. 그러나 과다한 알킬기의 함유는 Si-O-C-H 박막의 열적 특성을 열화시키는 부정적인 효과도 있다. 본 연구에서는 bis-trimethylsilylmethane(BTMSM, H9C3-Si-CH2-Si-C3H9) precursor를 이용하여 Si-O-C-H 박막을 증착하였다. BTMSM precursor의 중요한 특징중 하나는, 두 실리콘 원자 사이에 Si-CH2 결합이 존재한다는 사실이다. Si-CH2 결합은 양쪽의 Si에 의해 강하게 결합되어 있어서, BTMSM precursor를 사용하여 Si-O-C-H 박막은 유전상수도 작을 뿐 아니라, 열적으로도 안정된 특성이 얻어질 것으로 기대된다. Si-O-C-H 박막의 열적 안정성을 평가하기 위하여, 고온 열처리 전후의 FT-IR 스펙트럼 분석과 C-V(capacitance-voltage) 측정에 의한 유전상수 변화를 살펴보았다. 또한 증착된 박막의 미세구조 및 step coverage 특성 관찰을 위하여 SEM(scanning electron microscopy) 및 TEM(transmission electron micfroscopy) 분석을 하였다. 변화하였으며 이는 포토루미네슨스의 변화의 원인으로 판단된다. 연구하였다. CeO2 와 Si 사이의 계면을 TEM 측정에 의해 분석하였고, Ce와 O의 화학적 조성비를 RBS에 의해 측정하였다. Si(100) 기판위에 증착된 CeO2 는 $600^{\circ}C$ 낮은 증착률에서 seed layer를 하지 않은 조건에서 CeO2 (200) 방향으로 우선 성장하였으며, Si(111) 기판 위의 CeO2 박막은 40$0^{\circ}C$ 높은 증착률에서 seed layer를 2분이상 한 조건에서 CeO2 (111) 방향으로 우선 성장하였다. TEM 분석에서 CeO2 와 Si 기판사이에서 계면에서 얇은 SiO2층이 형성되었으며, TED 분석은 Si(100) 과 Si(111) 위에 증착한 CeO2 박막이 각각 우선 방향성을 가진 다결정임을 보여주었다. C-V 곡선에서 나타난 Hysteresis는 CeO2 박막과 Si 사이의 결함때문이라고 사료된다.phology 관찰결과 Ge 함량이 높은 박막의 입계가 다결정 Si의 입계에 비해 훨씬 큰 것으로 나타났으며 근 값도 증가하는 것으로 나타났다. 포유동물 세포에 유전자 발현벡터로써 사용할 수 있음으로 post-genomics시대에 다양한 종류의 단백질 기능연구에 맡은 도움이 되리라 기대한다.다양한 기능을 가진 신소재 제조에 있다. 또한 경제적인 측면에서도 고부가 가치의 제품 개발에 따른 새로운 수요 창출과 수익률 향상, 기존의 기능성 안료를 나노(nano)화하여 나노 입자를 제조, 기존의 기능성 안료에 대한 비용 절감 효과등을 유도 할 수 있다. 역시 기술적인 측면에서도 특수소재 개발에 있어 최적의 나노 입자 제어기술 개발 및 나노입자를 기능성 소재로 사용하여 새로운 제품의 제조와 고압 기상 분사기술의 최적화에 의한 기능성 나노 입자 제조 기술을 확립하고 2차 오염 발생원인 유기계 항균제를 무기계 항균제로 대

• Resources Recycling
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• v.29 no.3
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• pp.11-23
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• 2020

This study aims to investigate breakage and liberation characteristics of iron ore from Shinyemi mine, Jeongseon by ball mill. Parameters of breakage functions for three grade samples of iron ore were obtained using single-sized-feed breakage test and back-calculation based on nonlinear programming. The results showed that with the increase in the grade of iron ore, the breakage rate factor decrease whereas the particle size sensitivity decreases. This results from retardation of microcrack-propagation by magnetite grain in the ore. Breakage distribution analysis showed that the breakage mechanism appear to be impact fracture dominant with the increase of grade owing to the stress distribution effect by magnetite grain. Degree of liberation (DOL) increased with the increase in grade and decrease in particle size, respectively. Using the breakage function and size-DOL relationship, a model that can predict time-dependent-DOL is established. When scale-up factors from operating condition are available, the model is expected to be capable of predicting size and DOL with time in actual mining process.

• Archives of design research
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• v.19 no.2 s.64
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• pp.343-354
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• 2006

Human emotion is the issue which is subjective, difficult to define and even more difficult to measure because it's personal. In general, the methods for measuring human emotion is divided in two, one is the psychological way based on user's subjective evaluation and another is the physiological way based on physiological signs. However, these methods have some limitations. Therefore, in this study we suggested the methods for measuring users emotion in the natural and accessible environment for the design field. In order to observe user's emotional changes while they interact with a product, we have extracted some emotional words and representative emotions, and made a set of subjective evaluation scales. With these scales, emotion logging program 'VideoTAME' was developed as an effective measurement tool for complementing the current psychological methods. In the testing module of 'VdeoTAME,' participants evaluate their emotional changes through playing and watching the video dips of their performing tasks in the experiment room. In the analyzing module, the researchers replay the results created by participants during the experiment and analyze the results using Microsoft Exel. It is hoped that this study will be of great help for designers for effective measurement of user's emotions naturally expressed while using a product.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.456-456
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• 2010

CMOS 소자가 서브마이크론($0.1\;{\mu}m$) 이하로 스케일다운 되면서 단채널 효과(short channel effect), 게이트 산화막(gate oxide)의 누설전류(leakage current)의 증가와 높은 직렬저항(series resistance) 등의 문제가 발생한다. CMOS 소자의 구동전류(drive current)를 높이고, 단채널 효과를 줄이기 위한 가장 효율적인 방법은 소스 및 드레인의 얕은 접합(shallow junction) 형성과 직렬 저항을 줄이는 것이다. 플라즈마 도핑 방법은 플라즈마 밀도 컨트롤, 주입 바이어스 전압 조절 등을 통해 저 에너지 이온주입법보다 기판 손상 및 표면 결함의 생성을 억제하면서 고농도로 얕은 접합을 형성할 수 있다. 그리고 얕은 접합을 형성하기 위해 주입된 불순물의 활성화와 확산을 위해 후속 열처리 공정은 높은 온도에서 짧은 시간 열처리하여 불순물 물질의 활성화를 높여주면서 열처리로 인한 접합 깊이를 얕게 해야 한다. 그러나 접합의 깊이가 줄어듦에 따라서 소스 및 드레인의 표면 저항(sheet resistance)과 접촉저항(contact resistance)이 급격하게 증가하는 문제점이 있다. 이러한 표면저항과 접촉저항을 줄이기 위한 방안으로 실리사이드 박막(silicide thin film)을 형성하는 방법이 사용되고 있다. 본 논문에서는 (100) p-type 웨이퍼 He(90 %) 가스로 희석된 $PH_3$(10 %) 가스를 사용하여 플라즈마 도핑을 실시하였다. 10 mTorr의 압력에서 200 W RF 파워를 인가하여 플라즈마를 생성하였고 도핑은 바이어스 전압 -1 kV에서 60 초 동안 실시하였다. 얕은 접합을 형성하기 위한 불순물의 활성화는 ArF(193 nm) excimer laser를 통해 $460\;mJ/cm^2$의 에니지로 열처리를 실시하였다. 그리고 낮은 접촉비저항과 표면저항을 얻기 위해 metal sputter를 통해 TiN/Ti를 $800/400\;{\AA}$ 증착하고 metal RTP를 사용하여 실리사이드 형성 온도를 $650{\sim}800^{\circ}C$까지 60 초 동안 열처리를 실시하여 $TiSi_2$ 박막을 형성하였다. 그리고 $TiSi_2$의 두께를 측정하기 위해 TEM(Transmission Electron Microscopy)을 측정하였다. 화학적 결합상태를 분석하기 위해 XPS(X-ray photoelectronic)와 XRD(X-ray diffraction)를 측정하였다. 접촉비저항, 접촉저항과 표면저항을 분석하기 위해 TLM(Transfer Length Method) 패턴을 제작하여 I-V 특성을 측정하였다. TEM 측정결과 $TiSi_2$의 두께는 약 $580{\AA}$ 정도이고 morphology는 안정적이고 실리사이드 집괴 현상은 발견되지 않았다. XPS와 XRD 분석결과 실리사이드 형성 온도가 $700^{\circ}C$에서 C54 형태의 $TiSi_2$ 박막이 형성되었고 가장 낮은 접촉비저항과 접촉저항 값을 가진다.

• Journal of the Korean Applied Science and Technology
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• v.39 no.1
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• pp.34-41
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• 2022

As the use of chemical products increases in daily life, the removal of dye waste has also emerged as an important environmental issue. This dye waste can be decomposed using a photocatalyst, and the photocatalyst can be synthesized very cost-effectively by using the sol-gel technology. The sol-gel technology is not only very useful for nanoscale film formation, but also can simply form multilayer structures. Using a multiple spin coating method, in this study, a ZnO film with a multilayered structure (3 layers, 5 layers) was formed by using zinc oxide (ZnO), which is effective in decomposing various dyes. For performance comparison, a ZnO film having a single layer structure by a single spin coating method was prepared as a control. Structural and elemental analysis of ZnO film was performed using an X-ray diffraction analyzer and an energy dispersive X-ray spectrometer. A nanowire-like surface morphology could be observed through a scanning electron microscope. Additionally, UV-Vis spectrophotometer was used to measure the absorbance of UV light. The ZnO film with a five-layer structure degraded the simulated methylene blue by 49% more than the ZnO film with a single-layer structure. In conclusion, it was found that ZnO having a multilayered structure is useful as a photocatalyst that decomposes methylene blue dye more effectively.

• Journal of the Korean GEO-environmental Society
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• v.22 no.12
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• pp.65-70
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• 2021

River-side Embankment collapse involves various causes. The embankment collapse due to internal erosion around embedded structures reaches up to more than 10% in Korea. Many studies are being attempted to prevent from the collapse of the embankment rooted from overtopping and instability as well as internal erosion. One of them is the study on the application of biopolymers. The application of biopolymers to soils are divided into enhancing strength, vegetation and erosion resistance. This study investigated the effect of biopolymer treated soil on erosion resistance. The main goal of the study is to obtain basic data for real-scale experiments to verify the effectiveness of biopolymer treated soil embankment including a review of the collapse pattern in the model embankment with various test conditions. The optimized experimental conditions were selected by examining the erosion patterns according to each induction path with three compaction degree of the model embankment. As a result of the experiment, the internal erosion rate in the embankment to which the biopolymer treated soil was applied is greatly reduced, and it could be concluded that it might be applied to the actual embankment. However, in this study, the conclusion was drawn only within the scaled-down model embankment. In order to practically apply the biopolymer treated soil to the embankment, the study considering the scale effect would be needed.

• Journal of the Korean Geographical Society
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• v.42 no.4
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• pp.469-487
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• 2007

Grain-Size Trend Analysis is the methodology to identify net sediment transport pathways, based on the assumption that the movement of sediment from the source to deposit leaves the identifiable spatial pattern of mean, sorting, and skewness of grain size. It can easily be implemented with low cost, so it has great potentials to contribute to geomorphological research, whereas it can also be used inadequately without recognition of its limitations. This research aims to compare three established methods of grain-size trend analysis to search for the adequate way of application, and also suggest the research tasks needed in improving this methodology 1D pathway method can corporate the field experience into analyzing the pathway, provide the useful information of depositional environments through X-distribution, and identify the long-term trend effectively. However, it has disadvantage of the dependence on subjective interpretation, and a relatively coarse temporal scale. Gao-Collins's 2D transport vector method has the objective procedure, has the capability to visualize the transport pattern in 2D format, and to identify the pattern at a finer temporal scale, whereas characteristic distance and semiquantitative filtering are controversial. Le Roux's alternative 2D transport vector method has two improvement of Gao-Collins's in that it expands the empirical rules, considers the gradient of each parameters as well as the order, and has the ability to identify the pattern at a finer temporal scale, while the basic concepts are arbitrary and complicated. The application of grain sire trend analysis requires the selection of adequate method and the design of proper sampling scheme, based on the field knowledge of researcher, the temporal scale of sediment transport pattern targeted, and information needed. Besides, the relationship between the depth of sample and representative temporal scale should be systematically investigated in improving this methodology.

• Journal of the Korean Institute of Landscape Architecture
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• v.37 no.3
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• pp.54-60
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• 2009

The purpose of this study is to analyze the impacts of three-dimensional land cover on changing urban air temperatures and to explore some strategies of urban landscaping towards mitigation of heat build-up. This study located study spaces within a diameter of 300m around 24 Automatic Weather Stations(AWS) in Seoul, and collected data of diverse variables which could affect summer energy budgets and air temperatures. The study also selected reflecting study objectives 6 smaller-scale spaces with a diameter of 30m in Chuncheon, and measured summer air temperatures and three-dimensional land cover to compare their relationships with results from Seoul's AWS. Linear regression models derived from data of Seoul's AWS revealed that vegetation volume, greenspace area, building volume, building area, population density, and pavement area contributed to a statistically significant change in summer air temperatures. Of these variables, vegetation and building volume indicated the highest accountability for total variability of changes in the air temperatures. Multiple regression models derived from combinations of the significant variables also showed that both vegetation and building volume generated a model with the best fitness. Based on this multiple regression model, a 10% increase of vegetation volume decreased the air temperatures by approximately 0.14%, while a 10% increase of building volume raised them by 0.26%. Relationships between Chuncheon's summer air temperatures and land cover distribution for the smaller-scale spaces also disclosed that the air temperatures were negatively correlated to vegetation volume and greenspace area, while they were positively correlated to hardscape area. Similarly to the case of Seoul's AWS, the air temperatures for the smaller-scale spaces decreased by 0.32% ($0.08^{\circ}C$) as vegetation volume increased by 10%, based on the most appropriate linear model. Thus, urban landscaping for the reduction of summer air temperatures requires strategies to improve vegetation volume and simultaneously to decrease building volume. For Seoul's AWS, the impact of building volume on changing the air temperatures was about 2 times greater than that of vegetation volume. Wall and rooftop greening for shading and evapotranspiration is suggested to control atmospheric heating by three-dimensional building surfaces, enlarging vegetation volume through multilayered plantings on soil surfaces.

• Journal of the Society of Cosmetic Scientists of Korea
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• v.45 no.2
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• pp.185-198
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• 2019

Human tissue undergoes aging by the oxidant damage via structural change and its physical properties. The skin aging process is well known and many evaluations have been conducted. However, studies on hair aging were relatively few and thus care for aging hair is difficult. This study aims to fabricate an aging hair and identify anti-aging effect with known ingredient in anti-aging. First of all, physical properties of aging hair of age 60s by physiologically intrinsic factors were compared to those of the hair made by various extrinsic factors such as several chemical reactions and iteration numbers of the treatments. The extrinsic aging hair of this study relates to the less amount of lipid and to the hair of perm treated once accordingly, wherein several physical properties, preferably comprise roughness and tensile strength, present a novel concept of the intrinsic aging hair. The penetration of peptide into the aging hair was leading the extrinsic hair towards more structurally directed a younger hair. In addition to the structural change, the penetration of the peptide enhanced texture and tensile strength of the aging hair. These patterns have been also found in addition of propolis. For the first time, these qualitative studies exhibit that indeed our extrinsic aging hair well describes the anti-aging efficacy as a receptor for a cross-linker and the ingredients of human hair.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.353-353
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• 2012

InAs nanowires (NWs)는 나노소자스케일의 전자소자나 광전자소자를 위한 기본 단위(building block)로 사용될 수 있고, 1차원적 나노구조를 가지면서 나타나는 특별한 전기적, 광학적 특성으로 인해 전계효과 트랜지스터, 레이저, 광발광 다이오드, 가스 검출 센서 등의 많은 응용소자로 활용을 위한 연구가 진행되 있으며 주로 실리콘, 갈륨비소 기판 위에 금속유기기상 증착(MOCVD) 또는 분자선 증착 (MBE)을 이용하여 선택적 수직배열 성장 조절을 위한 연구와 특성 평가 연구가 주로 이뤄지고 있다. 본 연구에서는 InAs NWs를 MBE 장치를 이용하여 Si(111) 기판 위에 Au와 같은 촉매를 사용하지 않고 Si과 InAs의 큰 격자 불일치로 인하여 성장되는 Volmer-weber 성장 모드를 이용 하였다. InAs NW 성장모드는 Si ($5.4309{\AA}$)과 InAs ($6.0584{\AA}$) 사이에 큰 격자상수 차이를 이용하게 되는데 촉매를 사용하여 성장하는 일반적인 이종 화합물 반도체 성장 모드와 달리 액상상태가 존재하지 않고 바로 In과 As이 Si 기판 위를 이동하여 수직방향으로 성장이 이루어지는 vaporsolid(VS) 모드이다. InAs NW V-S 성장 모드는 Si 기판과의 격자 상수차에 의한 스트레스를 이용해야 하므로 Si기판 위에 존재하는 native oxide는 완벽히 제거되어야 한다. InAs NW 최적 성장 조건을 찾기위해 V/III raitio, 성장 온도, 기판표면처리 등의 성장 변수를 변화 시켜가며 실험을 수행하였다. Native oxide를 제거하기 위하여 HF와 buffered oxide etchant (BOE)를 사용하였다. InAs NWs 성장조건은 Indium flux를 고정 시키고 V/III ratio는 50~400까지 변화를 주었다. V/III ratio를 200으로 고정을 시키고 성장온도를 $375{\sim}470^{\circ}C$에서 성장 하였다. 이 때 InAs NWs는 $430^{\circ}C$에서 가장 높은 밀도와 aspect ratio를 얻을 수 있었다. Arsenic flux에 대해서는 많을 수록 좋은 aspect ratio를 얻을 수 있었다. 하지만 InAs 구조의 절대 부피는 거의 같다는 것을 확인 할 수 있었고 이는 온도와 V/III ratio가 Indium adatom의 surface migration length에 대하여 중요한 요소로 작용되는 것을 알 수 있었다.