Properies of ZrO2 thin films by Atomic Layer Deposition with Carrier Gas Assistant System (수송가스 도움 전구체 공급 장치를 이용한 ZrO2 박막의 원자층 증착 기술)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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- pp.342-342
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- 2007