• 제목/요약/키워드: 수명시험방법

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기체의 유량 및 온도 변화에 따른 진공 펌프의 성능 특성 연구

  • 허중식;임종연;인상렬
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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    • pp.16-16
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    • 2010
  • 반도체 및 LCD 공정이 진행되는 진공 챔버는 유량계, 진공 펌프 및 밸브 등을 이용하여 적절한 공정용 기체와 압력을 제어하게 된다. 공정에 따라 매우 높은 온도를 유지해야 하는 경우도 있다. 챔버 내부의 압력은 유입되는 기체의 시간에 따른 유량 변화에 의하여 주기적으로 변화하게 된다. 이러한 유량 변화는 장기적으로는 결국 펌프의 신뢰성(내구수명)에 영향을 주게 되며, 특히 고유량 및 저유량을 반복하게 되는 공정에 있어서는 더욱 큰 영향을 미치게 된다. 또한 챔버 내부는 다양한 화학적 반응이 일어나며 이러한 공정 기체들의 높은 온도는 결국 챔버에 연결된 펌프의 성능 및 신뢰성에도 영향을 주게 된다. 대부분의 반도체 및 LCD 공정이 이루어지는 압력에서는 전도 및 대류의 열전달 형태보다는 열복사에 의한 영향을 받게 되어 챔버를 적절히 설계한다면 펌프에 직접적으로 전달되는 복사량은 상대적으로 낮고, 펌프에 미치는 영향도 크지 않게 된다. 그러나 압력의 변화에 따라 전도 및 대류의 영향이 커지게 되는 경우에는 펌프 자체 및 성능에 큰 영향을 주게 될 것이다. 터보형 펌프의 국내(KS) 및 국제규격(ISO)의 성능시험방법에는 이러한 온도에 따른 펌프의 성능 특성 변화를 다루고 있지 않으며, 크라이오 펌프인 경우 열복사의 영향에 대한 시험방법이 일부 공개되어 있다[J. Vac. Sci. Technol. A 17(5)]. 본 연구에서는 기체의 유량 및 온도 변화에 따른 진공 펌프의 성능 특성 변화를 고찰하고자 하며, 향후 이러한 시험방법에 대한 표준 절차를 확립하고자 한다.

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기체의 유량 및 온도 변화에 따른 진공 펌프의 성능 특성 연구

  • 허중식;임종연;인상렬
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.328-328
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    • 2010
  • 반도체 및 LCD 공정이 진행되는 진공 챔버는 유량계, 진공 펌프 및 밸브 등을 이용하여 적절한 공정용 기체와 압력을 제어하게 된다. 공정에 따라 매우 높은 온도를 유지해야 하는 경우도 있다. 챔버 내부의 압력은 유입되는 기체의 시간에 따른 유량 변화에 의하여 주기적으로 변화하게 된다. 이러한 유량 변화는 장기적으로는 결국 펌프의 신뢰성(내구수명)에 영향을 주게 되며, 특히 고유량 및 저유량을 반복하게 되는 공정에 있어서는 더욱 큰 영향을 미치게 된다. 또한 챔버 내부는 다양한 화학적 반응이 일어나며 이러한 공정 기체들의 높은 온도는 결국 챔버에 연결된 펌프의 성능 및 신뢰성에도 영향을 주게 된다. 대부분의 반도체 및 LCD 공정이 이루어지는 압력에서는 전도 및 대류의 열전달 형태 보다는 열복사에 의한 영향을 받게 되어 챔버를 적절히 설계한다면 펌프에 직접적으로 전달되는 복사량은 상대적으로 낮고, 펌프에 미치는 영향도 크지 않게 된다. 그러나 압력의 변화에 따라 전도 및 대류의 영향이 커지게 되는 경우에는 펌프 자체 및 성능에 큰 영향을 주게 될 것이다. 터보형 펌프의 국내(KS) 및 국제규격(ISO)의 성능시험방법에는 이러한 온도에 따른 펌프의 성능 특성 변화를 다루고 있지 않으며, 크라이오 펌프인 경우 열복사의 영향에 대한 시험방법이 일부 공개되어 있다[J. Vac. Sci. Technol. A17(5)]. 본 연구에서는 기체의 유량 및 온도 변화에 따른 진공 펌프의 성능 특성 변화를 고찰하고자 하며, 향후 이러한 시험방법에 대한 표준 절차를 확립하고자 한다.

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고분자재료의 피로과정에서의 비선형 동적 점탄특성 평가법 (Evaluation Technique of Nonlinear dynamic Viscoelasticity During Fatigue Process for Polymeric materials)

  • 조남주
    • 유변학
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    • 제9권3호
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    • pp.97-102
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    • 1997
  • 내피로성은 기계적 구조물로 사용되는 고분자재료에는 반드시 필요한 성질이며, 피 로거동은 재료특유의 비선형 동적 점탄특성과 아주 밀접한 관계가 있다. 본 연구에서는 피 로과정에서의 비선형 동적 점탄특성을 정량적, 연속적으로 측정할수 있는 시험 기기와 가해 준 변형에 대한 응답 응력파의 기본 응력파(선형적 응답)로부터의 차이를 직접 측정하여 이 를 규격화한 비선형 점탄성파라미터, NVP(Nonlinear Viscoelastic Parameter)라 명명한 새 로운 평가방법을 개발하였다. 그리고 고밀도 폴리에틸렌(HDPE) 배향물을 사용하여 그 평가 방법의 타당성을 조사한 결과 피로과정에서의 비선형동적 점탄특성을 나타내는 NVP가 증 가함에 따라 재료의 피로수명은 감소하였다. 따라서 NVP가 고분자재료의 내피로성을 평가 하는 척도로서 사용가능하다는 사실이 증명되었다. 또한 각 고조파 성분에대해 조사한 결과 인장형 피로시험양식에서는 고체입자 분산계의 전단변형에서 나타난 비선형 점탄성의 결과 와는 달리 2차 성분의 크기가 가장컸으며 NVP에의 기여도도 가장 크게 나타났다. 이는 변 형양식의 차이에 따른 결과를 볼수 있다.

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고전압회전기 고정자권선의 모의결함에 따른 부분방전 특성인자 분석 (Analysis Of PD Characteristic Parameters Based On Simulated Defects For High Voltage Rotating Machine Stator Bar)

  • 오봉근;김현일;한창동;임기조
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2007년도 제38회 하계학술대회
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    • pp.1399-1400
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    • 2007
  • 고전압회전기 고정자권선의 절연은 열적, 전기적, 기계적, 환경적 스트레스에 복합적으로 노출되어 열화 된다. 이런 열화의 진전특성을 분석하기 위한 고정자권선 절연상태 진단은 안정한 운전을 보장하고 발전기의 잔여수명을 연장하는데 매우 중요한 방법이다. 이 논문에서는 절연상태를 진단할 수 있는 시험방법 중 부분방전시험을 이용하여 고정자권선에서 발생할 수 있는 모의결함을 인가하고 결함별로 나타나는 위상기준 부분방전 분포특성을 분석하여 결함별 특성을 식별하였다.

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충전 전압 특성을 이용한 리튬 이온 배터리의 잔존 수명 예측 (Remaining Useful Life Prediction of Li-Ion Battery Based on Charge Voltage Characteristics)

  • 심성흠;강진혁;안다운;김선일;김진영;최주호
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제37권4호
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    • pp.313-322
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    • 2013
  • 배터리는 최근 여러 분야에서 중요한 에너지원 역할을 하고 있는데, 사용 중 충방전을 거듭하면 용량이 점차 저하되며 초기 대비 80% 이하로 떨어지면 고장으로 간주되므로, 이를 예측하기 위한 수명 예측 기법이 활발히 개발되고 있다. 본 연구에서는 사용중인 배터리에 대해 충전곡선 기울기를 이용하여 배터리의 용량을 평가하고 이를 바탕으로 잔존수명을 예측하는 새로운 방법을 제안하였다. 이 과정에서 발생하는 여러 불확실성을 고려하기 위해 베이지안 접근법에 기반한 파티클 필터 방법을 활용하였고 그 결과 잔존수명을 확률분포로 구하였다. 개발된 방법을 미국 NASA Ames 연구소와 본 연구실에서 직접 수행한 배터리 충방전 시험 데이터에 대해 각각 적용한 결과 충전곡선 기울기가 용량 열화를 잘 나타내며 파티클 필터로 예측된 잔존수명 신뢰구간은 실제 수명을 잘 포함함을 확인할 수 있었다.

벼 유전자원의 저장수명 예측을 위한 건열처리 효과 (Dry-heat Treatment Effect for Seed Longevity Prediction in Rice Germplasm)

  • 나영왕;백형진;최유미;이석영;이정로;정종욱;박용진;김석현
    • 한국작물학회지
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    • 제59권3호
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    • pp.230-238
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    • 2014
  • 벼 유전자원의 효율적인 보존관리를 위해 종자수명 예측방법을 규명하고자 본 시험을 수행하였다. 효과적인 종자수명 예측 방법을 규명하기 위해 전년도에 수확한 벼 106품종을 대상으로 인위노화처리 방법인 노화촉진(AA)처리, 퇴화조절(CD) 및 건열처리(DHT)를 실시하고, $4^{\circ}C$ 저장고에 26.5년간 보존된 벼 유전자원 3,066점의 종자수명 자료와 비교분석한 결과는 다음과 같다. 벼 유전자원의 효과적인 종자수명 예측 방법으로는 건열처리($90^{\circ}C$, 36시간)였다. 전년도 수확한 벼 품종의 건열처리 후 발아율 성적을 사분위수로 4개의 분류군으로 나누었을 때, 분류군별로 분포하는 벼 생태형별 품종 비율이 $4^{\circ}C$ 저장고 보존자원의 최종발아율에 따른 4개 분류군의 분포비와 흡사하였다. 갱신 된 벼 유전자원을 $4^{\circ}C$ 저장고 보존시 효율적인 첫 활력모니터링 시점은 4개 분류군 중 I군에 속하는 자원은 저장 후 14년, II군, III군, IV군에 속한 자원들은 각각 저장 후 17, 20, 45년을 기준으로 하여 설정할 수 있겠다. 건열처리는 벼 유전자원 종자수명 예측뿐만 아니라 종자은행에서 보존자원의 효율적인 활력검정 주기 설정 및 갱신 주기 결정에도 도움이 되겠다.

플라스틱 호스 조립체의 가속수명시험 방법에 대한 연구 (A Study on Procedures of the Accelerated Life Testing for Hose Assemblies)

  • 이용범;김형의;김종기;박종호
    • 연구논문집
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    • 통권34호
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    • pp.79-85
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    • 2004
  • There are several types of life test method for hose assemblies. The two major tests used for hose assemblies are impulse test and burst test. And magnification adjustment of impulse pressure, heating of testing oil and repetitive motions of bending and straightening of testing hose are also performed for accelerating the life. According to the manufacture process of hose and swaging process of fitting, there is a difference in the life of hose assemblies from minimum 7 times to maximum 40 times during the life test in the same functioning condition. Like this, the life test of hose which has a wide scope of life distribution gives a problem that observation should take a long time to find out the existence of the bursting from the beginning of the test to the completion of bursting of hose assemblies. Therefore, this research proposes a process of concentrating on the defective section of hose assemblies and maximizing the life acceleration by giving 'Knockdown stress' to hose assemblies just until before the hose assemblies get out of order.

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하이포이드 회전감속기의 가속 수명시험 방법에 관한 연구 (A Study on Accelerated Life Test of Hypoid Gear Rotary Reducer)

  • 윤상환;백권인;김현경;류성기
    • 한국기계가공학회지
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    • 제16권3호
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    • pp.63-68
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    • 2017
  • In order to process more complicated and higher-precision parts, generally, an additional axis for a machine tool is needed which was an approach to minimize the cost of tool modification. A table with a rotary reducer that can rotate through the axis of the gear system was employed to a machine tool to achieve the purpose of adding an extra motion axis. In general, the motion of the rotary reducer is driven by a worm/wheel or helical gear system, which is different from the hypoid helical gear structure that used in this research. Reliability of guarantee of high accurancy throughout the whole life cycle is on of the critical factors to evaluate a rotary reducer in this field. In this paper, in order to evaluate life-time of rotary reducer, a low-cost accelerated life test was developed to satisfy the demands of clients.

AL7075-T6의 최적 쇼트피닝 조건에 관한 연구 (A Study on the Optimum Shot Peening Condition for Al7075-T6)

  • 정성균;김태형
    • 한국항공우주학회지
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    • 제31권7호
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    • pp.63-68
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    • 2003
  • 쇼트피닝 가공은 금속부품의 피로특성 향상을 위해 대부분 널리 이용되고 있는 방법이다. 쇼트피닝 가공에 있어 재현성이 있고 신뢰할 수 있는 최적화된 피로특성 증가를 위해 가장 중요한 점이 쇼트피닝 변수 조절이다. 본 논문에서는 최적 피닝강도(알멘강도) 조건에 대한 실험적인 연구가 수행되었다. 피로 특성에 관한 최적피닝의 효과를 검토하기 위하여 회전굽힘피로시험법을 채택하였다. 실험 결과 피로강도와 피로수명이 최적피닝 조건에 의해 크게 증가하였으나 언더피닝 및 오버피닝의 경우에는 감소함을 보였다.

원자력分野에서의 破壞力學 現況 -법적 요구사항을 중심으로 (II)-

  • 송달호;손갑헌
    • 기계저널
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    • 제20권6호
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    • pp.457-467
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    • 1980
  • 가동중조사(ISI)에 적용되는 ASME-MI 의 1974년 Edition에 ISI시 검출된 흠함을 평가하는 절 차가 제시되었다는 것은 이미 언급한 바 있다. 가동중검사의 개념은 ASME-III에 따라 건설된 부품이라 하더라도 원자력발전소의 온 수명기간동안 또는 정해진 수명기간동안 재료 내부에 흠 함이 전혀 생기지 않는다거나 또는 성장하지 않는다고 볼 수 없다는데 에 근거를 둔 것이다. 즉, 부품을 건설할 때 ASME-III의 규정에 따라 수행한 비파괴시험(nondestructive examination)에 의하여 합격된 부품이라 할지라도 시험방법의 유효성 및 합격기준등에 의하여 발견되지 않았 거나, 발견되었더라도 합격된 흠합등이 있을 수 있다. 이러한 흠함들이 원자로의 가동과 더불어 성장하거나, 또는 부품의 사용조건에 따라 흠함이 새로이 발생할 경우는 RCPB의 구조적 건전성 및 안정성은 위협을 받게된다. 이에 대처하기 위하여 원자력발전소의 전수명기간의 통하여 정 기적으로 ISI를 수행해 줄 것이 10CFR50의 50, 55a, "Codes and Standards"에 법적으로 명문 화되어 있다. ISI 시발견된 흠함은 그 크기를 평가하여 합격기준을 초과하는 경우에는, 흠함의 제거(removal), 항리(repair), 부품의 대체(replacement), 또는 파괴력학적인 해석에 의하여 그러한 흠함이 구조건 안전성을 손상시키지 않는다는 것을 입증해 주어야 한다. ISI 시에 검출된 흠함을 평가하고 파괴력학적으로 해석하는 규정으로서 ASME-XI에 명시된 절차는 다음과 같다.차는 다음과 같다.

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