• 제목/요약/키워드: 송관식

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F-based 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 와 InGaP 반도체의 건식식각에 관한 연구 (A Study of Dry etching of GaAs over AlGaAs and InGaP Semiconductor in F-based Plasmas)

  • 장수욱;류현우;최충기;문준희;이장희;유승열;임완태;이제원;전민현;조관식;송한정;백인규;권민철;문성진;신동현
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2005년도 춘계학술발표대회 및 제8회 신소재 심포지엄 논문개요집
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    • pp.55-55
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    • 2005
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평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 및 GaAs/InGaP 의 선택적 및 비선택적 건식식각의 비교 (Comparison of Selective and Non-Selective Dry Etching of GaAs/AlGaAs and GaAs/InGaP using Planar Inductively Coupled Plasmas)

  • 박민영;최충기;류현우;노호섭;문준희;유승열;임완태;이제원;조관식;전민현;송한정;백인규;권민철;박건수;윤진성
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2005년도 춘계학술발표대회 및 제8회 신소재 심포지엄 논문개요집
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    • pp.73-73
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    • 2005
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저진공 펄스 직류 전원 BCl3 플라즈마의 전기적 특성과 GaAs의 식각 특성 분석

  • 이제원;박동균;노강현;신주용;조관식;손근용;송한정
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.137-137
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    • 2011
  • 펄스 직류 $BCl_3$ 플라즈마의 전기적 특성과 GaAs의 건식식각을 연구하였다. 공정변수는 펄스 직류 전압 (350~550 V), 펄스 직류 주파수 (100~250 kHz), 리버스 시간 (0.4~1.2 ${\mu}s$)이었다. 전기적 특성은 오실로스코프를 이용하여 분석하였다. 펄스 직류 전원의 경우 평균 전압이 일정하더라도 주파수가 커지거나 리버스 시간이 커지면 peak-to-peak 전압이 증가한다는 사실을 이해하였다. GaAs 식각 실험 후 샘플의 식각률, 식각 선택비, 표면 형상을 비교, 분석하였다. GaAs의 식각 결과는 식각 속도, 식각 선택비, 표면 형상, 잔류 물질 분석을 실시하엿다. 본 실험에서는 1대의 기계적 펌프만을 상ㅇ하여 진공 압력을 유지하였다. GaAs의 식각 속도는 10 sccm $BCl_3$를 사용한 경우 최대 0.4 ${\mu}m$까지 얻을 수 있었다. 감광제에 대한 최대 식각 선택비는 약 2.5 : 1이었다. BCl3 플라즈마의 경우 75 mTorr의 저진공 조건에서는 500 V, 250 kHz, 0.7 ${\mu}s$의 실험에서 가장 좋은 식각 특성을 얻을 수 있엇다. X-레이 광전 분석기 데이터에 의하면, 식각된 GaAs의 표면을 깨끗하였으며, 염소와 관련된 잔류 물질은 거의 발견되지 않았다.

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3관식 시스템 히트펌프의 충전량 변화에 따른 성능 특성에 관한 연구 (The performance of a heat pump with 3-piping system at various charging conditions)

  • 송인식;최종민;주영주;정현준;강훈;김용찬
    • 대한설비공학회:학술대회논문집
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    • 대한설비공학회 2008년도 하계학술발표대회 논문집
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    • pp.288-293
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    • 2008
  • The cooling load in winter is significant in many commercial buildings and hotels because of the usage of office equipments and the high efficiency of wall insulation. The development of a multi-heat pump that can cover heating and cooling simultaneously for each indoor unit is required. In this study, the performance of a multi-heat pump with 3-piping system was investigated as a function of refrigerant charge and its performance was analyzed in cooling mode, heating mode, and heat recovery mode. COP in the heating or cooling mode showed little dependence on refrigerant charge at overcharge conditions, while those were strongly dependent on refrigerant charge at undercharge conditions and outdoor inlet temperature. In the heat recovery mode, the performance of the system was very sensitive to charge amount at all conditions. Optimum charge amount in the heat recovery mode was 14% lower than that in the cooling mode at the standard condition because the refrigerant only passed the indoor units. It is required to store the excessive refrigerant charge in a storage tank to optimize the system performance at operating modes.

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물 묻은 지문을 인식하기 위한 프리즘 광학계의 설계 및 실험적 고찰 (Design and Experiment of an Optical System using a Prism with a High Enough Refractive Index for Wet Fingerprint Identification)

  • 강명훈;김진수;정진우;고은미;김재규;조관식;송한정;황재문
    • 한국광학회지
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    • 제18권6호
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    • pp.395-400
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    • 2007
  • 본 연구는 지문 인식 시스템 중에서 프리즘을 이용한 광학계의 설계에 대한 것이다. 이는 프리즘, 렌즈, 그리고 CMOS 이미지 센서(혹은 CCD) 등으로 구성되어 있는 광학계이다. 종래의 프리즘을 이용한 지문인식 광학계에서는 지문에 물이 묻어 있는 경우에 영상의 품질이 현저히 저하되는 문제점이 있다. 이 경우에 프리즘의 굴절률을 높임으로써 영상의 품질을 충분히 높일 수 있었다. 또한 프리즘과 렌즈를 사용함으로 인하여 발생하는 비대칭 축소 왜곡(anamorphic distortion)과 상면의 지를 최소화되는 프리즘 꼭지각 $\alpha$를 제안한다.

관수(灌水)에 의(依)한 시비양분(施肥養分)의 토양중(土壤中) 이동(移動)에 관(關)한 연구(硏究) -2. 토양수분(土壤水分) 조건(條件)과 Cl와 P의 이동(移動) (Movement Of Applied Nutrients Through Soils By Irrigation -2. Effect of soil water on the movement of Cl and P in the soil)

  • 류관식;유순호;송관철
    • 한국토양비료학회지
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    • 제24권3호
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    • pp.159-164
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    • 1991
  • 토양수분(土壤水分) 조건을 달리하였을 때 토양(土壤)에 시용한 양분(養分)이 작물(作物) 생육시기별(生育時期別)로 어떻게 이동(移動)하는가를 구명(究明)하기 위하여 본양(本良) 사양토(砂壤土) (Typic Udifluvents)에서 Ladino clover를 공시작물(供試作物)로 하여 microplot(D 20cm, L 85cm)시험(試驗)을 수행하였다. 토양수분장력(土壤水分張力)을 0.2, 1.0, 5.0 bar, 및 무관수의 4수준으로 하였을때 염소(鹽素) 이온의 하향(下向)이동은 토양수분(土壤水分) 조건이 좋을수록 빠르게 진행되어 관수점(灌水点) 0.2bar 처리구에서는 5.5개월후에는 모든 처리구에서 microplot 내 토층(土層)에서 Cl이온은 검출되지 않았다. 공시토양(供試土壤)은 유효인산(有效燐酸)함량이 매우높고 사질(砂質)임에도 인산비료(燐酸肥料)로 용과린을 사용하였기 때문에 인산(燐酸) 시용량이 많으며, 관수량이 많았으나 인산(燐酸)이 거의 이동(移動)되지 않아 시용 인산(燐酸)의 대부분이 시비지점(施肥地點)에 분포되어 있었다. 토양수분장력(土壤水分張力)이 낮게 유지된 구의 토양(土壤)일수록 유효태(有效態)로 침출되는 인산(燐酸)이 많고 식물체(植物體)에 의하여 흡수되는 양도 증가 하였다. 최종수확기(最終收穫期)에 무관계구에서는 시용(施用) 인산(燐酸)의 13%가 유효태(有效態)로 침출되고 14%가 작물(作物)에 흡수되었는데 비해 관수점(灌水点) 0.2bar 처리구에서는 24%가 침출되고 23%가 작물(作物)에 의해 흡수(吸收)되었다.

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다층 RIE Electrode를 이용한 아크릴의 O2/N2 플라즈마 건식 식각 ([O2/N2] Plasma Etching of Acrylic in a Multi-layers Electrode RIE System)

  • 김재권;김주형;박연현;주영우;백인규;조관식;송한정;이제원
    • 한국재료학회지
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    • 제17권12호
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    • pp.642-647
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    • 2007
  • We investigated dry etching of acrylic (PMMA) in $O_2/N_2$ plasmas using a multi-layers electrode reactive ion etching (RIE) system. The multi-layers electrode RIE system had an electrode (or a chuck) consisted of 4 individual layers in a series. The diameter of the electrodes was 150 mm. The etch process parameters we studied were both applied RIE chuck power on the electrodes and % $O_2$ composition in the $N_2/O_2$ plasma mixtures. In details, the RIE chuck power was changed from 75 to 200 W.% $O_2$ in the plasmas was varied from 0 to 100% at the fixed total gas flow rates of 20 sccm. The etch results of acrylic in the multilayers electrode RIE system were characterized in terms of negatively induced dc bias on the electrode, etch rates and RMS surface roughness. Etch rate of acrylic was increased more than twice from about $0.2{\mu}m/min$ to over $0.4{\mu}m/min$ when RIE chuck power was changed from 75 to 200 W. 1 sigma uniformity of etch rate variation of acrylic on the 4 layers electrode was slightly increased from 2.3 to 3.2% when RIE chuck power was changed from 75 to 200 W at the fixed etch condition of 16 sccm $O_2/4\;sccm\;N_2$ gas flow and 100 mTorr chamber pressure. Surface morphology was also investigated using both a surface profilometry and scanning electron microscopy (SEM). The RMS roughness of etched acrylic surface was strongly affected by % $O_2$ composition in the $O_2/N_2$ plasmas. However, RIE chuck power changes hardly affected the roughness results in the range of 75-200 W. During etching experiment, Optical Emission Spectroscopy (OES) data was taken and we found both $N_2$ peak (354.27 nm) and $O_2$ peak (777.54 nm). The preliminarily overall results showed that the multi-layers electrode concept could be successfully utilized for high volume reactive ion etching of acrylic in the future.

침지용매에 따른 숙지황의 품질특성 (Quality Characteristics of Rehmannia radix Preparata with Pre-soaking Solvents)

  • 우관식;송대식;이준수;이희봉;정헌상
    • 한국식품과학회지
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    • 제39권3호
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    • pp.289-294
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    • 2007
  • 숙지황의 제조에 미치는 침지용매의 영향을 살펴보기 위하여 건지황을 막걸리와 증류수에 24시간 침지한 후 구증구포하여 숙지황을 제조하면서 증수에 따른 catalpol, 5-HMF, polyphenol, flavonoid, 항산화활성 및 ACE 저해활성 등을 분석하였다. Catalpol 함량은 건지황에서 631.4ppm으로 나타났으며, 증수가 증가할수록 급격히 감소하였고 막걸리 침지는 8증(75.84 ppm)까지, 증류수 침지 처리구는 9증(61.27 ppm)까지만 검출되었다. 5-HMF, 총 폴리페놀, 총 플라보노이드 함량은 증수가 증가할수록 증가하였으며, 5-HMF는 막걸리 침지는 13증(0.40%) 이후에, 증류수 침지 처리구는 11증(0.40%) 이후에 시판 숙지황의 함량과 비슷하였고 총 폴리페놀 함량과 총 플라보노이드 함량은 막걸리와 증류수침지 처리구 모두 14증에서 가장 높은 함량을 나타내었다. 전자공여능은 건지황과 시판 숙지황 모두 1 mg/mL의 농도에서 각각 19.44 및 52.49%이었으며, 막걸리와 증류수침지 시료 모두 14증에서 각각 66.80 및 75.60%로 증가하였다. 총 항산화력도 처리증수가 증가할수록 증가하였다. ACE 저해활성은 건지황과 시판 숙지황 모두 1 mg/mL의 농도에서 각각 28.70 및 49.37%로 이었으며, 처리증수가 증가할수록 증가하여 막걸리와 증류수침지 시료 모두 10증에서 각각 93.23 및 94.78%로 가장 높은 활성을 나타내었다.

브레딩시 밀 식이섬유 첨가가 돈육 등심 돈가스 품질특성에 미치는 영향 (Effects of Wheat Fiber with Breading on Quality Characteristics of Pork Loin Cutlet)

  • 박관식;최윤상;김현욱;송동헌;이수연;최지훈;김천제
    • 한국축산식품학회지
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    • 제32권4호
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    • pp.504-511
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    • 2012
  • 본 연구는 밀 식이섬유(wheat fiber)를 첨가한 돈가스의 이화학적 및 관능적 특성에 미치는 영향을 조사하였다. 밀 식이섬유 첨가량이 증가함에 따라 돈가스의 수분함량, 회분함량, pH 및 명도는 증가하는 경향을 나타내었고, 반대로 지방함량, 칼로리, 적색도, 경도, 응집성, 검성 및 씹음성은 감소하였다. 돈가스의 단백질함량, 황색도, 탄력성 및 풍미는 대조구와 밀 식이섬유를 첨가한 처리구간에 유의적인 차이를 보이지 않았다. 관능적 특성의 전체적인 항목은 밀 식이섬유 첨가구가 높은 점수를 받는 것으로 나타났으며, 특히 3% 밀 식이섬유 첨가한 돈가스가 전체적인 기호도에서 가장 우수한 평가를 받았다. 또한, 밀 식이섬유를 첨가한 돈가스의 가열전 보관 시간은 2시간을 넘지 않는 것이 관능적으로 우수한 결과를 나타내었다. 따라서 밀 식이섬유를 첨가한 돈가스의 제조시 3%의 밀 식이섬유를 첨가할 시 돈가스의 품질이 보다 개선된 제품을 제조할 수 있을 것으로 보이며, 돈가스류 제품의 밀 식이섬유의 기능성 소재로의 활용성이 높다고 사료된다.