• Title/Summary/Keyword: 소결 온도

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Ar 및 $O_2$ 유량에 따라 스퍼터된 GZO 박막의 특성변화

  • Kim, Jong-Uk;Kim, Deok-Gyu;Kim, Hong-Bae
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.230-230
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    • 2011
  • RF magnetron sputtering을 이용하여 Ar 및 $O_2$유량에 따라 GZO 박막을 유리기판 위에 제작하고 구조적, 광학적, 전기적 특성을 조사하였다. 박막 증착 조건의 초기 압력은 $1.0{\times}10^{-6}$ Torr, RF 파워는 25W, 증착온도는 상온으로 고정하였으며 기판은 Corning 1737 유리 기판을 사용하였다. 공정 변수로 Ar 유량을 40 sccm, 60 sccm, 80 sccm, 100 sccm으로 변화시켰으며, $O_2$ 가스비율을 5~20%으로 변화를 주어 실험을 진행하였다. GZO 타겟은 ZnO,Ga 분말을 각각 97:3 wt.%로 소결된 타겟을 사용하였다. 유리기판 위에 증착된 모든 GZO 박막에서 (002) 면의 우선 배향성이 관찰되었고 평균 85% 이상의 투과율을 나타내었다. 산소유량이 포함되지 않고 Ar 유량이 적은 GZO 박막의 결정성은 향상되었고, 광학적 밴드갭은 증가하였다. Hall 측정 결과 산소의 유량이 포함되어 있는 박막에서는 모두 완전한 산화물에 가까운 화학양론적 조성으로 면저항이 $10^6{\Omega}/{\Box}$ 이상인 부도체 특성을 보였으며, 산소가 포함되지 않은 샘플에서는 투명전도막 특성이 확인되었다. 산소가 포함되지 않은 Ar 유량이 60 sccm일 때 전기비저항 $3.25{\times}10^{-3}{\Omega}cm$, 전하의 농도 $9.41{\times}10^{20}\;cm^{-3}$, 이동도 2.04 $cm^2V^{-1}s^{-1}$로 투명전도막으로 적합한 전기적 특성을 얻었다. GZO 박막의 경우 산소가 포함될 경우 결정성이 저하되고, 절연특성을 갖는 것을 확인할 수 있었다.

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Variation of Magnetic Properties of Cu-Zn-Mg Ferrites with Various Compositions and Sintering Temperatures (Cu-Zn-Mg ferrite의 조성성분 및 소결온도에 따른 자기적 특성변화 연구)

  • Koh, Jae-Gui
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.13 no.6
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    • pp.365-368
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    • 2003
  • Small amounts of additives such as mol % 0.13 NiO and mol % 0.01 $CaCO_3$were added to Cu-Zn-Mg ferrites. Basic composition of the Cu-Zn-Mg ferrites was $Cu_{Cu}$X/$Fe_{0.054}$ /$Zn_{0.486}$$Mg_{0.407}$ $Fe_{1.946}$ $O_4$(group A) and $Cu_{0.263}$$Fe_{0.027}$ $Zn_{0.503}$ $Mg_{0.262}$ $Fe_{1.973}$ $O_4$(group B). Specimens were sintered at different temperatures (1010, 1030, $1050^{\circ}C$) for 2 hours in air followed by an air cooling. Then, effects of various composition and sintering temperatures on the microstructure and the magnetic properties such as inductions, coercive forces, and initial permeabilities of the Cu-Zn-Mg ferrites were investigated. The average grain size increased with the increase of sintering temperature. The magnetic properties obtained from the aforementioned Cu-Zn-Mg ferrite specimens were 1,724 gauss for the maximum induction, 1.0 oersted for the coercive force, and 802 for the initial permeability. These magnetic properties indicated that the specimens could be utilized as the core of IFT (intermediate frequency transformer) and antenna in the amplitude modulation.

Influence of Sintering Temperature on Magnetic Properties of Ni-Zn-Cu Ferrites Used for Mangetic Shielding in NFC (NFC의 자기차폐용 Ni-Zn-Cu 페라이트의 자기특성에 미치는 소결온도의 영향)

  • Ryu, Yo-Han;Kim, Sung-Soo
    • Journal of Powder Materials
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    • v.23 no.2
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    • pp.132-135
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    • 2016
  • This study investigates the influence of sintering temperature on the magnetic properties and frequency dispersion of the complex permeability of Ni-Zn-Cu ferrites used for magnetic shielding in near-field communication (NFC) systems. Sintered specimens of $(Ni_{0.7}Zn_{0.3})_{0.96}Cu_{0.04}Fe_2O_4$ are prepared by conventional ceramic processing. The complex permeability is measured by an RF impedance analyzer in the range of 1 MHz to 1.8 GHz. The real and imaginary parts of the complex permeability depend sensitively on the sintering temperature, which is closely related to the microstructure, including grain size and pore distribution. In particular, internal pores within grains produced by rapid grain growth decrease the permeability and increase the magnetic loss at the operating frequency of NFC (13.56 MHz). At the optimized sintering temperature ($1225-1250^{\circ}C$), the highest permeability and lowest magnetic loss can be obtained.

Kinetics and Mechanism of Corrosion of ρ-alumina Bonded Alumina Castable by Molten Slag (ρ-알루미나결합 알루미나 캐스터블의 용융슬래그에 의한 침식기구)

  • 천승호;전병세
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.40 no.10
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    • pp.1015-1020
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    • 2003
  • The Corrosion behavior of the matrix of the $\rho$-alumina bonded alumina vibrated castable was, on the basis of Jabsen's theory, elucidated by use of the Kingery's reaction mechanism. Corrosion of the matrix during induction period was controlled by the molecular diffusion. The temperature dependence of activation process is well established by the Arrhenius plots. The difference of Ca concentration between slag and interface is 23.2%, which causes a driving force of the materials transfer. The extent of the corrosion of the matrix is more deeper than that of the sintered mullite, but the corrosion mechanism can be well employed as the reaction mechanism proposed by the Kingery. The life time of the castable may be well estimated by the corrosion mechanism of Kingery.

Microwave Dielectric Properties of 0.7Ba(Mg,Ta)O$_3$-0.3Ba(Co,Nb)O$_3$Ceramics with Sintering Temperature (소결온도에 따른 0.7Ba(Mg,Ta)O$_3$-0.3Ba(Co,Nb)O$_3$세라믹스 마이크로파 유전특성에 관한연구)

  • Lee, Moon-Kee;Kim, Nam-Young;Lee, Young-Hie
    • The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers C
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    • v.50 no.3
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    • pp.110-114
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    • 2001
  • $0.7Ba(Mg{\frac}_{1}{3}Ta{\frac}_{1}{3})O_3-0.3Ba({\frac}_{1}{3}Nb{\frac}_{1}{3})O_3ceramics$ were prepared by the conventional mixed oxide method. The ceramics were sintered at the temperature of $1500{\sim}1575[^{\circ}C]$ for 5 hours in air. The microwave dielectric properties of the specimens were investigated with sintering temperature. The 0.7BMT-0.3BCN ceramics showed typical XRD patterns of the complex perovskite structure. Dielectric constant and quality factor were increased with increasing the sintering temperature. In the case of the specimens sintered at $1575[^{\circ}C]$ for 5 hours, dielectric constant, quality factor and temperature coefficient of resonant frequency were good values of 28,23545 at 10[㎓] and -1.2 $[ppm/^{\circ}C]$, respectively.

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A Study on the Ohmi Ccontact Characteristics of Au-Pd-Ge System to (n)GaAs by Hot Plate Sintering (핫플래이트 소결에 의한 (n)GaAs에 Au-Pd-Ge계의 음성접촉 특성에 관한 연구)

  • 박창엽;남춘우;소지영
    • Electrical & Electronic Materials
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    • v.1 no.3
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    • pp.251-260
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    • 1988
  • n형 GaAs에 음성접촉을 형성함에 있어서 Au-Ge 공융합금을 용해시키는 alloying 보다는 sintering을 필요로 하는 Su-Pd-Ge계의 새로운 융성접촉을 도입하였다. Au-Pd-Ge계의 최적의 음성조건을 조사하기 위하여 Au/Pd/Ge, Au/Ge/Pd, Au/Pd/Ge/Pd 그리고 Au/Pd/Au/Ge 음성접촉을 제조하였다. 비접촉저항을 조사하는데 있어서 sintering 온도는 390-450.deg.C사이였고 시간은 30초에서 6분 사이였다. Au-Pd-Ge계의 비접촉저항은 alloying된 Au/Pd/Ge 접촉의 그것에 필적할 만큼 낮았으며 특히 Au/Ge/Pd 접촉은 430.deg.C, 3분의 sintering 조건에서 가장 낮은 1.2*$10^{-6}$.OMEGA..$cm^{2}$의 비접촉저항을 나타냈다. Au/Ge/Pd 접촉의 표면형상 및 접촉패턴 가장자리는 450.deg.C에서 2분 이상 sintering된 접촉을 제외하고는 sintering 후에 as-deposited 상태와 다를 바가 없었다. 430.deg.C, 3분 sintering에서 가장 낮은 비접촉저항을 나타낸 Au/Ge/Pd 접촉의 비접촉저항은 430.deg.C에서 Ge/Pd 두께 변화에 비교적 변화가 적었다.

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Microwave Dielectric Properties of the $0.98MgTiO_3-0.02BaTiO_3$ Ceramics with Sintering Temperature (소결온도에 따른 $0.98MgTiO_3-0.02BaTiO_3$ 세라믹스의 마이크로파 유전특성)

  • Choi, Eui-Sun;Lee, Moon-Kee;Lee, Sung-Gap;Bae, Seon-Gi;Lee, Young-Hie
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2001.05c
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    • pp.123-126
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    • 2001
  • The $0.98MgTiO_3-0.02BaTiO_3$ ceramics were prepared by the conventional mixed oxide method. The structural properties were investigated with sintering temperature and composition ratio by XRD, SEM and EDS. According to the X-ray diffraction patterns of the $0.98MgTiO_3-0.02BaTiO_3$ ceramics, the hexagonal $BaMg_6Ti_6O_{19}$ and ilmenite $MgTiO_3$ structures were coexisted. The dielectric constant$({\varepsilin}_r)$ and quality factor$(Q{\times}f_r)$ were decreased with increasing the sintering temperature in the range of $1275^{\circ}C{\sim}1350^{\circ}C$. In the case of the $0.98MgTiO_3-0.02BaTiO_3$ ceramics sintered at $1275^{\circ}C$, dielectric constant, quality factor and temperature coefficient of resonant frequency were 20.27, 76,845, $-46.6ppm/^{\circ}C$, respectively.

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The Structural properties of $BaTiO_3+Nb_2O_5$ ceramics with sintering temperature (소결온도에 따른 $BaTiO_3+Nb_2O_5$ 세라믹스 구조적 특성)

  • Lee, Sang-Chul;Kim, Ji-Heon;Kim, Kang;Ryu, Ki-Won;Lee, Young-Hie
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2001.05c
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    • pp.127-130
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    • 2001
  • The $BaTiO_3+xNb_2O_5$(x=6, 8, 10wt%) ceramics were prepared by conventional mixed oxide method. The structural properties of the $BaTiO_3+Nb_2O_5$ ceramics with the sintering temperature and addition of $Nb_2O_5$ were investigated by XRD and SEM. Increasing the sintering temperature, the $2{\theta}$ value of BT(110) peak was shifted to the lower degree and intensity of the $Ba_6Ti_2Nb_8O_{30}$ (133) peak was increased. Increasing the addition of $Nb_2O_5$, the intensity of $BaTiNb_4O_{13}$ (201) peak was decreased and $Ba_6Ti_2Nb_8O_{30}$ (133) peak was increased. The grain size of the $BaTiO_3+Nb_2O_5$ ceramics sintered at $1500^{\circ}C$ were almost uniform.

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Characteristics of Adsorption, Desorption of Exhaust Gases and Deactivation of LNT and SCR Catalysts for Diesel Vehicles (디젤 자동차용 LNT, SCR 촉매의 배출가스 흡착, 탈리 및 열화 특성)

  • Seo, C.K;Kim, H.N.;Choi, B.C.
    • Journal of Power System Engineering
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    • v.14 no.6
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    • pp.13-19
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    • 2010
  • 이 논문에서는 디젤자동차용 LNT와 SCR 촉매의 NO, $NH_3$ 흡착 및 탈리의 기본 특성과 수열화 온도와 시간 및 정량화된 황피독 농도에 대한 de-$NO_x$ 촉매의 내구성을 평가하였다. LNT 촉매는 열적으로 열화됨에 따라 Pt 및 Ba의 소결 및 응집으로 활성이 떨어져 $NO_x$ 전환율은 감소하였다. 반면에 Pt의 비활성화로 중간생성물인 $NH_3$ 생성량은 증가하였으며, 이때 생성된 $NH_3$는 LNT+SCR 복합시스템의 SCR 촉매의 환원제 역할을 담당한다. 1.0 g/L 이상의 황이 피독된 LNT 촉매는 탈황을 하여도 질소 산화물 흡장물질(Ba) 의 성능이 회복이 되지 않아 $NO_x$ 전환율은 회복되지 않았으며, 탈황 후 Pt 재활성화로 인해 NO2 및 SCR 환원제인 $NH_3$ 생성량은 증가하였다. SCR 촉매의 $NO_x$ 전환율은 $700^{\circ}C$ 36h, $800^{\circ}C$ 24h로 수열화 시킨 촉매는 전이금속 입자 성장 및 zeolite 구조 파괴로 인하여 급격하게 떨어졌으며, 0.36 g/L 황 피독된 촉매는 zeolite가 가지는 강산성 특정으로 내피독성이 강하여 탈황시 $NO_x$ 전환율은 회복되었다.

진공밀폐 용해법으로 제조된 $La_zCo_4Sb_{12}$ Skutterudite의 열전특성

  • Park, Gwan-Ho;Yu, Sin-Uk;Sin, Dong-Gil;Lee, Go-Eun;Jeon, Bong-Jun;Lee, U-Man;Kim, Il-Ho
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.321-321
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    • 2013
  • 열전재료는 열과 전기의 변환이 상호 가역적으로 일어나는 현상을 갖는 재료로서, 사용온도별로 여러 가지 재료가 개발되고 있다. 중온 영역에서 우수한 열전특성을 보이는 skutterudite는 격자 내에 2개의 공극을 갖고 있고 이에 적절한 원자를 충진하여 포논산란을 유도하고, PGEC(phonon-glass and electron-crystal) 개념을 적용하여 재료의 열적인 성질과 전기적인 성질을 동시에 제어함으로써 열전성능의 향상을 도모할 수 있는 재료이다. 본 연구에서는 챔버 내부 기체를 연속적으로 뽑아내어 진공도를 유지하는 방식이 아닌, 석영관을 앰플화한 진공밀폐 용해법을 사용하였다. 진공밀폐 용해법은 성분원소의 산화와 휘발을 억제하는데 있어 매우 유용한 공정이다. 용해를 통해 얻어진 잉곳을 용해와 동일한 방법으로 석영관에 밀봉하여 873 K에서 100시간 동안 진공열처리를 실시하였다. 또한, 합성된 잉곳의 기계적 특성 향상을 위해 $75{\mu}m$ 이하로 파쇄하여 진공 열간 압축 소결하였다. La가 충진된 $La_zCo_4Sb_{12}$ Skutterudites 단일상을 합성하여 La의 충진량(z)에 따른 열전특성과 전자이동특성을 조사하였다.

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