• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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• v.26 no.12
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• pp.2590-2597
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• 2002

A new torque measuring apparatus adopting the basic principle of a capacitive type sensor is proposed in this article. Two plate electrodes are working as a capacitive sensor, whose capacitance varies as torque is applied. One end of each plate is connected to the torque carrying shaft. Output characteristics of the torque sensor were theoretically analyzed and its validity was investigated through experiment. Calculations and calibration experiments show that the output is nonlinear, that is, the sensitivity is very high at low torque but decreases as torque increases. The sensitivity of the proposed system is about 100 times roughly higher than that of a conventional 4-strain gauge type torque sensor.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2003.07c
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• pp.1511-1513
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• 2003

본 논문에서는 polyimide를 감습물질로 한 정전용량형 정밀습도센서를 개발하여 실용화한 결과를 보고한다. 유리기판에 제작된 습도센서는 상대습도 11%RH${\sim}$96%RH 범위에서 다음과 같은 특성을 나타내었다. 감도; 0.5689 pF/%RH, 비선형성; 1.5%RH 미만, 히스테리시스; 약 1.5%RH, 감도특성의 온도 의존성; 0.08pF/$^{\circ}C$, 주파수 특성; 10, 100kHz에서 직선적.

• Composites Research
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• v.27 no.4
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• pp.146-151
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• 2014

In this study, the experimental study has been performed by varying the polarization of the electric field and impact force to check the piezoelectric characteristics of piezoelectric paint sensor. Piezoelectric paint sensor used in this study is composed of epoxy resin with a hardener and PNN-PZT powder in 1:1 weight ratio. The dimensions of the paint sensor specimen are $40{\times}40{\times}1mm^3$ and regular specimens were made using a mold. The voids are removed from the specimen in the vacuum desiccator. Both upper side and bottom side of the paint sensor were coated with silver paste for making an electrode and then dried at room temperature for a day. The poling treatment has been carried out under controlled conditions of the electric field in order to check the effect of piezoelectric sensitivities, while the poling temperature was fixed at room temperature and the poling time was set to 30 min. The piezoelectric sensitivities have been measured by comparing output voltage from paint sensor with output force from impact hammer when the impact hammer hits the paint sensor. In result, the effect of the electric field has been evaluated for the sensitivity and describe the result.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.7 no.8
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• pp.640-645
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• 1997

Pd게이트 MOS센서의 수소검지특성에 Pd 박막의 증착조건이 미치는 영향에 대해서 조사였다. rf power의 증가와 증착온도의 증가는 모두 센서의 감도와 초기반응속도를 감소시켰으며 rf power의 변화보다는 증착온도의 변화에 의한 효과가 현저하였다. 절연막을 Si$_{x}$N$_{y}$ /SiO$_{2}$로 대신한 결과 SiO$_{2}$에서돠는 달리 시간이 지남에 따라 평탄대역전압이 여러 단계로 변화하는 양상을 보였다. rf power, 증착온도, 기판의 변화가 MOS 센서의 감도나 초기반응속도등의 센서특성에 영향을 미친다는 사실을 확인할 수 있었다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2003.07c
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• pp.1615-1617
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• 2003

건설 중인 한국전력공사 765 kV 신태백 및 신가평변전소 GIS에 적용한 UHF 부분방전 센서의 사양을 제시하고 이에 대한 설명을 하였다. 또한 765 kV GIS에 센서를 취부하여 시험을 통해 센서의 주파수 특성시험과 감도 특성시험을 하였다. 아울러 센서성능을 측정하는 데에 필요한 장치와 회로를 보였고 시험결과를 이용하여 한전 사양을 충족시키는 방안을 제시하였다.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2000.08a
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• pp.112-117
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• 2000

생체 센서 (biosensor)란 생체 인식 요소를 구체화시킨 감지기 라고 정의할 수 있다. 생체 센서 중에서도 특히 혈액, 소변, 침 과 같은 생체 액체 성분이나 내쉬는 숨과 같은 기체 생체 성분을 분석하고 정량화하기 위한 생화학적 생체 센서는 최근에 급속한 발달을 하고 있고 이에 따라 이제까지는 시도해볼 수 없었던 새로운 개념의 질병 진단 체계가 도입되고 있다. 이제까지 병원의 임상 병리에서 주로 쓰이고 있는 생체 성분 분석은 방사선 동위원소 면역 분석$^{(1)}$ (Radio immunoassay) 방법인데 이는 항체등에 붙인 방사선 동위원소의 붕괴 시 나오는 감마선의 세기를 감지하여 성분을 정량화한다. 여기에는 방사선 물질 취급상 사용자가 제한적인 불편함이 있다. 두 가지 방법 모두 장비가 고정 배치되어 사용되기 때문에 휴대성과 같은 편리함이 없어서 일반 의사도 사용하기 어려운 점이 있다. 높은 감도, 실시간성, 경제성, 휴대성을 추구하는 생화학적 생체 센서는 이제 진단에 도입되기 시작하여 무한한 가능성을 열고 있다. (중략)

• Journal of the Korea Convergence Society
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• v.9 no.4
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• pp.137-142
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• 2018

This paper is studied, as basic research for measuring the accurate fuel amount of the CNG tank by using the transmit-receive ultrasonic sensor, the receiving sensitivity according to changed the pressure inside the tank and the contact surface of the ultrasonic sensor is analyzed. Measurement was carried out while changing the contact surface of the tank and the sensor to three shapes of Point, Line, and Surface and charging the pressure in the tank at an interval of 1 bar from 0 bar to 5 bar. Experiment results, as the pressure in the tank increased the tendency of the received signal value of the ultrasonic sensor to decrease was confirmed. As the contact area between the tank and the sensor increased, the value of the received signal increased, but the noise also increased. The results of experiment, it is judged that accuracy can be improved by changing the contact surface of the sensor.

• Journal of Sensor Science and Technology
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• v.8 no.1
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• pp.24-31
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• 1999

Ammonia gas sensors were fabricated with ZnO-based thin films grown by RF-magnetron sputtering method. The films which were doped with $MoO_3$ catalysts of various weight percents were grown in different sputtering gases to fabricate the sensors with a high sensitivity, low working temperature and rapid response time. To improve electrical stability, the films were aged in various conditions. The sensors doped with the catalysts and grown in oxygen sputtering gas showed the improvement of sensitivity. These exhibited the increase of surface carrier concentration and electron mobility. The sensor with 0.875wt.% $MoO_3$ catalysts showed the maximum sensitivity of 70 in ammonia gas concentration of 160 ppm at a working temperature of $300^{\circ}C$. The sensor which is aged at $330^{\circ}C$ for 72hrs in oxygen ambient exhibited tourer sensitivity of 57, but more stable properties, excellent linearity.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2000.02a
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• pp.62-62
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• 2000

비접촉식 온도센서는 물체에서 방출하는 적외선 등의 복사신호를 열에너지로 전환하고 이를 다시 전기신호로 2차 에너지 변환하여 온도를 감지하는 센서로 인체 검지를 응용한 다양한 상품 및 교통, 방재, 빌딩 시스템 등의 분야에 널리 응용되고 있다. 비접촉식 적외선 센서는 열에너지를 전기에너지로 변환하는 방법에 따라 양자형과 열형으로 구분되며, 이중 양자형은 광전도나 광기전력 효과 등을 이용하여 감도 및 응답성이 우수하다는 장점을 지니고 있지만, 소자부를 80K 이하 온도로 유지시키는 냉각을 필요로 하므로 대형 제작이 불가피하고 그 용도가 제한적이다. 열형은 냉각이 필요 없고 소형으로 제작가능한 장점을 지니고 있어 써모 파일이나 초전체를 이용한 번용 센서가 보급되고 있다. 그러나 써모파일의 경우 출력되는 전기 신호가 미약하여 감도 및 응답성을 향상하기 위해 구조가 복잡하고, 특히 모터초퍼나 저항을 전압으로 변환시키는 전력기 등이 필요로 하는 단점을 지니고 있다. 따라서 이러한 문제점을 보완하기 위해 열전재료 박막을 이용한 적외선 센서를 개발하려는 노력이 진행중에 있다. 열전박막을 이용한 적외선 센서는 열전재료의 Seebeck 현상을 이용하여 열에너지에서 전기에너지의 변환이 자가발전으로 이루어져 offset과 외부 바이어스를 필요로 하지 않는다. 또한 작은 온도 변화에도 그 감도와 응답성이 높고, 출력신호가 커서 증폭기 등이 불필요한 장점을 지니고 있다. 특히 초전형 센서가 상온에서도 기판에 대한 열 확산을 제어해야 하는 문제점을 갖는 반면, 열전박막형 적외선 센서는 고온에서도 안정된 출력 신호를 얻을 수 있어 그 활용 온도 범위가 크게 확대될 것으로 기대된다. 본 실험에서는 우수한 열전특성을 갖는 (Bi1-xSbx)2Te3 박막을 얻기 위해 열팽창계수가 작고 알칼리 원소가 0.3% 이하로 포함되어 있는 corning glass(# 7059)를 기판으로 사용하였다. 또한 최적의 열전특성을 나타내는 조성을 실험적으로 구하기 위해 (Bi0.2Sbx)2Te3 조성의 합금 타？ 위에 Bi2Te3 및 Sb2Te3 chip을 올려놓고 그 면적을 변화시켜 다양한 조성의 열전박막을 증착하였다. 열전박막의 증착시 산화와 오염에 의한 열전특성 변화를 최소화하기 위해 초기진공도를 1$\times$10-6 Torr로 하였으며, Ar 가스를 흘려주어 2$\times$102 Torr 의 증착진공도를 유지하였다. 열전박막을 증착하기 전에 기판을 10분간 200W의 출력으로 RF 처리하였으며, 30$0^{\circ}C$에서 33 /sec의 속도로 (Bi1-xSbx)2Te3 박막을 증착하였다. 이와 같이 제조된 (Bi1-xSbx)2Te3 박막의 미세구조를 SEM으로 관찰하고 EDS로 조성을 분석하였으며, XRD를 이용하여 결정성을 관찰하였다. 또한 (Bi1-xSbx)2Te3 박막의 Seebeeck 계수 및 전기비저항을 측정하고 증착된 박막조성, 결정상, 미세구조와 열전특성간의 상관관계를 고찰하였다.

• Journal of the Korean Ceramic Society
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• v.39 no.9
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• pp.840-845
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• 2002

As an ozone gas sensor, the semiconductor gas sensor which is cheap, portable and simple in use and has a high sensitivity and an excellent selectivity, has been known as an alternative. In the present study, ITO ($In_2O_3 95%,\;SnO_2$ 5%) thin films were deposited on the alumina substrate by using R.F. magnetron sputtering method. The substrate temperature was 300$^{\circ}C$ and 500$^{\circ}C$, respectively and then some specimens were annealed at 500$^{\circ}C$ for 4h in air. ITO gas-sensing films formed crystallines before and after annealing. As results of gas sensitivity measurements to an ozone gas, the sensor deposited at 300$^{\circ}C$ and then annealed has the highest sensitivity (sensible below 1 ppm). As the operating temperature increased gradually, the sensitivity decreased but the response time and stability improved.