Fabrication of $Al/PZT/RuO_2$ Micro Cantilever System and Computer Simulation of Resonant Characteristics
($Al/PZT/RuO_2$ 마이크로 갠틸레버의 제작과 공진 특성 전산모사)
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- Journal of the Korean Ceramic Society
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- v.38 no.7
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- pp.634-638
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- 2001