Development and Design of an Efficiency Management System of Semiconductor Automation System using Petri-Net (패트리넷을 이용한 반도체 자동화 시스템의 효율관리 시스템 설계 및 개발)
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- Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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- 2003.05a
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- pp.670-673
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- 2003