본 논문에서는 메조포러스 백금 전극이 적용된 무효소 혈당센서를 실리콘 기판 위에 제작하여 향후 CMOS 회로와의 집적이 가능하도록 설계하였으며, 초소형 무효소 혈당센서 구조의 최적화를 위하여 동일한 면적에서 여러 가지 구조의 센서를 설계 및 제작을 하고 그 결과를 비교 분석하였다. 제작된 무효소 혈당센서는 3전극시스템으로 구성되고 그 특성은 작동전극과 타 전극사이의 간격에 가장 민감한 변화를 보였다. 최적화된 구조를 갖는 센서는 11.1mM glucose실험에서 12.9${\mu}A$의 응답전류를 얻었으며 이 값은 효소를 사용한 센서와 비교하여도 월등히 큰 응답임을 알 수 있었다. 또한 제작된 센서들은 구조 최적화를 위하여 $9mm^2$로 동일한 크기로 실험을 하였지만, 이 크기는 응답전류가 매우 크므로 더욱더 소형화가 가능함을 알 수 있다.
본 논문에서는 CPW 구조를 이용하여 60 GHz 무선 시스템 응용을 위한 V-band용 하향 주파수 혼합기를 설계 및 제작하였다. 하향 주파수 혼합기의 설계 및 제작에 있어서 GaAs PHEMT(Pseudomorphic high electron mobility transistor)를 기반으로 하였으며, 회로설계를 위해 coplanar waveguide(CPW) 라이브러리를 구축하여 이용하였다. 제작된 하향 주파수 혼합기의 변환이득은 국부발진주파수(LO) 입력이 8 dBm일 때 -8.5 dB의 최대 변환이득 특성을 얻었으며 Pl dB는 -3.3 dBm을 얻었다. 제작된 회로의 칩 크기는 1.6$\times$l.6 $\textrm{mm}^2$ 이다.
3-layer polysilicon 표면미세가공공정을 이용하여 micro zone plate 렌즈와 미러 및 이를 구동하기 위한 구동기를 일체화시킨 마이크로 구동형 광학소자를 설계, 제작하였다. 650nm의 파장대역에서 초점거리가 $500{\mu}m$가 되도록 마이크로 zone plate 렌즈를 설계하였으며, 렌즈의 광학축은 실리콘 기판 상에서 $121{\mu}m$거리에 위치하도록 제작하였다. 마이크로 hinge와 스프링 latch 및 측면지지 plate를 이용하여 마이크로 렌즈와 미러가 실리콘 기판상에서 out-of-plane동작이 가능하도록 하였다. 마이크로렌즈 초점거리의 가변을 위하여 6개의 SDA(Scratch Drive Actuator)어레이를 설계, 제작하였다. 또한 빔 반사를 위한 마이크로 미러를 설계하고 $45^{\circ}$ self-assembly를 위하여 마이크로 hinge와 SDA array를 제작하였다.
현재까지 초음파 모터는 소형 경량이면서도 저속에서 큰 출력을 가지며 정확한 위치 제어가 가능하다는 점에서 큰 관심을 끌고 있다. 대부분 회전형 로우터리 모터가 주종을 이루고 있으며 특수한 용도로 초음파 리니어 모터가 일부 사용되고 있다. 본 연구에서는 진행파를 이용하여 쌍방향으로 움직일 수 있는 새로운 구조의 진행파형 초음파 리니어 모터를 설계하고 제작하였다. 설계는 유한요소해석법을 이용하여 구조의 가능성과 진행파가 왜곡되지 않는 최적구조, 계질, 크기, 경계조건을 결정하였다. 그 결과에 따라 리니어 모터를 실제로 제작하여 알루미늄판 위에서 주파수 변화 및 부하질량 변화에 대한 모터의 성능을 측정하였는데, 제작된 모터는 부하질량이 100 g일 때 14.6cm/s로 가장 빠른 속도특성을 보였다. 본 모터는 다양한 정밀위치제어 및 이동 소자로서 활용될 수 있을 것이다.
고전압 전원공급기를 고 밀도로 제작하기 위하여 고 주파수 동작을 시켜야 한다. 이에 따라 전원 공급기에서 최대의 부피를 차지하는 부품인 변압기는 원하는 주파수에서 최소의 부피로 충분한 전력을 수강하면서 완벽한 펄스재현을 하여야 한다. 그리고 승압비를 일정수준으로 유지하여야 한다. 이러한 변압기의 설계 및 제작 시 주의하여야 한다. 진행파관 증폭기용 고밀도 고전압전원공급기용 고주파수, 고전압, 펄스 변압기 변압기를 설계, 제작 시험하였다. 변압기의 스윗칭 주파수는 80 kHz 이며 입력전압은 265 Vdc이고 출력전압은 4kVdc 이다. 변압기의 정상 출력은 1.7 kW이다. 그리고 최대부피는 $200\;cm^3$ 이하가 되어야 한다. 본 논문에서는 다양한 권선 방법에 의하여 제작된 변압기에 대하여 변압기의 설계 및 시험절차가 제시되었다. 그리고 변압기의 누설 인덕턴스, 분포 케페시턴스 및 공진 주파수도 측정하여 평가하였다.
본 논문에서는 2.65GHz 위성 DMB 대역의 마이크로스트립 안테나를 설계 및 제작하고 이 특성을 바탕으로 단말기에 응용가능한 안테나를 설계하고 제작하였다. 2.65GHz 위성 DMB 대역의 마이크로 스트립 안테나를 CST Microwave Studio 프로그램으로 설계하고 시뮬레이션 특성을 기술하였다. 그리고 마이크로스트립 안테나를 이용하여 단말기에 이용될 수 있게 안테나를 설계 제작하였으며 실제 제작된 안테나의 성능을 측정하였다. 그 결과, 실제 상용화 되고 있는 안테나와 비슷한 성능이 나타났고 안테나가 이용될 수 있는 대역도 광대역의 특성을 보였다.
본 논문에서는 일반적인 loudspeaker에 비해 지향성이 높고, 광대역 특성을 가지는 초음파 스피커를 개발하고자 하였다. 스피커의 최적 구조를 위해 스피커 소자에서 압전 세라믹과 금속진동판의 재질 및 크기, 그리고 스피커 소자의 지지방식과 외장 케이스를 설계하였다. 설계결과를 바탕으로 초음파 스피커를 제작하고, 그 성능을 분석하여 설계이론의 타당성을 검증하였다. 제작에서는 큰 음압을 구현하기 위하여 초음파 배열 스피커를 설계, 제작하여 성능을 분석하였다. 본 연구에서 수립되어진 초음파 스피커의 설계 및 제작기법은 향후, 좋은 지향성과 넓은 대역폭을 가지는 스피커 개발에 유용하게 활용될 수 있을 것이다.
본 논문에서는 자동차 계기판 지시계 구동용 액츄에이터 연구의 일환으로써 소형 2상 스텝모터에 대하여 유한요소 수치해석을 이용한 설계, 해석 및 One Chip을 이용한 유량, 온도, RPM 및 속도 지시계 동시제어용 전용 구동 IC를 설계하였다. 일반적으로 자동차 계기판에 사용되어지고 있는 지시계의 구동원으로 코일형의 액츄에이터를 사용하고 있으나, 동작구간내의 선형성 및 속응성 저하와 구조상 큰 체적으로 인한 공간확대의 문제가 야기되어지고 있다. 따라서, 본 연구에서는 고 에너지 밀도를 갖는 소형의 영구자석과 저 손실 특성을 갖는 정밀 기어부 설계를 통하여 경량. 박형의 PM형 스텝모터를 설계하였으며. 또한 다수 모델 제어용 전용 드라이버 IC 설계 및 제작을 하였다. 실제로 제작한 모델을 대상으로 특성평가를 행하였으며, 이로부터 높은 선형성 및 고정밀도와 저소음 특성을 갖는 자동차 계기판 지시계용 구동원 및 드라이버의 활용 가능성을 확인 할 수 있었다.
본 논문은 전력증폭기 정합회로 설계시 주어진 임피던스를 가지고 Ansoft사의 Ensemble을 이용해 기본적인 정합회로를 설계하였다. MHL21336 , MRF21030 ,MRF21125로 대전력 증폭기를 설계 및 제작하여 측정해본 결과 전체 이득이 52㏈, 대역폭 안에서 이득 평탄도는 ±0.37㏈ 정도, 출력이 PEP 5l㏈m에서 -30㏈c의 결과를 얻었다. Bias 전류에 대한 5㎒ Tone-space IMD 특성곡선을 측정해 본 결과 기지국용 대전력 증폭기로 사용할 수 있음을 보였다.
전기기기를 수리 또는 제작할 때에 바니쉬처리된 부품들을 건조하는 건조로로서 여러가지 형식의 건조로들이 사용된다. 이와같은 바니쉬 건조로를 설계 또는 제작을 할 때에는 생산량을 토대로한 로의 크기 및 건조온도를 유지하기 위한 소요열량의 계산외에 전기한 바와 같은 노내 바니쉬용매의 증기 밀도에 대한 검토도 필요하게 된다. 또 건조로를 운전할 때에도 노내 바니쉬용매의 증기밀도를 허용치 이하로 유지해서 안전한 운전을 도모해야 할 것이다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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