• Title/Summary/Keyword: 산화시료

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The influence of substrate temperature on the chemical stability of WO3Films prepared by electron beam deposition (기판온도가 전자비임으로 제작된 텅스텐 산화물박막의 화학적 안정성에 미치는 영향)

    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.5 no.4
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    • pp.365-370
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    • 1996
  • Electrochromic $WO_3$ films were prepared by using an electron-beam deposition method. The dependence of the chemical stability of film on the substrate temperature was studied. From the experimental results, The optical property and chemical stability of as-deposited films strongly depended on the substrate temperature. The $WO_3$ film prepared at a substrate temperature of $80^{\circ}C$ was found to be the most stable when subjected to repeated coloring and bleaching cycles in an organic 0.6M $LiClO_4$ solution.

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전기적 착색 니켈 산화물 박막의 성능평가

  • 강기혁;고경담;김재완;양재영;이길동
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.158-158
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    • 1999
  • NiO 박막은 전자비임증착법과 RF-스퍼터링법으로 제작하여 박막의 성능을 평가하였다. NiO 박막의 성능평가를 위한 착색과 탈색은 전기적 착색셀을 제작하여 순환전압전류법으로 KOH 전해질 내에서 반복수행하였으며 성능이 퇴화된 박막의 투과율은 가시광선 분광기로 측정하였다. XPS에 의한 분석결과 막의 낱알 내부보다 낱알 표면에 많은 산소가 포함될수 있음을 알 수 있었다. KOH 전해질 속에서 사이클이 반복 수행된 막의 표면 낱알의 형태는 변하였으며, 3$\times$10-4mbar에서 제작된 시료가 막의 안정성이 좋았다. 제작 방법에 다라 막에 주입 및 추출되는 전하밀도와 투과율의 차이가 나타났고, 니켈 산화물 박막의 성능평가를 하기 위해 착색효율을 계산하였다. 기판물질인 IT(indium tin oxide)의 전기적 착색성과 전해질이 전기적 착색성에 미치는 영향에 대해서도 논의되었다.

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Dielectric Characteristics of $SiO_2/Si_3N_4$ Double Layer ($SiO_2/Si_3N_4$ 2중층 박막의 유전특성)

  • Ko, K.Y.;Kim, G.S;Hong, N.P.;Byun, D.G.;Lee, C.H.;Hong, J.W.
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2003.07c
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    • pp.1526-1528
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    • 2003
  • 본 연구에서는 P-type Si wafer에 1000[$^{\circ}C$]의 조건에서 열산화방식으로 성장시킨 산화막($SiO_2$) 두께 3000[${\AA}$] 그 위에 APCVD방법으로 형성시킨 질화막($Si_3N_4$)의 두께 500[${\AA}$], 1500[${\AA}$]인 시료에 대하여 전기적 특징 중 유전정접 특성에 관하여 조사하였다. [1] 또한 각각의 두께에 대하여 측정 온도범위 상온${\sim}150[^{\circ}C]$ 와 인가전압 범위 1[V]${\sim}$20[V]에서 유전정접의 주파수 의존성과 온도 의존특성을 조사하고 특히 정전용량 변화에 따른 유전특성에 대하여 조사하고 변환기 소자재료 개발을 위한 기초물성을 실험한 결과를 보고한다.

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Electrical properties of metal doped $V_2O_5$ nanowires (금속으로 도핑 된 $V_2O_5$ nanowires의 전기적 특성)

  • Ryu, Hye-Yeon;Yee, Seong-Min;Kang, Pil-Soo;Kim, Gyu-Tae;Zakharova, O.S.;Volkov, V.L.
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2006.06a
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    • pp.101-102
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    • 2006
  • 금속을 도핑 함으로써 전기전도도가 향상될 것으로 생각되는 산화바나듐 나노선에 대하여 열처리 전후의 전기적 특성을 비교하였다. sol-gel 방법으로 만들어진 산화바나듐 xerogel($V_{1.66}Mo_{0.33}O_5{\cdot}nH_2O$)을 $Si_3N_4$ 절연막이 성장된 Si기판위에 분산시키고 Ti/Au으로 전극을 증착한 후 열처리 한 것과 하지 않은 두 시료의 전류-전압특성을 비교 분석하였다.

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Development of Membrane Strip Assay System for Lipoprotein Cholesterol (Membrane strip을 이용한 지질단백질 Cholesterol 측정시스템의 개발)

  • 신인수;백세환
    • KSBB Journal
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    • v.11 no.2
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    • pp.140-150
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    • 1996
  • To develop a home-version assay system for plasma lipoprotein cholesterol, variables that can control the assay performance were optimized. The system was constructcd by using two major components: nitrocellulose membrane strip with immobilized enzymes (cholesterol esterase, cholesterol oxidase, and horseradish peroxidase); and sample carrier solution containing non-ionic detergent (Triton X-100) and chromogen (3,3'-diaminobenzidine). Once a sample combined with the carrier was absorbed from the bottom of the strip, cholesterol was delivered by capillary action to the immobilized enzymes and a sequential reactions took place. In the final reaction, the chromogen was oxidized and then generated a color as signal that was proportional to the concentration of cholesterol. The signal intensity was enhanced by optimizing conditions for the immobilization of enzymes and the chemical composition of carriel. Under these conditions, a dose-response curve was obtained and revealed a high sensitivity enough to measure the cholesterol in blood.

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SNG Production Process Study in the gasification system with various feedstock (석탄, 석탄 촤, 바이오매스 등의 고체시료 가스화 반응을 통해 발생된 합성가스를 이용한 SNG 제조공정 연구)

  • Kim, Su-Hyun;Yoo, Young-Don;Kim, Mun-Hyun;Kim, Na-Rang;Kim, Hyung-Taek
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2007.06a
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    • pp.779-783
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    • 2007
  • 본 연구에서는 가스화공정과 수성가스 전환공정, $CO_2$ 분리공정, 메탄화 공정을 주요 구성으로 한 대체(또는 합성)천연가스(SNG, Substitute or Synthetic Natural Gas)제조공정을 대상으로 석탄, 석탄 촤, 바이오매스 등의 다양한 고체시료를 적용하였을 경우 각 시료의 가스화 반응을 통해 얻어진 합성가스를 이용한 SNG 제조 공정 특성을 파악하고자 하였다. 석탄, 석탄 촤, 바이오매스를 적용한 SNG 공정해석 결과 가스화 공정, 수성가스 전환 공정, 메탄화 공정의 운전 용도가 각 800도, 450도, 300도이고, 수성가스 전환 공정 출구의 합성가스 $H_2$/CO ratio(mol basis)가 3인 조건에서 SNG/Feed ratio는 석탄, 석탄 촤, 바이오매스가 각각 0.35, 0.34, 0.08로 나타났고. SNG Efficiency(%) 는석탄, 석탄 촤 바이오매스에 대해서 각각 61.2%. 48.2%, 17.5%로 나타났다. 또한, 석탄 촤를 대상으로 가스화 공정에서의 산화제 투입 조건 및 스팀 투입조건의 변화에 따른 합성가스 발생 특성을 살펴보았다.

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A Study of the Metal Recovery from the Aluminium Scrap (Al 스크랩으로부터 금속회수에 관한 연구)

  • 김준수;임병모;윤의박
    • Resources Recycling
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    • v.4 no.1
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    • pp.25-30
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    • 1995
  • In the preparatIon of reclaimed aluminium lllgot from alumimum scrap, the aluminium recovery was studied a as a function of the preliminary treatment of samples, addition of flux and melting atmosphere. AI dross is produced by an oxidation reaction at the surface of liquid metal. The recovery of AI metal increases u up to maximum 95% by adding salt up to 7%, The recovery of AI metal in the compacted chip bale without oil removal mcrease about 14% compared io non-compacted chip. In the case of the AI seed melting process, the recovery of Al metal of the crushed and compacted chip hale is 97%, In meltmg of alumimum scrap under the atmosphere of carbon and nitrogen gas, the recovery of AI metal increase, but it is decreased when the mixture of salt and carbon powder is added excessively.

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XRR 두께 표준물질용 $HfO_2 $ 박막 제작 및 특성평가

  • Yu, Byeong-Yun;Bin, Seok-Min;Jeon, Hyeon-Gu;O, Byeong-Seong;Kim, Chang-Su
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.08a
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    • pp.303-303
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    • 2012
  • X-선 반사율 측정법(XRR)은 비파괴적인 측정방법으로 수 nm의 두께를 정밀하게 측정할 수 있는 장점으로 반도체 산업현장에서 많은 관심과 연구가 이루어지고 있다. 이러한 XRR의 두께 측정 정밀도를 향상시키고 부정확한 결과를 방지하기 위하여 측정기기를 검증하고 보정할 수 있는 두께 표준물질을 필요로 하고 있다. 본 연구에서는 IBSD (ion beam sputtering deposition)와 ALD (atomic layer deposition)를 이용하여 5 nm, 10 nm의 $HfO_2$ 박막을 제작하고, XRR용 두께 표준물질로 응용할 수 있는지를 살펴보았다. 먼저 두께표준물질로 제작하기 위해서는 박막과 기판이 안정한 상태를 유지해야 한다. 이에 박막은 공기 중 노출에 의한 산화로 박막의 두께가 변할 수 있는 금속박막 대신에 공기 중에서도 안정한 산화물 박막인 $HfO_2$ 박막을 사용하고 기판은 Si wafer를 thermal공기 중에서도 안정한 산화물 박막인 $HfO_2$ 박막을 사용하고 기판은 Si wafer를 therma oxidation법을 이용하여 $1{\mu}m$ 두께로 제작한 비정질 $SiO_2$ 기판을 사용했다. 제작된 시료의 특성평가를 위해 XRR (X-ray reflectometer) 측정을 통해 두께, 거칠기 및 밀도를 확인하였고, TEM (transmission electron microscope)으로 두께 측정을 하여 XRR로 얻은 두께결과와 비교하였다. 측정결과를 확인하였을 때 두 증착 방법 중 ALD를 이용하여 제작한 시편에서는 박막과 기판사이의 interface가 sharp하여 반사율 곡선의 진폭이 크게 잘 나타났고 fitting 결과도 우수하여 IBSD로 증착한 시편보다 두께 표준물질로 응용하기에 더 적합하였다.

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Thermochemical hydrogen production utilization of M-ferrite (M=Co,Ni,Mn) (M-ferrite를 이용한 열화학적 수소제조 (M=Co,Ni,Mn))

  • Cho Mi-Sun;Kim Woo-Jin;Woo Sung-Woong;Park Chu-Sik;Kang Kyoung-Soo;Choi Sang-Il
    • New & Renewable Energy
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    • v.2 no.2 s.6
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    • pp.69-74
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    • 2006
  • 본 연구는 페라이트의 Fe 양이온 일부를 Ni, Mn, Co등으로 치환하여 M-ferrite를 제조하여 열화학적 2단계 물 분해 반응의 특성을 비교 평가하였고, XRD, SEM, GC등의 분석으로 각 금속산화물의 특성을 확인하였다. M-ferrites 는 고상법으로 제조하였다. 각각의 M-ferrite에 대한 열적환원은 1573K 에서 진행하였고 물 분해 반응은 1273K 에서 실시하였다. 이 반응에서 생성된 가스는 전량 포집하여 GC를 통해 분석하였다. 반응 전후의 시료에 대하여 SEM, XRD를 분석하여 GC결과와 함께 금속산화물의 산화환원반응 특성을 고찰하였다. 그 결과로서 물 분해 반응 후 M-ferrite (M=Co, Ni, Mn)의 생성을 XRD를 통하여 확인할 수 있었고, 물 분해 반응과의 비교결과 격자상수의 증대가 M-ferrite내의 산소의 환원에 영향을 미치는 것을 알 수 있었다. SEM결과에서는 4cycle의 물 분해 반응 후 Mn-ferrite의 심한 sintering 현상을 확인 할 수 있었다.

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A Mechanism for the Hydroperoxide Decomposition in a Soybean oil during Thermal Oxidation (가열산화중인 콩기름에서의 하이드로퍼로키사이드(hydroperoxide)의 분해기구)

  • Shin, Ae-Ja;Kim, Dong-Hoon
    • Korean Journal of Food Science and Technology
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    • v.17 no.2
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    • pp.71-74
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    • 1985
  • In the present study, a tentative mechanism for the decomposition of the hydroperoxide formed during the thermal oxidation of an edible soybean oil was proposed. The soybean oil was thermally oxidized at $120^{\circ}C$ for 7 hrs with air injection at a rate of 120 ml/min. Through kinetic studies of the decomposition process based on the tentative mechanism and the actual experimental data obtained from the hydroperoxide decomposition at 100, 120, 150 and $180^{\circ}C$, it was found that the reaction order of the hydroperoxide decomposition in these conditions was of first order. It was also estimated that the dissociation energy for the hydroperoxide in the same conditions was 15.876 kcal/g. mol.

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