• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.302.2-302.2
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• 2016

알루미늄 산화막 스퍼터링 공정 중 타겟이 반응성이 있는 산소와 결합하여 산화되는 타겟 오염은 증착 효율의 감소[1]와 방전기 내 아크 발생을 촉진[2]하여 이를 억제하는 방법이 연구되어 왔다. 본 연구에서는 알루미늄 산화막 증착 공정 중 타겟 오염 현상이 기판에 증착된 알루미늄 산화막 특성이 미치는 영향을 분석하였다. 실험에는 알루미늄 타겟이 설치된 6 인치 웨이퍼용 직류 마그네트론 스퍼터링 장치를 활용하였다. 위 장치에서 공정 변수 제어를 통해 타겟 오염 현상의 진행 속도를 제어하였다. 공정 중 타겟 오염 현상을 타겟 표면 알루미나 형성에 따른 전압 강하로 관찰하였고 타겟 오염에 의한 플라즈마 변화를 원자방출분광법을 통해 관찰하였다. 이 때 기판에 증착 된 알루미나 박막의 화학적 결합 특성을 XPS depth로 측정하였으며, 알루미나 박막의 두께를 TEM을 통해 측정하였다. 측정 결과 타겟 오염 발생에 의해 공정 중 인가 전압 감소와 타겟 오염에 소모된 산소 신호의 감소가 타겟 오염 정도에 따라 변동되었다. 또한 공정 중 타겟 오염 정도가 클수록 기판에 증착한 막과 실리콘 웨이퍼 사이에 산소와 실로콘 웨이퍼의 화합물인 산화규소 계면의 형성 증가됨을 확인했다. 위 현상은 타겟 오염 과정 중 발생하는 방전기 내 산소 분압 변화와 막 증착 속도 변화가 산소의 실리콘 웨이퍼로의 확산에 영향을 준 것으로 해석되었다. 위 결과를 통해 스퍼터링 공정 중 타겟 오염 현상이 기판에 증착 된 알루미나 막 및 계면에 미치는 영향을 확인하였다.

• 한국에너지공학회:학술대회논문집
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• 한국에너지공학회 1995년도 추계학술발표회 초록집
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• pp.33-37
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• 1995

최근 문제시 되고있는 지구온난화 현상은 태양으로부터 발산된 태양파 중 지구 표면에 흡수되지 않은 일부 반사 에너지파와 지구표면 자체에서 발산하는 에너지파가 온난화가스들에 의하여 대기권 밖으로 발산되지 못하고 흡수되어 대기의 온도를 상승시키는 것에 기인한다. 이산화탄소는 이와같은 지구온난화 현상에 절반 이상의 영향을 미치고 있으며, 날로 증가하는 에너지 소모량에 의하여 대기중 이산화탄소의 농도가 계속 증가하고 있다. 따라서, 1988년 토론토 회의 이후, 각종 국제회의에서 이산화탄소 배출 규제문제가 논의되고 있으며, 연소 배 가스로부터 이산화탄소를 제거하는 기술에 대한 관심이 높아지고 있다. 각종 지구온난화 가스의 분리 회수기술로는 흡수법, 흡착법, 막분리법, 산소연소법 등이 개발되어 있으나, 이산화탄소의 경우 상용화 되어있는 분리기술은 흡수법으로서, 알카놀아민을 이용한 화학흡수법이 가장 널리 사용되고 있다.(중략)

• 한국미생물·생명공학회지
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• 제26권6호
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• pp.529-536
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• 1998

용존산소(D.O.) level은 유기산 및 포도당을 혼합한 배지에서 Azotobacter vinelandii UWD의 생장 및 생분해성 고분자(PHBV) 생성에 큰 영향을 주었다. 용존산소 level이 높은 경우(5% D.O.)는 낮은 경우(1% D.O.)에 비해 세포의 생장속도가 약 2배 증가하였으나 PHBV 생성은 D.O.가 낮은 경우 62.3 wt%로 D.O.가 높은 경우에 비해 약 17배 증가하였다. 그러나 B.O. level은 통기(aeration)에 의한 A. vinefandii UWD의 발효특성 연구에 적합한 기준이 아니었다. 공기공급속도를 고정하고 교반속도만을 변화시키는 통기법으로 산소전달속도를 감소시켰을 때 이 균주는 산소소모속도를 그에 따라 대응 감소시킴으써 겉보기 D.O.를 높게(5%) 유지할 수 있었고 이 때 생장이 느려지고 PHBV 양은 57.3 wt%로 증가하였다. 통기가 세포생장 및 PHBV 생성에 미치는 영향을 일관성 있게 설명할 수 있는 기준은 D.O. level이 아니라 산소전달속도였으며 비생장속도는 산소전달속도에 비례하여 증가하였고 PHBV 생산량은 산소전달속도에 반비례하였다.

• 연구논문집
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• 통권29호
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• pp.49-55
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• 1999

Heat release rate used to characterize the fire is an important factor for determining the fire size, the fire growth and the time for suppression and evacuation. The purpose of present work is to review theoretical backgrounds and to introduce equations for estimation of heat release rate with oxygen consumption method in fires. Our work also shows the experimental results of applications for liquid fuels. The oxygen concentration is measured by the analyzer of paramagnetic type. The analyzers of Infra-Red type are used to measure the concentrations of $CO_2$ and CO gas. Time delays of analyzers are ignored.

• 한국화재소방학회:학술대회논문집
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• 한국화재소방학회 2010년도 춘계학술논문발표회 논문집
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• pp.53-58
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• 2010

발열량은 화재현상을 이해하고 화재의 위험도를 평가하는데 있어서 가장 기본이 되는 물리량으로 화재강도를 나타내는 척도로 인식되고 있다. 발열량의 신뢰성은 화재 물성이나 공간화재 특성의 이해뿐만 아니라 화재해석을 통한 위험성 평가에 있어서 중요한 요소이기 때문에 측정의 신뢰성이 매우 중요하다. 본 연구에서는 수치해석 모델을 통하여 화재 발열량계의 배기덕트 구조에 따른 내부 유동특성을 파악하고자 한다. 해석결과를 바탕으로 각 측정점의 위치에 따른 상태오차 정도를 분석하고 산소소모법에 의해 계산된 발열량을 비교한다. 화재 발열량계의 수치해석을 통하여 발열량 산정의 오차특성을 평가함으로써 발열량계 설계 과정을 최적화하고 효과적인 발열량계 운영을 위한 기초자료를 얻는데 기여하고자 한다.

• 한국화재소방학회논문지
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• 제24권3호
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• pp.58-65
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• 2010

최근 들어 발생하고 있는 화재 사고는 재산 피해 및 인명 피해 측면에서 점점 대형화 되어가고 있는 추세지만, 이를 효과적으로 예방하고 조치할 수 있는 종합적인 차원의 화재안전기술 개발을 필요로 한다. 특히, 초고층 빌딩이 우후죽순으로 들어서고 있는 지금, 새로운 패러다임의 진보된 화재안전기술의 필요성이 대두되고 있다. 따라서, 본 논문에서는 세 가지 종류의 산소소모법 칼로리미터인 bench scale calorimeter(cone calorimeter/ISO 5660/Avg.500Kw), Medium scale calorimeter(Room corner tester, Single burning Item/ISO 9750, EN 13823/Avg.3MW), and large scale calorimeter(Industry calorimeter/Avg. 10MW)에 의한 열방출율 측정과 이때 발생된 연기발생량과의 상관관계를 찾고자 한다. 이렇게 찾아진 열방출율과 연기발생량과의 상관관계를 활용하여 새로운 개념의 연기감지기를 개발하여 화재 사고 시 인명피해 및 재산피해를 최소화 하고 궁극적으로 이러한 이론을 바탕으로 초고층화 되고 있는 건축물에 새로운 개념의 화재경보 및 피난 시스템의 개발 및 적용이 가능하리라 예상된다.

• 한국생물공학회:학술대회논문집
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• 한국생물공학회 2000년도 추계학술발표대회 및 bio-venture fair
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• pp.463-466
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• 2000

본 연구에서는 활성슬러지법으로 처리하는 제약폐수를 대상으로 공정내 미생물의 산소소모량을 측정하고 미생물의 증식정도를 알아보기 위해 동력학 계수를 측정하였다. 미생물 접종량에 따른 산소소모율은 $43{\sim}64\;mgO_2/hr$이었고, 기질 농도 변화에 따른 산소소모율은 $4{\sim}42\;mgO_2/L/hr$로 나타났다. 또한 최대비성장율$(\;{\mu}\;_{max})$, 수율계수, 그리고 반속도상수(Ks)는 각각 $2.7day^{-1}$, 0.655, 36.11 mg/L로 측정되었다.

• 생명과학회지
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• 제20권8호
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• pp.1159-1165
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• 2010

간접 열량측정법은 호흡 시의 산소 소모량이나 이산화탄소나 질소의 배출량을 측정해 에너지 소모량을 측정하고, 산화작용의 열 방출량(칼로리소비)을 산출하여 측정한다. 지난 20년 내에 간접 열량측정법에서 사용된 laboratory와 computerized 시스템은 현저하게 발전되었으며, 특히 매 호흡의 변인의 산출을 가능하게 해주는 호흡당 시스템의 사용이 증가되었다. 많은 이전의 연구에서 호흡당 시스템은 간접 열량측정도구로 타당도와 신뢰도가 높아 실험에 적합하다고 평가 하였다. 본 연구는 간접 열량측정법의 가장 적합한 호흡당 시스템을 분석하고자 한다. 하지만 다른 모든 호흡당 간접열량측정계의 타당도와 신뢰도의 효과를 검증한 연구가 많지 않다는 문제점이 있다. 그러므로, 앞으로 연구에서는 호흡당 간접열량측정계의 가장 타당도와 신뢰도가 높은 적합한 측정도구가 필요하다고 사료된다.

• Tuberculosis and Respiratory Diseases
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• 제46권6호
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• pp.836-845
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• 1999

연구배경 : 수면 무호흡증 환자는 대부분 비만이 동반되고 비만은 수면 무호흡증 발병의 중요한 원인으로 알려져 있다. 또한 체중을 줄임으로써 무호흡 횟수 및 심부정맥의 감소와 동맥혈 산소포화가 향상된다는 사실이 알려지면서 체중조절을 중요한 치료방법으로 생각하게 되었다. 그러나 지금까지 비만에 대한 다양한 치료방법이 시도되었으나 결과는 만족스럽지 못하다. 저자들은 체내에너지 대사의 대부분을 차지하는 안정시 에너지대사의 변화를 관찰하고 수면다원검사에서 측정한 수면무호흡증의 중증도와 안정시 에너지소모량과의 상관관계를 규명하여 무호흡의 중증도가 안정시 에너지대사에 미치는 영향을 알아보았다. 또한 수면 무호흡증에서 혈중 leptin 농도를 측정하여 수면 무호흡의 중증도와 leptin과의 상관관계를 알아보기 위하여 이 연구를 수행하였다. 방 법 : 수면 중 무호흡 증상을 주소로 내원하여 수면무호흡증으로 진단 받은 환자 중 신체질량지수가 $25\;kg/m^2$ 이상인 39례와 비슷한 비만도를 보이며 수면무호흡이 없었던 45례를 대상으로 수면다원검사를 실시하고 안정시 에너지소모량은 ventilated hood system을 이용하여 indirect calorimetry로 측정하였다. 수면무호흡증과 대조군에서 혈중 leptin 농도는 human leptin kit를 사용하여 측정하였다. 결 과 : 수면무호흡증은 대조군보다 안정시 에너지소모량의 예측치와 측정치가 유의하게 높았으나, 안정시 에너지 소모량 백분율은 차이가 없었다. 안정시 에너지소모량은 수면무호흡증의 중증도와 관계 있는 무호흡지수, 무호흡 저호흡지수 및 최저 동맥혈 산소포화도 등과도 상관관계는 없었다. 수면무호흡증에서 혈중 leptin 농도는 무호흡지수, 무호흡 저호흡지수 및 최저 동맥혈 산소포화도와 상관관계가 있었으나, 안정시 에너지소모량과 상관관계는 없었다. 결 론 : 이상의 결과로 수면무호흡증에서 안정시 에너지대사가 감소되어 있지 않았으며 수면무호흡증에서 leptin은 안정시 에너지소모에 관여하여 지방을 조절하기보다는 식이를 조절함으로써 체지방을 조절할 것으로 생각한다. 수면무호흡증에서 무호흡의 정도가 심할수록 혈중 leptin 농도가 높았으며 이는 수면무호흡증에 동반된 비만과 관계가 있을 것으로 생각하며, 수면무호흡증에서 leptin 농도와 무호흡의 중증도와의 관계에 대해서는 더 많은 연구가 필요할 것으로 생각한다.

• 한국화재소방학회논문지
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• 제28권5호
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• pp.1-7
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• 2014

본 연구에서는 대형 콘 칼로리미터(large scale cone calorimeter, LSC)를 사용하여 헵탄 풀 화재(pool fire) 실험에서 화원의 직경 변화에 따른 발열량(HRR) 측정 결과를 정량적으로 분석하였다. 발열량에 중요한 영향을 미치는 연소율(burning rate)은 A. Hamins의 연구 자료에서 제시한 모델링 곡선과 비교하여 정확성을 검증하였으며, 산소 소모법에 의한 연소효율(combustion efficiency)은 이론발열량에 비해서 91% 정도로 J. Gore이 제시한 헵탄의 연소효율 92%와 유사한 것을 확인하였다. 엔탈피소모법에 의한 열손실은 전체 발열량의 54% 정도로 측정부에서 대류 발열량으로 측정되었으며, 본 연구 결과는 화재실험에서 발열량 측정값의 신뢰성 분석(reliability analysis)을 위한 기초 연구 자료로 활용하는데 유용한 정보가 될 것으로 사료된다.